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Funcionamiento en modo de Ionización química (CI)
Lecturas de presión características
Use el medidor de vacío microiónico G3397A. Observe que el controlador de
flujo de masas se calibra para metano y que el medidor de vacío se calibra
para nitrógeno, por tanto, las medidas nos son precisas sino que pretenden
servir como referencia de las medidas características observadas
Las medidas se tomaron bajo el siguiente grupo de condiciones. Observe que
son temperaturas características de PCI:
Temperatura de la fuente
Temperatura del quad
Temperatura de la interfase
Flujo del gas portador Helio
Tabla 20
MFC
(%)
10
15
20
25
30
35
40
Familiarícese con las medidas en su sistema en condiciones operativas y
observe si se producen cambios que indiquen un problema de vacío o de flujo
de gas. Las medidas variarán hasta un 30% de un MSD y controlador de
medidor a otro.
128
Lecturas de presión y de flujo
Presión (Torr)
Metano
EI/PCI/NCI del MSD
(bomba turbo de alto
rendimiento)
5.5 × 10
–5
8.0 × 10
–5
1.0 × 10
–4
1.2 × 10
–4
1.5 × 10
–4
2.0 × 10
–4
2.5 × 10
–4
250 ° C
150 ° C
280 ° C
1 mL/min
Amoníaco
EI/PCI/NCI del MSD
(bomba turbo de alto
rendimiento)
×
–5
5.0
10
×
–5
7.0
10
×
–5
8.5
10
×
–4
1.0
10
×
–4
1.2
10
×
–4
1.5
10
×
–4
2.0
10
Manual de funcionamiento del MSD 5975
(Tabla
20).
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