Guía de instalación de RLP40
Ajuste de centrado del palpador
NOTAS:
Si llegara a soltarse el conjunto de la sonda y el cono, deberá comprobar la alineación y realizar un
ajuste de centrado correcto.
3.6
No golpee la sonda para lograr la posición de centrado.
2
Y
X
Z
Ajustar según el eje Y
< ±20 µm
× 4
× 4
1
Ajustar según el eje X
< ±20 µm
Y
X
Z
3
< ±20 µm
Y
X
Z
1,5 Nm – 2,2 Nm
× 4
× 4
× 2
× 4