Varian DRYVAR 150 Manual De Instrucciones página 19

Turbopumpen med ISO-indløbsflange
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmoment afhængig af flangens størrelse og
klemmetypen.
FLANGE KLEMMETYPE
ISO 63 Dobbelt klemme med
M10 gevind
Enkelt klemme med
M8 gevind
ISO 100 Dobbelt klemme med
M10 gevind
Enkelt klemme med
M8 gevind
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget "Teknisk Information" findes yderligere detaljer.
BEMÆRK
DRYVAR 150 kan ikke fastgøres i fundamentet.
Der henvises til bilaget "Teknisk Information" for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger
opvarmning af vakuumkammeret
temperatur ikke overstige 120° C.
! ! ! !
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
! ! ! !
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
! ! ! !
VIGTIGT!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens
den er aktiveret. Dette kan beskadige lejerne.
! ! ! !
VIGTIGT!
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv,
partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket
gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det
atmosfæriske tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive
gasser er disse pumper udstyret med en dør, igennem hvilken
det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser
(kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget "Teknisk
Information").
! ! ! !
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
skal tilsluttes
ANT. DREJNINGS-
MOMENT
4 22 Nm
4 11 Nm
4 22 Nm
8 11 Nm
udføres. I forbindelse med
må indløbsflangens
ADVARSEL!
ADVARSEL!
ADVARSEL!
Start og anvendelse af DRYVAR 150
For at starte DRYVAR 150 er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik. Den
øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.
Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START
metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne
funktion automatisk
aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START
metoden. For at aktivere SOFT START metoden på ny skal
ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se
afsnit "RS 232 "COMMUNICATION DESCRIPTION" i bilaget
"Teknisk Information").
I forbindelse med SOFT START metoden aktiveres pumpen
med indvendig membran
ventilationsventilen er installeret og er åben. Herved fjernes
fugtigheden fra pumpens ventiler. Hvis SOFT START metoden
ikke er aktiveret, svarer dette tidsrum til 30 sekunder.
Såfremt ventilationsventilen ikke er installeret, fyldes den
turbomolekylære pumpe manuelt med luft efter start, og indtil
pumpen begynder at rotere.
Benyt altid inaktive luftarter, der er frie for støv, partikler eller
fugtighed i forbindelse med udførelse af disse indgreb.
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på DRYVAR
150's fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsning, stop eller "Waiting for
interlock"
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Stop af DRYVAR 150
For at afbryde DRYVAR 150 er det tilstrækkeligt at afbryde
strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks
pumpen.
Nødstop
For at afbryde DRYVAR 150 i nødstilfælde er det tilstrækkeligt
at trække stikket ud.
VEDLIGEHOLDELSE
DRYVAR 150 behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted eller "Varian advanced exchange service",
der udskifter systemet med et repareret system.
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller "Varian
advanced axchange
tilstandsdokumentet", der er vedlagt denne instruktionsmanual,
udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets
emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
14
BRUGSANVISNING
indbyggede styreenhed registrerer
med hensyn til alle efterfølgende
BEMÆRK
i 2 minutter,
! ! ! !
ADVARSEL!
BEMÆRK
service" skal "Sikkerheds-
87-900-920-01(B)
såfremt
og