Instalace - Agilent Technologies TPS-compact Serie Manual De Istrucciones

13 Návod k Použití

Instalace

Instalace

Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a
POZOR!
ochranné víko.
Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům,
ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím
požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané
prostředím:
▪
▪
▪
V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí chránit
feromagnetickým stíněním.
Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TPS-
compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu
turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní
moment 50 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí připevnit
k vakuové komoře použitím příslušných spon a příchytek. Následující
tabulka uvádí nezbytný počet spon a příchytek pro každé příchytné
zařízení a příslušný utahovací moment.
NEBEZPEČÍ! Systém musí být nainstalován tak, aby umožňoval snadné přerušení napájení.
202/314
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
teplota: vycházejte z návodů k jednotlivým komponentům TPS
relativní vlhkost: vycházejte z návodů k jednotlivým
komponentům TPS.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)