Descargar
Compartir
Imprimir esta página
Agilent Technologies TV 401/301 MS Manual De Istrucciones
  1. Manuales
  2. Marcas
  3. Agilent Technologies Manuales
  4. Bombas
  5. TV 401/301 MS
  6. Manual de istrucciones

Agilent Technologies TV 401/301 MS Manual De Istrucciones

Ocultar thumbs

Publicidad

Enlaces rápidos

Descargar este manual
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-901-013-01 (A)
04/2011
TV 401/301 MS
Pump model
869-8928R003
Controller model
969-8979M005
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Publicidad

loading

Manuales relacionados para Agilent Technologies TV 401/301 MS

Resumen de contenidos para Agilent Technologies TV 401/301 MS

  • Página 1 TV 401/301 MS Pump model 869-8928R003 Controller model 969-8979M005 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...

  • Página 2: Trademarks

    Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 3 TV 401/301 MS TV 401/301 MS TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 3/264...
  • Página 4 TV 401/301 MS 4/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 5: Tabla De Contenido

    Preparazione per l'installazione 17  Installazione 18  Uso 20  Manutenzione 23  Smaltimento 24  Gebrauchsanleitung 25  Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26  Allgemeine Information 27  Lagerung 28  Vor der Installation 29  Installation 30  Gebrauch 32  Wartung 35  Entsorgung 36  TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 5/264...
  • Página 6 Información general 51  Almacenamiento 52  Preparación para la instalación 53  Instalación 54  Uso 56  Mantenimiento 59  Eliminación 60  Manual de Istruções 61  Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62  Informações gerais 63  Armazenagem 64  6/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 7 Uitpakken 77  Installatie 78  Gebruik 80  Onderhoud 83  Afvalverwerking 84  Istruktionsbog 85  Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86  Generel Information 87  Opbevaring 88  Forberedelse før installation 89  Installation 90  Anvendelse 92  Vedligeholdelse 95  TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 7/264...
  • Página 8 109  Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 110  Generell informasjon 111  Lagring 112  Klargjøre til installasjon 113  Installasjon 114  Bruk 116  Vedlikehold 119  Eliminering 120  10 Ohjekäsikirja 121  Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122  Yleisiä tietoja 123  8/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 9 Telepítés 138  Használat 140  Karbantartás 143  Megsemmisítés 144  12 Podrecznik Instrukcji 145  Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 146  Ogólne informacje 147  Magazynowanie 148  Przygotowanie do instalacji 149  Instalacja 150  Użytkowanie 152  TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 9/264...
  • Página 10 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 170  Všeobecné informácie 171  Uchovávanie 172  Príprava na inštaláciu 173  Inštalácia 174  Použitie 176  Údržba 179  Likvidácia 180  15 Priročnik za Navodila 181  Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182  10/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 11 Installation 198  Use 200  Maintenance 203  Disposal 204  17 Technical Information 205  Description of the TV 401/301 MS 207  Pump Description 208  Technical Specification 210  TV 401/301 MS Outline 212  Interconnections 216  TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 11/264...
  • Página 12 Serial Cable Installation 243  TV 401/301 MS Controller Installation 245  Connection of the Fore-Vacuum Pump 245  TV 401/301 MS Insertion and Extraction 246  Connection of the Electrical Connector 254  Pump Used with Corrosive Gases 254  Pump Used in Presence of Magnetic Fields 256 ...

  • Página 13: Istruzioni Per L'uso

    Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 17 Installazione Accensione ed Uso della TV 401/301 MS 21 Arresto della TV 401/301 MS Arresto di Emergenza 22 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...

  • Página 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 15: Informazioni Generali

    Il TV 401/301 MS è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...

  • Página 16: Immagazzinamento

    Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. 16/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 17: Preparazione Per L'installazione

    Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Preparazione per l'installazione Il TV 401/301 MS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.

  • Página 18: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Il TV 401/301 MS non può essere danneggiato rimanendo semplicemente NOTA esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. Installazione Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema.
  • Página 19 (vedere schema in "Technical Information"). Il TV 401/301 MS può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 401/301 MS in posizione stabile collegando la flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.

  • Página 20: Uso

    EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 401/301 MS ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.

  • Página 21: Accensione Ed Uso Della Tv 401/301 Ms

    Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso della TV 401/301 MS Per accendere il TV 401/301 MS è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.

  • Página 22: Arresto Della Tv 401/301 Ms

    Istruzioni per l’uso Il LED verde posto sul pannello della base del TV 401/301 MS indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for...

  • Página 23: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 401/301 MS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Página 24: Smaltimento

    Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. 24/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 25: Gebrauchsanleitung

    TV 401/301 MS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Information Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der TV 401/301 MS Stoppen von Modell TV 401/301 MS 34 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/264...

  • Página 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 26/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 27: Allgemeine Information

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 401/301 MS ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder...

  • Página 28: Lagerung

    Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu setzen. Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. 28/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 29: Vor Der Installation

    überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Vor der Installation Modell TV 401/301 MS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 401/301 MS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.

  • Página 30: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 401/301 MS kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Die Schutzkappe erst bei Anschluss der Turbopumpe an das System entfernen.
  • Página 31 Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 401/301 MS ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Modell TV 401/301 MS kann in jeder beliebigen Position installiert werden.

  • Página 32: Gebrauch

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Der TV 401/301 MS gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von VORSICHT! den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 401/301 MS hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden...

  • Página 33: Einschaltung Und Gebrauch Der Tv 401/301 Ms

    Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Einschaltung und Gebrauch der TV 401/301 MS Zur Einschaltung von Modell TV 401/301 MS ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.

  • Página 34: Stoppen Von Modell Tv 401/301 Ms

    Gebrauchsanleitung Gebrauch Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 401/301 MS gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for...

  • Página 35: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 401/301 MS erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...

  • Página 36: Entsorgung

    Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 36/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 37: Mode D'emploi

    Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Generales 39 Stockage Preparation pour l'installation 41 Installation Utilization Mise en marche et utilisation de la TV 401/301 MS Arrêt de la TV 401/301 MS 46 Arrêt d'urgence Entretien Mis au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...

  • Página 38: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 38/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 39: Indications Generales

    Le TV 401/301 MS est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 401/301 MS est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à...

  • Página 40: Stockage

    A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. 40/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 41: Preparation Pour L'installation

    Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 401/301 MS et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...

  • Página 42: Installation

    Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. 42/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 43 (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le TV 401/301 MS peut être installée dans n'importe quelle position. Assurer le TV 401/301 MS de façon stable en fixant la collerette de la turbopompe à une contre-collerette fixe pouvant résister à un couple de 2000 Nm autour de son axe.

  • Página 44: Utilization

    être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 401/301 MS a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.

  • Página 45: Mise En Marche Et Utilisation De La Tv 401/301 Ms

    Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation de la TV 401/301 MS Pour allumer le TV 401/301 MS il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.

  • Página 46: Arrêt De La Tv 401/301 Ms

    Mode d’emploi Utilization La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 401/301 MS indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale; clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.

  • Página 47: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 401/301 MS n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Página 48: Mis Au Rebut

    Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. 48/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 49: Manual De Istrucciones

    Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento 52 Preparación para la instalación 53 Instalación Encendido y Uso de la TV 401/301 MS Parada de la TV 401/301 MS Parada de Emergencia 58 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...

  • Página 50: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 50/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 51: Información General

    El TV 401/301 MS es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.

  • Página 52: Almacenamiento

    Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. 52/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 53: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 401/301 MS y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

  • Página 54: Instalación

    Manual de istrucciones Instalación El TV 401/301 MS no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
  • Página 55 Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 401/301 MS ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El TV 401/301 MS puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 401/301 MS en una posición estable conectando la brida de fijación...

  • Página 56: Uso

    Manual de istrucciones El TV 401/301 MS pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. El TV 401/301 MS tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos...

  • Página 57: Encendido Y Uso De La Tv 401/301 Ms

    Encendido y Uso de la TV 401/301 MS Para encender el TV 401/301 MS basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.

  • Página 58: Parada De La Tv 401/301 Ms

    Manual de istrucciones El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 401/301 MS indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: encendido fijo: la bomba está en rotación normal; parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está...

  • Página 59: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 401/301 MS no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Página 60: Eliminación

    éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 60/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 61: Manual De Istruções

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização da TV 401/301 MS 69 Paragem da TV 401/301 MS 70 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/264...

  • Página 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 62/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 63: Informações Gerais

    às normas nacionais específicas. O TV 401/301 MS é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.

  • Página 64: Armazenagem

    Soft-Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. 64/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 65: Preparação Para A Instalação

    Agilent. Preparação para a instalação O TV 401/301 MS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.

  • Página 66: Instalação

    Manual de Istruções Instalação O TV 401/301 MS não pode ser danificado permanecendo simplesmente NOTA exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. Instalação Retirar a tampa de proteção somente no momento de ligar a turbobomba ao CUIDADO! sistema.
  • Página 67 O TV 401/301 MS deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 401/301 MS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 401/301 MS em posição estável ligando o flange de retenção da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 2000 Nm ao redor do seu eixo.

  • Página 68: Utilização

    Manual de Istruções Utilização O TV 401/301 MS pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 401/301 MS tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem...

  • Página 69: Acendimento E Utilização Da Tv 401/301 Ms

    Acendimento e Utilização da TV 401/301 MS Para ligar o TV 401/301 MS é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.

  • Página 70: Paragem Da Tv 401/301 Ms

    (período de aprox. 200 ms): condição de erro. Paragem da TV 401/301 MS Para parar o TV 401/301 MS é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem...

  • Página 71: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 401/301 MS não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Página 72: Eliminação

    Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. 72/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 73: Bedrijfshandleiding

    TV 401/301 MS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 76 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 MS Afzetten van de TV 401/301 MS 82 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/264...

  • Página 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 74/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 75: Algemene Informatie

    (max. 60000 toeren/min.) aangedreven door een asynchrone draaistroommotor. De TV 401/301 MS is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 401/301 MS is bovendien van hulpconnectors voorzien...

  • Página 76: Opslag

    Soft- Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. 76/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 77: Uitpakken

    Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 401/301 MS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.

  • Página 78: Installatie

    Bedrijfshandleiding Installatie De TV 401/301 MS kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
  • Página 79 In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De TV 401/301 MS moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De TV 401/301 MS kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig...

  • Página 80: Gebruik

    Controleer of de inrichting verbonden met de TV 401/301 MS goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.

  • Página 81: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 401/301 Ms

    Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 MS Om de TV 401/301 MS in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.

  • Página 82: Afzetten Van De Tv 401/301 Ms

    Bedrijfshandleiding Gebruik De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 401/301 MS geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop”...

  • Página 83: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 401/301 MS is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.

  • Página 84: Afvalverwerking

    84/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 85: Istruktionsbog

    TV 401/301 MS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301 MS Stop af TV 401/301 MS 94 Nødstop Vedligeholdelse 95 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/264...

  • Página 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 86/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 87: Generel Information

    Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 60000 omdr./min.) drevet af en trefaset asynkron elektrisk motor. TV 401/301 MS er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.

  • Página 88: Opbevaring

    0 til 95 % (ikke kondenserende). Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. 88/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 89: Forberedelse Før Installation

    Sørg for, at TV 401/301 MS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

  • Página 90: Installation

    Istruktionsbog Installation Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 401/301 MS. Det anbefales BEMÆRK dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. Installation Beskyttelsesproppen må først fjernes, når turbopumpen sluttes til systemet.
  • Página 91 TV 401/301 MS skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). TV 401/301 MS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 401/301 MS i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...

  • Página 92: Anvendelse

    FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 401/301 MS er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele.

  • Página 93: Start Og Anvendelse Af Tv 401/301 Ms

    Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TV 401/301 MS For at starte TV 401/301 MS er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.

  • Página 94: Stop Af Tv 401/301 Ms

    Istruktionsbog Anvendelse Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 401/301 MS’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation; langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for interlock”;...

  • Página 95: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 401/301 MS behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Página 96: Bortskaffelse

    Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. 96/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 97: Bruksanvisning

    TV 401/301 MS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installationen 101 Installation Användning Start och användning av TV 401/301 MS 105 Att stänga av TV 401/301 MS Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/264...

  • Página 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 98/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 99: Allmän Information

    TV 401/301 MS, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 401/301 MS har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).

  • Página 100: Förvaring

    Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. 100/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 101: Förberedelser För Installationen

    TV 401/301 MS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 401/301 MS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.

  • Página 102: Installation

    Bruksanvisning Installation Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 401/301 MS. Trots det är OBSERVERA det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
  • Página 103 TV 401/301 MS måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TV 401/301 MS kan installeras i valfri position. Fäst TV 401/301 MS i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 2000 Nm kring sin axel.

  • Página 104: Användning

    åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 401/301 MS har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.

  • Página 105: Start Och Användning Av Tv 401/301 Ms

    Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TV 401/301 MS För att starta TV 401/301 MS behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.

  • Página 106: Att Stänga Av Tv 401/301 Ms

    Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd. Att stänga av TV 401/301 MS Om du vill stänga av TV 401/301 MS behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.

  • Página 107: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 401/301 MS är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.

  • Página 108: Bortskaffning

    Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. 108/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 109: Instruksjon Manual

    TV 401/301 MS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 111 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 116 Starte og bruke TV 401/301 MS 117 Stoppe TV 401/301 MS 118 Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 109/264...

  • Página 110: Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper

    I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 110/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 111: Generell Informasjon

    TV 401/301 MS systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å...

  • Página 112: Lagring

    Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering). Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. 112/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 113: Klargjøre Til Installasjon

    Når TV 401/301 MS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.

  • Página 114: Installasjon

    Instruksjon Manual Installasjon Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 401/301 MS. Likevel MERK anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Installasjon Fjern beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet.
  • Página 115 TV 401/301 MS må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). TV 401/301 MS kan monteres i en valgfri stilling. TV 401/301 MS må installeres i en stabil posisjon, og turbopumpens inngangsflens må koples til en fast motflens som er i stand til å motstå et moment på...

  • Página 116: Bruk

    Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 401/301 MS har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.

  • Página 117: Starte Og Bruke Tv 401/301 Ms

    Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TV 401/301 MS TV 401/301 MS startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen.

  • Página 118: Stoppe Tv 401/301 Ms

    Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 401/301 MS i en nødsituasjon. 118/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 119: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 401/301 MS er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Página 120: Eliminering

    Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. 120/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 121: Ohjekäsikirja

    TV 401/301 MS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 128 TV 401/301 MSin käynnistys ja käyttö TV 401/301 MSin pysäyttäminen 130 Hätäpysäytys 130 Huolto 131 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 121/264...

  • Página 122: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 122/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 123: Yleisiä Tietoja

    TV 401/301 MS on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.

  • Página 124: Varastointi

    -20 °C - 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. 124/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 125: Valmistelut Asennusta Varten125

    Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Valmistelut asennusta varten TV 401/301 MS toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 401/301 MSin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.

  • Página 126: Asennus

    Ohjekäsikirja Asennus TV 401/301 MS ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Asennus Poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään järjestelmään. Älkää HUOMIO! kytkekö turbopumppuun sähköä, ellei sitä ole kiinnitetty asianmukaisesti tyhjiöjärjestelmään.
  • Página 127 0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 401/301 MS tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). TV 401/301 MS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.

  • Página 128: Käyttö

    TV 401/301 MS laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 401/301 MS laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.

  • Página 129: Tv 401/301 Msin Käynnistys Ja Käyttö

    Siten pumpun seuraavat käynnistykset tapahtuvat ilman “Soft Start” -toimintoa. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen “Soft Start” -menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN KUVAUS” “Technical Information” -liitteessä). TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 129/264...

  • Página 130: Tv 401/301 Msin Pysäyttäminen

    Ohjekäsikirja Käyttö Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 401/301 MS:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.

  • Página 131: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 401/301 MS ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.

  • Página 132: Hävittäminen

    EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 132/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 133: Felhasználói Kézikönyv

    TV 401/301 MS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 134 Általános információk 135 Tárolás Előkészítés telepítésre 137 Telepítés Használat A TV 401/301 MS bekapcsolása és 141 A TV 401/301 MS 142 Vészleállítás 142 Karbantartás Megsemmisítés 144 Az eredeti utasítás fordítása 133/264...

  • Página 134: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 134/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 135: Általános Információk

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 401/301 MS egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.

  • Página 136: Tárolás

    0 – 95 % (nem kondenzáló) A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. 136/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 137: Előkészítés Telepítésre

    Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Előkészítés telepítésre A TV 401/301 MS-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.

  • Página 138: Telepítés

    Felhasználói Kézikönyv Telepítés A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 401/301 MS-et. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Telepítés Ne távolítsa el a védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való...
  • Página 139 Information”. A TV 401/301 MS-et elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). A TV 401/301 MS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 401/301 MS-et stabil helyzetben, a turbószivattyú rögzítő karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 2000 Nm tengely körüli nyomatéknak.

  • Página 140: Használat

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301 MS a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik FIGYELEM! az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 401/301 MS-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők.

  • Página 141: A Tv 401/301 Ms Bekapcsolása És

    ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A TV 401/301 MS bekapcsolása és használata A TV 401/301 MS bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.

  • Página 142: A Tv 401/301 Ms

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301 MS bekapcsolása A TV 401/301 MS kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...

  • Página 143: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 401/301 MS nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Página 144: Megsemmisítés

    A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. 144/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 145: Podrecznik Instrukcji

    TV 401/301 MS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 147 Magazynowanie 148 Przygotowanie do instalacji 149 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF 153 Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF154 Zatrzymanie Alarmowe 154 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej...

  • Página 146: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROŻENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 146/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 147: Ogólne Informacje

    (RS232 lub RS485). W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Technical Information”. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 147/264...

  • Página 148: Magazynowanie

    0 do 95 % ( bez opar) klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft- Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki. 148/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 149: Przygotowanie Do Instalacji

    Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska. Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Posta 1 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 149/264...

  • Página 150: Instalacja

    Nie zasilać turbopompy jeżeli nie jest odpowiednio zamocowana do systemu próżniowego. Posta 2 Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. 150/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 151 ZAGROŻENIE! Komora próżniowa która zawiera pompę, w celu bezpieczeństwa, musi posiadać odpowiednią grubość ścian. Na przykład , dla komór z hartowanego materiału Articorodal (σ =275 MPa) grubość 5 mm jest odpowiednią wartością. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 151/264...

  • Página 152: Użytkowanie

    Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach. 152/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 153: Włączenie I Użytkowanie Tv 401/301/21 Nsf

    „Soft-Start” Aby móc ponownie uruchomić z “Soft-Start” należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI” w dodatku “Technical Information”). TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 153/264...

  • Página 154: Zatrzymanie Systemu Tv 401/301/21 Nsf154

    śmierć. Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 401/301/21 NSF należy wyciągnąć kabel zasilania ze sterownika. 154/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 155: Konserwacja

    Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 155/264...

  • Página 156: Przetworstwo Odpadow

    Zaleca się użytkownikowi, po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w umowie sprzedaży, nawiązać kontakt z dostawcą lub sprzedawcą, w celu uruchomienia procesu zbiórki i przerobu. 156/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 157: Návod K Použití

    Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158 Všeobecné informace 159 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 164 Zapnutí a používání vývěvy TV 401/301 MS Vypnutí vývěvy TV 401/301 MSse šroubovanou přírubou Nouzové zastavení 166 Údržba 167 Likvidace Překlad originálního návodu 157/264...

  • Página 158: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 158/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 159: Všeobecné Informace

    činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 401/301 MS je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný...

  • Página 160: Uskladnění

    Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení) turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení. 160/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 161: Příprava K Instalaci

    Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Příprava k instalaci Vývěva TV 401/301 MS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.

  • Página 162: Instalace

    Návod k Použití Instalace V normálním prostředí se vývěva TV 401/301 MS nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem. Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací...
  • Página 163 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva TV 401/301 MS se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). Vývěvu TV 401/301 MS lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 401/301 MS upevněte v nějaké...

  • Página 164: Použití

    Návod k Použití Použití Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 401/301 MS do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 401/301 MS je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí...

  • Página 165: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 401/301 Ms

    Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TV 401/301 MS Pro uvedení vývěvy TV 401/301 MS do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.

  • Página 166: Vypnutí Vývěvy Tv 401/301 Msse Šroubovanou Přírubou

    Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 401/301 MSse šroubovanou přírubou Pro vypnutí vývěvy TV 401/301 MS je nutné vypnout síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...

  • Página 167: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 401/301 MS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Página 168: Likvidace

    Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 168/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 169: Návod Na Obsluhu

    Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 171 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 173 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 MS 177 Vypnutie zariadenia TV 401/301 MS 178 Núdzové zastavenie Údržba 179 Likvidácia Preklad originálneho návodu 169/264...

  • Página 170: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 170/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 171: Všeobecné Informácie

    úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie TV 401/301 MS predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.

  • Página 172: Uchovávanie

    -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. 172/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 173: Príprava Na Inštaláciu

    Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 401/301 MS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.

  • Página 174: Inštalácia

    Návod na Obsluhu Inštalácia Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 401/301 MS POZNÁMKA poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. Inštalácia Ochranný kryt odstráňte tesne pred pripojením turbovývevy k systému.
  • Página 175 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 401/301 MS sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Zariadenie TV 401/301 MS môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.

  • Página 176: Použitie

    žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 401/301 MS má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.

  • Página 177: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 401/301 Ms

    Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 MS Ak chcete zapnúť zariadenie TV 401/301 MS, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu.

  • Página 178: Vypnutie Zariadenia Tv 401/301 Ms

    Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 401/301 MS Ak chcete vypnúť zariadenie TV 401/301 MS, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍE! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie Turbo-V napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...

  • Página 179: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 401/301 MS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Página 180: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 180/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 181: Priročnik Za Navodila

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301 MS Izklop naprave TV 401/301 MS 190 Zaustavitev v sili 190 Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 181/264...

  • Página 182: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 182/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 183: Splošne Informacije

    TV 401/301 MS je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.

  • Página 184: Shranjevanje

    -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko. Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. 184/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 185: Priprava Za Montažo

    Agilent Vacuum. Priprava za montažo Naprava TV 401/301 MS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.

  • Página 186: Montaža

    Montaža Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave OPOMBA TV 401/301 MS. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Montaža Zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Ne POZOR! dovajajte ničesar turbočrpalki dokler ta ni primerno priključena na vakuumski...
  • Página 187 TV 401/301 MS morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). TV 401/301 MS lahko montirate v številne pozicije. TV 401/301 MS namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 2000 Nm okoli svoje osi.

  • Página 188: Uporaba

    Priročnik za Navodila Uporaba Po direktivi EN 61010-1 spada TV 401/301 MS v skupino za drugo nameščanje POZOR! (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava TV 401/301 MS ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv.

  • Página 189: Vklop In Uporaba Naprave Tv 401/301 Ms

    »Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Technical Information«. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 401/301 MS, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Č·rpalka je normalno vrti;...

  • Página 190: Izklop Naprave Tv 401/301 Ms

    Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 401/301 MS Za izklop naprave TV 401/301 MS morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).

  • Página 191: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 401/301 MS ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Página 192: Odlaganje Opadkov

    Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. 192/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 193: Instructions For Use

    TV 401/301 MS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194 General Information Storage Preparation for Installation 197 Installation Switching on and Use of TV 401/301 MS 201 TV 401/301 MS Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 193/264...

  • Página 194: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 194/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 195: General Information

    The TV 401/301 MS is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.

  • Página 196: Storage

    10 months from the shipping date. 196/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 197: Preparation For Installation

    Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for Installation The TV 401/301 MS is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.

  • Página 198: Installation

    Instructions for Use Installation Normal exposure to the environment cannot damage the TV 401/301 MS. NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. Installation...
  • Página 199 The TV 401/301 MS must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The TV 401/301 MS can be installed in any position. Fix the TV 401/301 MS in a stable position connecting the turbopump fixing flange to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 2000 Nm around its axis.

  • Página 200: Use

    Be sure that the insulation of the device connected to the TV 401/301 MS is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.

  • Página 201: Switching On And Use Of Tv 401/301 Ms

    Switching on and Use of TV 401/301 MS To switch on the TV 401/301 MS it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.

  • Página 202: Tv 401/301 Ms Switching Off

    Instructions for Use TV 401/301 MS Switching off To switch off the TV 401/301 MS it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.

  • Página 203: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 401/301 MS does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...

  • Página 204: Disposal

    The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. 204/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 205: Technical Information

    TV 401/301 MS User Manual Technical Information Description of the TV 401/301 MS Pump Description 208 Controller Description 209 Technical Specification TV 401/301 MS Outline Interconnections 216 Input Power Connector 217 P3 – Spare P5 – External Fan 218 J5 - In-Out...
  • Página 206 Water Cooling Kit Installation Purge Valve Installation Serial Cable Installation TV 401/301 MS Controller Installation Connection of the Fore-Vacuum Pump TV 401/301 MS Insertion and Extraction 246 Insertion Procedure Extraction Procedure 250 Connection of the Electrical Connector Pump Used with Corrosive Gases...

  • Página 207: Description Of The Tv 401/301 Ms

    Technical Information Description of the TV 401/301 MS Description of the TV 401/301 MS The TV 401/301 MS pumping system consists of a pump with a dedicated controller. The TV 401/301 MS pump model is 869-8928R003 (see the following figure).

  • Página 208: Pump Description

    The pump can operate in any position and must be supported on the flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF16 flange. 208/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 209: Controller Description

    Technical Information Pump Description Figure 4 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section. The power supply, together with the 3-phase output, converts the single phase AC mains supply into a 3-phase output which is required to power the pump.

  • Página 210: Technical Specification

    Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter Pwr supply (mains): Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input pwr: 300 VA Stand-by pwr: 10 W 210/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 211 Weight kg (lbs): Pump: 5.8 (12.76) Controller: 1 (2.2) When the TV 401/301 MS has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature. 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 212: Tv 401/301 Ms Outline

    Technical Information TV 401/301 MS Outline TV 401/301 MS Outline The following figure shows the TV 401/301 MS outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 TV 401/301 MS outline, with standard controller mounted 212/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 213 Technical Information TV 401/301 MS Outline The following figure shows the 869-8979M005 controller outline (dimensions are in inches [mm]). Figure 6 TV 401/301 NSF controller outline 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 213/264...
  • Página 214 Technical Information TV 401/301 MS Outline Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Main port) Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Side port) 214/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 215 Technical Information TV 401/301 MS Outline Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Main Port) Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Side Port) 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 215/264...

  • Página 216: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 401/301 MS interconnections. Figure 11 216/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 217: P3 - Spare

    Technical Information P3 – Spare Input Power Connector The following figure shows the input power connector. Figure 12 P3 – Spare Figure 13 This is a dedicated 24 Vdc spare connector; note that it can be also controlled by means of the serial connection. 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 217/264...

  • Página 218: J5 - In-Out

    This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 401/301 MS. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. 218/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 219: Signal Description

    Technical Information J5 - In-Out Tab. 3 PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT SPARE FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND...
  • Página 220 (frequency or power) set by the user (0 V = 0 W or 0 Hz; 10 V = 150 W or 1010 Hz). The default setting is the frequency. FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. 220/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 221 Technical Information J5 - In-Out PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low level active"...
  • Página 222 "PROGRAMMABLE SET POINT" signal is at low level, the relay is excited and it closes the contact between pin 10 and pin 12. The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the NOTE programmable feature. 222/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 223: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller

    How to Connect the Output Open Collector of the Controller Here below there are examples of typical connections of the input of TV 401/301 MS to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
  • Página 224 Technical Information J5 - In-Out Figure 19 Case 1 224/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 225 Technical Information J5 - In-Out Figure 20 Case 2 with relay utilisation 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 225/264...

  • Página 226: How To Connect The Outputs Of The Controller

    LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pin 11. 226/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 227 Technical Information J5 - In-Out Using internal 24 Vdc supply: Figure 22 Using external 24 Vdc supply: Figure 23 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 227/264...

  • Página 228: J6 - Serial

    J6 – Serial Figure 24 Output to a relay coil This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 401/301 MS. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT)

  • Página 229: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
  • Página 230 <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. 230/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 231 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>...

  • Página 232: Examples

    RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 232/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 233 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 233/264...
  • Página 234 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA 234/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 235: Window-Meanings

    Technical Information Window-Meanings Window-Meanings Tab. 7 Read/ Data Description Admitted Values Write Type Start/Stop Start = 1 (in remote mode the window Stop = 0 is a read only) Low Speed NO = 0 Activation YES = 1 (default = 0) Remote (default) or Remote = 1 Serial configuration...
  • Página 236 On = 1 (on = closed) Off = 0 (default = 1) Reserved to Agilent service Set the vent valve Automatic = 0 (see operation note 1.) On command = 1 (see note 2) 236/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 237 Technical Information Window-Meanings Read/ Data Description Admitted Values Write Type Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle)
  • Página 238 3. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 25 Window N. 206 Bit Description 238/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 239: Water Cooling Kit Installation

    Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model).
  • Página 240 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure. Figure 29 240/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 241 Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.

  • Página 242: Purge Valve Installation

    To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 30 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. 242/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 243: Serial Cable Installation

    Serial Cable Installation Figure 31 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 401/301 MS or the optional vent valve has to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
  • Página 244 Technical Information Serial Cable Installation Figure 32 244/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 245: Tv 401/301 Ms Controller Installation

    (see controller outline drawing). Connection of the Fore-Vacuum Pump A KF 16 flange is available to connect the TV 401/301 MS pump to the fore-vacuum pump. A vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.

  • Página 246: Tv 401/301 Ms Insertion And Extraction

    TV 401/301 MS Insertion and Extraction TV 401/301 MS Insertion and Extraction Material Needed TV 401/301 MS pump, PN 869-8928R003 (in the following: the pump, supplied), with O-rings already mounted in the factory. Quantity 6 screws, M6 × 20.8 mm, black, with spherical tip, resistance class 10.9 or greater (in the following: sphere-screws,...

  • Página 247: Insertion Procedure

    Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 34 TV 401/301 MS flange insertion/extraction flange. Insertion smooth holes (6, RED CIRCLES @ 60°), extraction M6 threaded holes (3, BLUE RHOMBS @ 120°). Insertion Procedure Insert the pump into the chamber carefully and without tilting it.
  • Página 248 When the axial distance between the pump flange and chamber flange is about 4 mm, engage 6 sphere-screws with washers (RED CIRCLES in Fig. 2) in the 6 outer flange threaded holes (Fig. 36). 248/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 249 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 36 Screw Engagement. Use the torque wrench, set @ 10 Nm. WARNING! Do not screw in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel.

  • Página 250: Extraction Procedure

    Get the pump flange in contact with the chamber flange and close the sphere-screws @ 10 Nm. Extraction Procedure Use a torque wrench, locked at a torque value > 10 Nm. Unscrew the 6 sphere-screws starting anywhere, proceeding clockwise. 250/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 251 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction WARNING! Do not unscrew in the M4 screws present on the pump flange at a smaller diameter, and marked with yellow enamel. Engage 3 sphere-screws into the M6 threaded holes present on the pump flange (blue rhombus in Fig.
  • Página 252 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction ½ turn ½ turn ½ turn Figure 39 When the pump is free, pull it out of the chamber carefully (Fig. 40). 252/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 253 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 40 Remove the 3 M6 screws from the pump flange. 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 253/264...

  • Página 254: Connection Of The Electrical Connector

    Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. 254/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 255 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases To prevent bearing damage, Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of CAUTION! 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Agilent for specific applications. The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m /h (11 CFM) allows to achieve a high vacuum pressure in the 10 mbar range.

  • Página 256: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. In general, therefore, an increase in pump power can be expected. 256/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...

  • Página 257: Accessories And Spare Parts

    Technical Information Accessories and Spare Parts If this increase is lower than 50 % of the power value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist.
  • Página 258 Technical Information Accessories and Spare Parts 258/264 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
  • Página 264 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Este manual también es adecuado para:

869-8928r003969-8979м005