Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione 24 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 33 Gebrauch Wartung Entsorgung 39 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (M)
Página 6
Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation 47 Utilisation 49 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 55 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación 61 Mantenimiento 66 Eliminación 67...
Página 7
Contents Preparação para a instalação 74 Instalação 75 Utilização Manutenção Eliminação 81 Bedrijfshandleiding 83 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie Opslag Uitpakken 88 Installatie Gebruik Onderhoud 94 Afvalverwerking 95 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information 99 Opbevaring 100 Forberedelser før installation 101 Installation 102 Anvendelse 104...
Página 8
Contents Vedligeholdelse 107 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 110 Allmän information 111 Förvaring Förberedelser för installation 113 Installation 114 Användning 116 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 121 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 123 Lagring Klargjøre til installasjon 125 Installasjon 126 Bruk Vedlikehold 131 Eliminering 132...
Página 9
Contents Yleisiä tietoja Varastointi 136 Valmistelut asennusta varten137 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 145 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 146 Általános információ 147 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 156 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 159 Magazynowanie 160 Przygotowanie do instalacji 162...
Página 10
Contents Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 169 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 172 Všeobecné informace Uskladnění 174 Příprava k instalaci 175 Instalace Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 183 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia...
Página 11
Contents 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 196 Splošne informacije 197 Shranjevanje Priprava za montažo 199 Montaža Uporaba Vzdrževanje 204 Odlaganje opadkov 204 16 Instructions for Use 205 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 206 General Information 207 Storage Preparation for Installation 209 Installation 210...
Página 12
Contents Interconnections How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Input power connection on the model 969-8972 RS 232/RS 485 communication description Inlet Screen Installation 251 Heater Band Installation 254 Air Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation 264 Purge Valve Installation 264...
TV 301 Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TV 22 Arresto del TV 301 Navigator Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/282...
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 16
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il TV 301 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Página 20
Istruzioni per l’uso Installazione Il TV 301 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 301 Navigator in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse. Per esempio la flangia ISO 100 K può...
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 301 Navigator Per accendere il TV 301 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa. Il modo “Soft Start”...
Istruzioni per l’uso Arresto del TV 301 Navigator Per arrestare il TV 301 Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Página 26
Istruzioni per l’uso Smaltimento 26/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301 Navigator Stoppen von Modell TV 301 Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/282...
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 30
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell TV 301 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 301 Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Abbildung 1 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Página 34
Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120 °C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301 Navigator Zur Einschaltung von Modell TV 301 ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe. Der Modus “Soft Start” sieht vor, die Pumpe nach einem langen Stillstand einzuschalten.
Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen von Modell TV 301 Navigator Zum Stoppen von Modell TV 301 Navigator ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Página 40
Gebrauchsanleitung Entsorgung 40/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator 50 Arrêt du TV 301 Navigator 51 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 53 Traduction de la mode d’emploi originale 41/282...
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 44
Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si ATTENTION! elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte.
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le TV 301 Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment ATTENTION! de brancher la turbopompe au système. Figure 2 Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à...
Página 48
Mode d’emploi Installation Le TV 301 Navigator peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe Par exemple le flasque ISO 100 K peut être fixé...
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120 °C.
Mode d’emploi Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator Pour allumer le TV 301 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 301 Navigator Pour arrêter le TV 301 Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Página 54
Mode d’emploi Mise au rebut 54/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación Encendido y Uso del TV 301 Navigator Parada del TV 301 Navigator 65 Parada de Emergencia 65 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al ¡ATENCIÓN! no respetarse, podrían provocar daños al equipo. ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El TV 301 Navigator se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la ¡ATENCIÓN! bomba al sistema. Figura 2 No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Página 62
Manual de istrucciones Instalación El TV 301 Navigator puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 301 Navigator en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo la brida ISO 100 K puede ser fijada con mordazas en acero de alta resistencia (tipo modelo tipo Agilent IC 63250 DCMZ).
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 301 Navigator Para encender el TV 301 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba. La modalidad Soft Start está...
Manual de istrucciones Parada del TV 301 Navigator Para parar el TV 301 Navigator nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Página 68
Manual de istrucciones Eliminación 68/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator 78 Paragem do TV 301 Navigator Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/282...
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 72
Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais.
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 301 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Página 76
Manual de Istruções Instalação O TV 301 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 301 Navigator pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 301 Navigator em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 120 °C.
Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator Para ligar o TV 301 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O modo Soft Start é previsto para ligar a bomba após um longo período de paragem.
Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 301 Navigator Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Página 82
Manual de Istruções Eliminação 82/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator 92 Afzetten van de TV 301 Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 95 Vertaling van de originele instructies 83/282...
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 86
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, VOORZICHTIG! schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TV 301 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met ex¬plosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig...
Página 90
Bedrijfshandleiding Installatie De TV 301 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De TV 301 Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TV 301 Navigator in een stabiele positie en verbind de in¬laatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator Om de TV 301 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp. De “Soft Start”...
Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de TV 301 Navigator Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring).
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 301 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding WAARSCHUWING! loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Página 96
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 96/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 301 Navigator 105 Stop af TV 301 Navigator Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/282...
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Istruktionsbog Opbevaring I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke FORSIGTIG! at risikere maskinskader. ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne.
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TV 301 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Figur 2 Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
Página 103
Istruktionsbog Installation TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen. Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastgøres med klemmer af højstyrkestål (type Agilent-model IC 63250 DCMZ).
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 301 Navigator For at starte TV 301 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. “Soft Start” moden bruges for at tænde pumpen efter lang stilstand. For at aktivere SOFT START metoden skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 2327485 “COMMUNICATION DESCRIPTION”...
Istruktionsbog Nødstop Stop af TV 301 Navigator For at afbryde TV 301 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
TV 301 Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 110 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Start och användning av TV 301 Navigator Att stänga av TV 301 Navigator 118 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 109/282...
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Bruksanvisning Förvaring I bruksanvisningen används följande standardrubriker: Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt OBSERVER! för att inte risk för maskinskada skall uppstå VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation TV 301 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna.
Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 2 Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på...
Página 115
Bruksanvisning Installation TV 301 Navigator kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel. Flänsen ISO 100 K kan till exempel fixeras med höghållfasta stålbyglar (modell Agilent IC 63250 DCMZ).
Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 301 Navigator För att starta TV 301 behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Läget “Sof Start” har förutsätts för att tända pumpen efter ett längre stillastående.
Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 301 Navigator Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad som kan ersätta pumpen med en renoverad pump.
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
TV 301 Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 122 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon 126 Bruk Starte og bruke TV 301 Navigator Stoppe TV 301 Navigator Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 121/282...
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Instruksjon Manual Lagring Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, FORSIKTIG! kan føre til at utstyret skades. ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader.
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TV 301 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 301 Navigator pakkes ut, må...
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må...
Página 127
Instruksjon Manual Installasjon TV 301 Navigator kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV 301 Navigator i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen. For eksempel ISO 100 K flensen kan festes ved å bruke ekstra resistente stål klemmer (som Agilent modell IC 63250 DCMZ).
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 301 Navigator TV 301 startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Modusen ”Soft Start” brukes når pumpen skal startes igjen etter å ha stått stille en lengre periode.
Instruksjon Manual Bruk Stoppe TV 301 Navigator TV 301 Navigator stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
TV 301 Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 134 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 140 TV 301 Navigatorin käynnistys ja käyttö 141 TV 301 Navigatorin pysäyttäminen Hätäpysäytys 142 Huolto 143 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 133/282...
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 134/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Ohjekäsikirja Varastointi Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. VAROITUS! Varoitus- merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin, joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu...
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TV 301 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 301 Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Página 139
Ohjekäsikirja Asennus TV 301 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). TV 301 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TV 301 Navigator vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 1000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi laippa ISO 100 K voidaan kiinnittää...
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.
Ohjekäsikirja Käyttö TV 301 Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 301 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. “Soft Start” -tapa on käytettävissä pumpun käynnistämistä varten pitkän seisonta-ajan jälkeen. Jotta käynnistys voitaisiin saataisiin suorittaa uudelleen “Soft Start”...
Ohjekäsikirja Käyttö TV 301 Navigatorin pysäyttäminen TV 301 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
TV 301 Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informá 147 Tárolás 148 Előkészítés telepítésre 149 Telepítés Használat A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator kikapcsolása 154 Vészleállítás 154 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 145/282...
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Felhasználói Kézikönyv Általános információ Általános információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. VESZÉLY! A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi sérülésekhez vezethet.
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TV 301 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú FIGYELEM! rendszerre csatlakoztatása előtt. Ábra 2 Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő...
Página 151
Felhasználói Kézikönyv Telepítés A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak. Például az ISO 100 K karima rögzíthető nagy teherbírású acélkapcsokkal (mint az IC 63250 DCMZ) Agilent típus).
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A “Soft Start” mód a szivattyú hosszabb leállást követő elindítására szolgál.
Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 301 Navigator kikapcsolása A TV 301 Navigator kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá...
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Podrecznik Instrukcji Megsemmisítés Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 159 Magazynowanie 160 Przygotowanie do instalacji 162 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301 Navigator Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Zatrzymanie Awaryjne 167 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 157/282...
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować...
Página 161
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 161/282...
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System TV 301 Navigator jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną...
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. ć 2 Posta Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Página 164
Podrecznik Instrukcji Instalacja TV 301 Navigator może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TV 301 Navigator w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi. Na przykład kołnierz ISO 100 K może być zamocowany z zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu Agilent IC 63250 DCMZ).
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C. ZAGROZENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301 Navigator Aby włączyć TV 301 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Tryb “Soft Start” przewidziano w celu włączenia pompy po dłuższym okresie postoju.
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Aby zatrzymać TV 301 Navigator wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie poniżej 50 °C.
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Página 170
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 170/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 172 Všeobecné informace 173 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator 179 Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator 180 Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 171/282...
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Návod k Použití Uskladnění Tento manuál používá následující standardní protokol: Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Poznámky obsahují...
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TV 301 Navigator se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Postava 2 Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující...
Página 177
Návod k Použití Instalace Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent).
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 120 °C. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená...
Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator Pro uvedení vývěvy TV 301 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Režim „Soft Start“ slouží k zapnutí vývěvy po delším vyřazení z provozu.
Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator Pro vypnutí vývěvy TV 301 Navigator je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Návod na Obsluhu Likvidace Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 185 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 183/282...
Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Návod na Obsluhu Uchovávanie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali...
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte POZOR! turbovývevu k systému. Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru.
Página 189
Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie TV 301 Navigator môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TV 301 Navigator do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 1000 Nm okolo svojej osi. Napríklad príruba typu ISO 100 K môže byť...
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná.
Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Režim „Soft Start“ slúži na zapnutie vývevy po dlšom vyradení z prevádzky.
Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete vypnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemne-nou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené...
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
TV 301 Navigator User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 301 Navigator Izklop naprave TV 301 Navigator 203 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 195/282...
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 301 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili.
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Página 201
Priročnik za Navodila Montaža TV 301 Navigator lahko montirate v številne pozicije. TV 301 Navigator namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 1000 Nm okoli svoje osi. ISO 100 K prirobnico lahko na primer pritrdite s pomočjo jeklenih držal (kot pri Agilent modelu IC 63250 DCMZ).
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 301 Navigator Za vključitev TV 301 Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. »Soft Start« način je predviden za zagon po daljši neuporabi črpalke. Za zagon »Soft Start«...
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 301 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
TV 301 Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 209 Installation Switching on and Use of TV 301 Navigator TV 301 Navigator Switching off 213 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 205/282...
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Instructions for Use Storage This manual uses the following standard protocol: The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury.
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 301 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Página 211
Instructions for Use Installation The TV 301 Navigator can be installed in any position. Fix the TV 301 Navigator in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis. For example the ISO 100 K flange can be fixed using high strength steel clamps (as Agilent model IC 63250 DCMZ).
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Instructions for Use Switching on and Use of TV 301 Navigator To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. “Soft Start”...
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Página 216
Instructions for Use Disposal 216/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
TV 301 Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 301 Navigator 219 Pump Description Controller Description Technical Specification TV 301 Navigator Outline Interconnections P3 - Vent P5 – External Fan J5 – In-Out Signal Description How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 235 How to Connect the Outputs of the Controller 239 J6 –...
Página 218
Technical Information Disposal Vent Accessories 261 TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 TV-301 AG Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9844 Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation Serial Cable Installation TV 301Controller Installation Bottom Mounting Side Mounting Connection A - High Vacuum Flange 268 Connection Configurations Connection B - Fore-Vacuum Pump 270...
Technical Information Description of the TV 301 Navigator Description of the TV 301 Navigator The TV 301 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in various models that differ in the high vacuum flange and the controller. The TV 301 Navigator pump models are: ...
Technical Information Description of the TV 301 Navigator The controller is also available in two models: 24 Vdc controller: model 969-8972; 120/220 Vac controller: model 969-8973. The following figures show the eight kit models. Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 Macrotorr stages.
Página 221
Technical Information Description of the TV 301 Navigator Figure 4 Model 969-8919, Model 969-8825, Model 969-8829 Figure 5 Model 969-8918, Model 969-8824, Model 969-8828 Figure 6 Model 969-8920, Model 969-8826, Model 969-8830 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 221/282...
Página 222
Technical Information Description of the TV 301 Navigator Proceeding from the high vacuum to the forevacuum region, the turbine stages sequence is: 1st stage with a blade angle of 42°, 2nd stage with a blade angle of 28°, 3rd stage with a blade angle of 24°, ...
Technical Information Description of the TV 301 Navigator PUMP CABLE CONNECTOR CONTROLLER Figure 7 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs which include power supply and 3-phase output, analog and input/output section, microprocessor and digital section.
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 3 Technical Specification Pumping speed With CFF 8” or ISO 160: With CFF 6” or ISO 100: : 280 l/s : 250 l/s He: 230 l/s He: 220 l/s : 210 l/s : 200 l/s Compression ratio : >2 x 108 He: 1 x 105...
Página 225
Technical Information Technical Specification Pwr supply (24 Vdc): Input voltage: 24 Vdc Max input pwr: 200 W Stand-by pwr: 10 W Max oper. power: 150 W with water or air cooling Protection fuse Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3)
Technical Information TV 301 Navigator Outline TV 301 Navigator Outline The following figure shows the TV 301Navigator outline (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 TV 301 Navigator outline 226/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Página 227
Technical Information TV 301 Navigator Outline Figure 9 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 227/282...
Página 228
Technical Information TV 301 Navigator Outline Figure 11 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Figure 12 Graph of nitrogen throughput test 228/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 301 interconnections. Figure 13 TV 301 interconnections P3 - Vent Figure 14 P3-Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 229/282...
Technical Information Interconnections P5 – External Fan Figure 15 External fan This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. J5 – In-Out Figure 16 In-Out This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the TV 301 Navigator.
Technical Information Interconnections Tab. 4 Signal characteristics and use PIN N. SIGNAL NAME IN-/OUTPUT Start/Stop (+) Start/Stop (-) Interlock (+) Interlock (-) Speed setting (+) Speed setting (-) Soft start (+) Soft start (-) + 24 vdc Spare Programmable set point Spare Fault output Programmable analog signal (+)
Página 232
Technical Information Interconnections Speed setting: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: frequency: 100 Hz +/-20% amplitude: from 5 to 24 V duty cycle range: from 25% to 75% (t /T) corresponding to a ...
Página 233
Technical Information Interconnections Figure 18 Fault: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. Programmable set point: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold.
Página 234
Technical Information Interconnections Figure 19 Set point output The set point output stays at 0 Vdc until the fre-quency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 20 How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of the integrated controller to an external system. Two cases are considered: 1.
Página 236
Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 21 Case 1 236/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Página 237
Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 22 Case 2 with relay utilisation TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 237/282...
Página 238
Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 23 Case 2 with transistor utilisation 238/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller.
Página 240
Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Tab. 5 Signal characteristics and use PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) A+ (RS422 Optional) A + (RS485) B - (RS422 Optional) B - (RS485) RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial NOTE...
Technical Information Input power connection on the model 969-8972 Input power connection on the model 969-8972 The following figure shows the input power connection relevant to the model n. 969-8972. Figure 26 In order to avoid damage to the connector all the pins must be connected to the CAUTION! external power source.
Technical Information RS 232/RS 485 communication description 1 stop bit baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 pro-grammable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: Host = MASTER Controller = SLAVE The communication is performed in the following way: 1.
Página 243
Technical Information RS 232/RS 485 communication description <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: Tab.
Página 244
Technical Information RS 232/RS 485 communication description The controller can answers with the following response types: Tab. 7 Response types Type Length Value Description Logic 1 byte After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes...
Página 245
Technical Information RS 232/RS 485 communication description Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 245/282...
Página 246
Technical Information RS 232/RS 485 communication description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 246/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Página 249
Technical Information RS 232/RS 485 communication description Read/Write Datatype Description Admitted Values Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 70 Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Error code...
Página 250
Technical Information RS 232/RS 485 communication description 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n.
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 28 Figure 29 The inlet screens mod. 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being dam-aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %.
Página 252
Technical Information Inlet Screen Installation Figure 30 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 31 252/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Página 253
Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange di-mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. Figure 32 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 253/282...
Technical Information Heater Band Installation Heater Band Installation Figure 33 The heater band model 969-9804 and 969-9803 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature of about 80 °C.
Página 255
Technical Information Heater Band Installation Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out by the thermistor sensor. The turbopump must be "baked" only when operating with an inlet pressure NOTE less than 10- mbar and with water cooling.
Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation TV 301with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 969-9299) is available to improve the TV 301 cooling during heavy operational conditions (optional). Figure 35 Fan specifications: air flow: 140 m3/h ...
Página 257
Technical Information Air Cooling Kit Installation Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller; Connect the fan supply to the P4 connector of the controller. Figure 36 Figure 37 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969- 9347 (plastic model).
Página 259
Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 40 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure.
Página 260
Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent op-eration. TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 969-9834 Figure 42 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.
Technical Information Vent Accessories Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 44 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”).
Página 263
Technical Information Vent Accessories For further details refers to the Rack Controller manual. To install the vent valve unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Figure 46 Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the oring right position.
Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The four model part numbers are the following: model 969-9344 for ISO 100 flange; model 969-9345 for ISO 160 flange; ...
Technical Information Serial Cable Installation and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 49 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 301 Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer.
Technical Information TV 301Controller Installation TV 301Controller Installation The controller can be mounted in two position: bottom mounting (as per the complete system) side mounting. To install the controller execute the following procedures. Bottom Mounting See the following figure. Turn the pump upside-down;...
Technical Information TV 301Controller Installation Side Mounting The L-shaped bracket (P/N 969-9970) is available as an option. NOTE See the following figure. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket; Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller;...
Technical Information TV 301Controller Installation Figure 52 Mounting 2 Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 53 268/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Página 269
Technical Information TV 301Controller Installation Then fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Figure 54 For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware. To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange.
Technical Information TV 301Controller Installation Connection Configurations Figure 55 Connection B - Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V301 pump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Technical Information TV 301Controller Installation Connection C – Electrical Figure 56 The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground.
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Página 273
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 57 Purge layout TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 273/282...
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 9 Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Serial cable and Navigator Software 969-9883 Inlet screen, ISO 100 969-9302 Inlet screen, ISO 160 969-9303...
Página 276
Technical Information Accessories and Spare Parts 276/282 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
Página 282
Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...