I controller pilotano lasciar cedere il controller e a non sottoporlo ad urti. le pompe della serie Turbo-V 1000 ICE E-series (con Non disperdere l’imballo nell’ambiente. II materiale è un processo suddiviso in dieci passi) durante la fase di...
ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE NOTA Il connettore di richiusura J1 deve essere lasciato collegato con il suo ponticello se non viene effettuato PERICOLO! alcun collegamento esterno. La pompa di pre-vuoto e pompa Turbo-V possono essere accese II controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre contemporaneamente.
STOP del pannello frontale. normative nazionali specifiche. MANUTENZIONE MESSAGGI DI ERRORE I controller della serie Turbo-V 1000 ICE E-series non In alcuni casi di guasto la circuiteria di autodiagnosi del richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento controller presenta alcuni messaggi di errore elencati deve essere eseguito da personale autorizzato.
Página 10
Se il messaggio si ripresenta rivolgersi alla spurio. Varian per la manutenzione. Allarme relativo al flusso di purge. Il Controllare il corretto funzionamento del FLOW METER ALARM valore del flusso è rimasto ad un valore circuito di alimentazione del gas.
Personal, nicht autorisierten (nicht kondensierend) Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Die Controller der Serie VOR DER INSTALLATION Turbo-V 1000 ICE E-series sind mikroprozessor- Controller wird einer speziellen gesteuerte Frequenzwandler.
Página 12
GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION ANMERKUNG Der Wiederverschließ-Verbinder J1 muß mit seiner GEFAHR! Brücke angeschlossen bleiben, wenn kein externer Anschluß erfolgt. Die Vorvakuumpumpe und die Turbo- Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 V-Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Drähte enthält und mit einem den internationalen Normen entsprechenden Stecker ausgerüstet ist.
In einigen Störungsfällen zeigt das Selbstdiagnoses- WARTUNG system des Controllers die in der nachstehenden Tabelle zusammengefaßten Meldungen an. Die Controller der Serie Turbo-V 1000 ICE E-series sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. 87-900-951-01 (B)
Página 14
Die Taste START zweimal drücken, um die OVERVOLTAGE eine Störung aufgetreten oder der Pumpe wieder anzufahren. Kontroller hat ein unechtes Signal Falls die Meldung nochmals auftritt, die empfangen. Firma Varian zur Instandsetzung zu Rate ziehen. Alarm hinsichtlich Auswurffluß. Einwandfreien Betrieb des FLOW METER ALARM Flußwert befindet sich für die Dauer von...
Le contrôleur est fourni dans un emballage de protec- nationales spécifiques. tion spécial; si l'on constate des marques de dommages Les contrôleurs de la série Turbo-V 1000 ICE E-series pouvant s'être produits pendant le transport, contacter sont des convertisseurs de fréquence, contrôlés par un aussitôt le bureau de vente local.
MODE D'EMPLOI INSTALLATION NOTE DANGER! Laisser le connecteur de réenclenchement J1 connecté à sa barrette s'il n'est procédé à aucune connexion exté- Les contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois rieure. La pompe à pré-vide et la pompe Turbo-V peu- fils avec une fiche du type approuvé...
MESSAGES D'ERREUR ENTRETIEN Dans certains cas de panne, l'ensemble de circuits Les contrôleurs de la série Turbo-V 1000 ICE E-series d'autodiagnostic du contrôleur présente certains mes- n'exigent aucun entretien. Toute opération doit être ef- sages d'erreur indiqués dans le tableau ci-dessous.
Página 18
Si le message est réaffiché vous adres- ser à la société Varian pour l’entretien. Alarme concernant le flux de purge. La Vérifier le bon fonctionnement du circuit FLOW METER ALARM valeur du flux est restée au dessous du...
El controler se suministra en un embalaje de protección nacionales específicas. especial; si se observan señales de daños, que podrían Los controlers de la serie Turbo-V 1000 ICE E-series haberse producido durante el transporte, ponerse en son convertidores de frecuencia, controlados por un contacto con la oficina de venta más cercana.
INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN NOTA ¡PELIGRO! El conector di cierre J1 ha de dejarse conectado con su conector puente si no se efectúa ninguna conexión El controler va dotado de un cable de alimentación de exterior. La bomba pre-vacío y la bomba Turbo-V tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel pueden encenderse simultáneamente.
MANTENIMIENTO algunos casos avería circuitos Los controlers de la serie Turbo-V 1000 ICE E-series no autodiagnosis del controler presenta algunos mensajes necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación de error detallados en la tabla siguiente. ha de ser efectuada por personal autorizado.
En caso el mensaje vuelva a aparecer, llamar a Varian para la manutención. Alarma concerniente flujo Controlar el correcto funcionamiento del FLOW METER ALARM limpieza (purge).
às normas nacionais específicas. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO Os controllers da série Turbo-V 1000 ICE E-series são O controller é fornecido numa embalagem protectora conversores frequência, controlados especial;...
INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO NOTA ¡PERIGO! O conector de fecho J1 deve permanecer ligado à sua ponte se não é efectuada nenhuma ligação externa. A O controller é fornecido com um cabo de alimentação bomba de pré-vácuo e a bomba Turbo-V podem ser de três fios com uma tomada de tipo aprovado a nível ligadas simultaneamente.
STOP do painel frontal. específicas. MANUTENÇÃO MENSAGENS DE ERRO Os controllers da série Turbo-V 1000 ICE E-series não Em alguns casos de defeitos, os circuitos de requerem qualquer manutenção. Todas as operações autodiagnóstico do controller apresentam mensagens devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
Página 26
Se a mensagem se reapresenta, dirigir- se à Varian para a manutenção. Alarme relativo ao fluxo de descarga. O Verificar se o circuito de alimentação do FLOW METER ALARM valor do fluxo permaneceu num valor gás funciona correctamente.
De controllers zijn van circuits voorzien die noodzakelijk zijn voor de automatische werking van de pompen van de serie Turbo-V 1000 ICE E-series. Via hulpconnectoren zijn de sturingen voor het afstand...
GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE OPMERKING De connector J1 moet met zijn jumper aangesloten GEVAAR! blijven als geen externe aansluiting tot stand wordt gebracht. De pre-vacuümpomp en de Turbo-V pomp De controller is voorzien van een voedingskabel met mogen beide gelijktijdig ingeschakeld zijn. drie draden en een stekker van het internationaal goedgekeurde type.
Página 29
ONDERHOUD FOUTMELDINGEN De controllers van de serie Turbo-V 1000 ICE E-series In geval van bepaalde storingen wekt het zelfdiagnose- zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten circuit van de controller enkele foutmeldingen op die in door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Página 30
Als de melding weer verschijnt, zich voor ontvangen. onderhoud tot Varian wenden. Alarm betreffende de reinigingsstroom. Controleer gastoevoercircuit FLOW METER ALARM De stromingswaarde is gedurende 10 of correct functioneert.
• yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. temperatur: fra -20 °C til +70 °C • Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som relativ luftfugtighed: 0 - 95% følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig (ikke kondenserende) brug af personer uden tilstrækkelig kendskab, ukorrekt...
Página 32
BRUGSANVISNING INSTALLATION BEMÆRK ADVARSEL ! Afbryderkontakten J1 skal forblive tilsluttet med aktuel bro, når der ikke udføres eksterne tilslutninger. Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen skal fungere Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere samtidigt. og godkendt stik efter internationale standarder. Anvend udelukkende det medleverede strømkabel. Stikket må tilsluttes vægudtag fungerende...
Página 33
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af INSTRUKTION Varians reparations-service eller Varian udvekslingsservice, hvor man kan få en repareret Start af styreenheden pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. Styreenheden startes ved at sætte strømkablet i vægudtaget og sæt hovedafbryderen i stilling 1.
Página 34
Tryk to gange på START for at starte styreenheden har modtaget et ikke pumpen igen. korrekt signal. Såfremt meddelelsen fremvises på ny, rettes henvendelse Varian foretagelse af vedligeholdelse. Alarm for udluftningsventil. Værdien for Kontrollér, at kredsløbet til gasforsyning FLOW METER ALARM gennemstrømningen under fungerer korrekt.
Varian före användning temperatur: från -20 °C till +70 °C • utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) eller delvis orsakats åsidosättande instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION...
Página 36
BRUKSANVISNING INSTALLATION OBSERVERA Stängningskontakten J1 måste lämnas ansluten med aktuell brygga om ingen extern anslutning utförs. Förvakuumpumpen och Turbo-V-pumpen kan fungera VARNING samtidigt. Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare godkänd stickpropp enligt internationella Kontroller, Indikatorer och Kontakter på standarder. Använd endast medlevererade...
Bakre panel på Styrenheten 969-9464 och 969-9564 styrenheten havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som INSTRUKTIONER FÖR BRUK kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. Start av styrenheten Styrenheten startas enkelt genom att sätta strömkabeln i vägguttaget och sätt huvudströmbrytaren i läge 1.
Página 38
Ett fel har upptäckts i styrenhetens Tryck två gånger på knappen START för spänningsmatning eller styrenheten att starta om pumpen. har fått en falsk signal. Om meddelandet upprepas kontakta Varian för underhåll. Larm angående rengöringsflödet. Kontrollera korrekt funktion av gasens FLOW METER ALARM Värdet är...
Når styreenhetene transporteres eller lagres, må brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen følgende forhold være oppfylt: • og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i temperatur: fra 20 °C til +70 °C • bruk. relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...
BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON MERK ADVARSEL Lukkekontakten J1 må være tilkoplet aktuell brygge dersom det ikke skjer en annen ekstern tilkopling. Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere og Forvakuumpumpen og Turbo-V-pumpen må fungere godkjent støpsel i henhold til internasjonale standarder. sammen. Bruk kun den vedlagte strømkabelen.
BRUKERVEILEDNING Inngangskontakt for logiske signaler (tilkoplingskontakten leveres med spesiell lukkebrygge). Utgangskontakt for logiske signaler og kontroll av pumpens strøm og magnetiseringsfrekvens. Effektuttak (120 Vac, 1 A) for forsyningen av tileggsanordningene (vent device, primærpumpens aktiveringsrelè, osv.). Pumpens kabelkopling. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter.
Página 42
Trykk to ganger på knappen START for å forsyningsseksjon, eller styreenheten starte pumpen. har mottatt et falsk signal. Hvis meldingen dukker opp igjen, må du ta kontakt med Varian for vedlikehold. Alarm purgestrømningen. Kontroller at gassmatekretsen fungerer FLOW METER ALARM Strømningsverdien har i 10 sekunder...
Sarjan Turbo-V 1000 ICE E-series valvojat ovat yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. mikroprosessoreiden valvomia kiinteistä materiaaleista Pakkauksen purkamisen yhteydessä huolehtikaa, että tehtyjä taajuudenmuuntimia, jotka kykenevät valvoja ei pääse putoamaan ja välttäkää sen joutumista itsemäärittelyyn ja itsesuojaukseen.
Página 44
KÄYTTÖOHJEET ASENNUS HUOM VAARA! Sulkimen J1 liitin tulee jättää yhdyskaapelilla kytketyksi, mikäli ulkoisia kytkentöjä ei suoriteta. Esityhjiöpumppu Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Turbo-V-pumppu voidaan käynnistää jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää samanaikaisesti. aina tätä kaapelia ja asettakaa pistoke riittävästi maadoitettuun pistorasiaan, jotta sähköiskuilta vältytään.
Pumppu pysähtyy painettaessa etupaneelissa olevaa Mikäli valvoja täytyy romuttaa, toimikaa STOP-painonappia. hävittämisessä kansallisten säädösten ja normien määräämällä tavalla. HUOLTO Turbo-V 1000 ICE E-series valvojia ei tarvitse huoltaa VIANETSINTÄ millään tavoin. Mahdolliset valvojaan tehtävät Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan toimenpiteet tulee jättää aina valtuutetun henkilön itsemäärittelypiiri analysoi virheen, joka näkyy viesteinä,...
Página 46
KÄYTTÖOHJEET VIESTI VIKA KORJAUSTOIMENPITEET CHECK CONNECTION TO Toimintahäiriö pumpun valvojan Tarkistakaa, että pumpun ja valvojan liitännässä. välinen yhteyskaapeli on hyvin kiinnitetty PUMP päistään ja ettei siinä ole esteitä. Painakaa kaksi kertaa START- painonappia, jolloin pumppu käynnistyy. Lukitussignaali (interlock) liittimessä P1 Palauttakaa liittimen J1 neulojen 3 ja 8 PUMP WAITlNG INTERLOCK aktiivinen...
: 0 - 95% (asumpuv k nwth) suskeuhv Ç . H Varian den fev r ei kamiv a euquv n h ov s on aforav thn olikhv hv merikhv aqev t hsh twn odhgiwv n , thn...
Página 48
ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH SHMEIWSH KINDUNOS O sundethv r aÇ qa prev p ei na afeqeiv sundedemev n oÇ me th gev f ura an den giv n etai kammiv a exwterikhv O ruqmisthv Ç eiv n ai efodiasmev n oÇ me tripolikov kalwv d io trofodov t hshÇ...
Página 49
STOP tou emprov s qiou piv n aka. anafev r ete stouÇ eqnikouv Ç kanonismouv Ç . SUNTHRHSH MHNUMATA LAQOUS Oi ruqmistev Ç thÇ seirav Ç Turbo-V 1000 ICE E-series den orismev n eÇ periptwv s eiÇ blav b hÇ...
Página 50
. An xanaparousiav z etai autov to controller mhv n uma apotanqeiv t e sth Varian gia th anagnwriv s imo shv m a. sunthv r hsh. Sunagermov Ç scetikov Ç...
(within steps) packing materials in an unauthorized manner. The Turbo-V 1000 ICE E-series pump during the starting material is 100% recyclable and complies with EEC phase by controlling the voltage and current respect to Directive 85/399. the speed reached by the pump. They incorporate all the facilities required for the automatic operation of the Turbo-V 1000 ICE E-series.
INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION NOTE WARNING! The input signal J1connector should be left in position including the shipping links if no external connections The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power are made. The forepump and Turbo-V pump can be cord and plug (internationally approved) for user safety.
ERROR MESSAGES MAINTENANCE For a certain type of failure, the controller will self- The Turbo-V 1000 ICE E-series controller does not diagnose the error and the messages described in the require any maintenance. Any work performed on the following table are displayed.
Página 54
If the message is redisplayed, has received a spurious signal. contact Varian for maintenance. FLOW METER ALARM Alarm relating to the purge flow. The flow Check the correct operation of the gas value remained at less than the set supply circuit.
TECHNICAL INFORMATION • TURBO-V 1000 ICE E-SERIES CONTROLLER including: power supply analog input/output section, microprocessor and digital DESCRIPTION section, display and keyboard circuits. The power The controller is available in two versions: supply converts the single phase (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium •...
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Input: Voltage 100, 120, 220, 240 Vac, 1-phase Frequency 50 to 60 Hz Power 1400 VA maximum Output for pump: 54 Vac nominal ±10% Voltage 633 Hz ±2% Frequency Power 450 W maximum water cooling 400 W air cooling 300 W Operating temperature...
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER OUTLINE The outline dimensions for the Turbo-V 1000 ICE E-series controllers are shown in the following figures: Controller models 969-9464 and 969-9564 outline 87-900-951-01 (B)
TECHNICAL INFORMATION FUSE HOLDER AND VOLTAGE CHANGER INTERCONNECTIONS ASSEMBLY The following figure shows the Controller inter- connections. The following figure shows the location of this assembly. Controller models 969-9464 Rear panel and 969-9564 interconnection Proceed as follows to replace one or both fuses: Connection P1 •...
TECHNICAL INFORMATION Connection J2 Logic Output Interconnections DESCRIPTION Remote START/STOP S1 optically isolated from the internal circuit, requires a permanently closed contact (relay contact. transistor, etc.). When the contact closes the turbopump starts at high speed and when the contact opens, the turbopump is stopped.
TECHNICAL INFORMATION The 120 Vac, 1 A maximum (independent of line DESCRIPTION Voltage) output Voltage is present when the main power switch is set to 1 position and after START push- 3-11 START S1 signal 24 V, 60 mA, optically ∗...
• Insert the flat cable through the rear panel and plug it into the socket P1 located on the Interface board. Use this connector (J11) only with the Varian solid • Restore the main board into its original position. state flowmeter model 969-9114 or 969-9115. Any •...
80 hex (for RS 232 and 422 only). Receive data line (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port RS 485 Communication Description connections. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the O-subconnector.
Página 63
TECHNICAL INFORMATION where: EXAMPLES: Command : START <STX> = 0x02 Source : PC Destination : Inverter <ADDR> = 0x80 (for RS 232 and RS 422 only) <ADDR> = 0x80 + device number (0...31) ADDR WINDOW 0xFF: brodcasting command (recognized by all the devices, it Source : Inverter doesn’t implicate any answer)
Página 64
TECHNICAL INFORMATION Command : LOW SPEED (ON) Command : FREQUENCY Source : PC Source : PC Destination : Inverter Destination : Inverter ADDR WINDOW ADDR WINDOW Source : Inverter Source : Inverter Destination : PC Destination : PC 32 30 33 30 30 30 30 30 33 38 03 38 39 ADDR STX ADD WINDOW RD 000038...
TECHNICAL INFORMATION Window-Based Protocol The following table, valid for the RS 232, RS 422 and RS 485 interfaces, describes each single window used in the protocol. R W T Description X X L START/STOP X X L SPEED SELECTION ACTIVE [0=HS / 1=LS] X X L SOFT START [0=NO / 1=YES] X X L WATER COOLING [0=NO / 1=YES] X X N MODE (0, 1, 2) [FRONT, REMOTE, SERIAL]...
NOTE NOTE If the pump is not connected, the display will be as When the Turbo-V 1000 ICE E-series pump is baked shown : by a membrane pump, the Soft Start mode should be deselected.
Página 67
TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press the PUMP CURRENT push-button and the display shows (e.g.): display shows When there is only one temperature sensor L A S T A L A R M : X X X X X T = X X X X X h C = X X X X X...
TECHNICAL INFORMATION • Confirm the flashing digit by pressing the PUMP Press the CYCLE NUMBER push-button and the CURRENT key following is displayed: L O W S P E E D H P S 1 2 3 4 5 6 7 8 9 S E T T I N G : X X K R P M...
Página 69
TECHNICAL INFORMATION • • Press the PUMP CURRENT push-button and the Press CYCLE NUMBER push-button to select YES or display shows G A S T Y P E S O F T S T A R T M O D E S E L E C T I O N : S E L E C T I...
Página 70
TECHNICAL INFORMATION • • Enter the selection by pressing the PUMP CURRENT Press PUMP CURRENT push-button and the display push-button, and the display shows: shows F R O N T R E M O T E S E R S E R I A D D R E S S S E L E C T I O N : X X X X X X...
Página 71
TECHNICAL INFORMATION where: If PRINT is selected and a printer is connected on RS • 232/422 line, unidirectional communication BAUD RATE XXXX = means 600, 1200, 2400, established and every minute the data are sent to the 4800, 9600 baud rate for the host computer or printer, even if the pump is not running.
TECHNICAL INFORMATION • Starting the Pump If YES is selected, the pump life span, the high power start total number, the high power start tries and If the forepump and vent device are not operated by the number of events (flow meter alarm) shall be reset to controller, close the vent valve and switch on the 000.
TECHNICAL INFORMATION • The pump will accelerate to its normal rotational speed. If the Soft Start mode has been deselected the display will change and shows: • During acceleration of the pump or during any operating condition, it is always possible to select the P U M P S T A R T other parameters to be displayed pressing the PUMP...
TECHNICAL INFORMATION Cycle diagram The display shows: Operating the Pump After the starting period, if the system has a vacuum leak or the pressure in the pump chamber is high (from 1 mbar P U M P S T A R T to atmosphere), the pump continues to operate indefinitely.
TECHNICAL INFORMATION If the Soft Start has been deselected the display shows: P U M P R E A D Y U S E P U M P R E A D Y U S E R S 2 3 2 R E M O T E S T A R T If the Soft Start has been deselected the display shows:...
TECHNICAL INFORMATION MAINTENANCE 87-900-951-01 (B...
Página 77
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Página 78
Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Tel: (39) 011 997 9111 Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Brazil Fax: (39) 011 997 9350 Varian Industria e Comercio Ltda. Japan Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Internet Users: Varian Vacuum Technologies Vila Olimpia Customer Service &...