9
Instruksjon Manual
Installasjon
Hvis TPS-mobile er utstyrt med en turbomolekulær pumpe som er
mindre eller større enn TwisTorr 304 FS, kan pumpen slås på selv om
den er installert på TPS-mobile. Hvis TPS-mobile er utstyrt med en
pumpe som er større enn 304 FS, kan TPS-mobile kun brukes for
håndtering av pumpen (turbopumpe slått av), som må installeres ved
hjelp av innløpsflensen i klientens system før TPS-mobile startes.
FLENS
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent. For
detaljer henvises det til "Technical Information".
TPS-mobile må ikke festes gjennom fundamentet.
MERK
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information".
186/400
TYPE KLEMME
Dobbel klemme, gjenge M10
Dobbel klemme, gjenge M10
Dobbel klemme, gjenge M10
TPS-mobile User Manual / 87-901-005-01 (F)
ANT.
STRAMME-MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm