Página 1 Turbo-V 81-M Models: 969-8901, 969-8902, 969-8903, 969-8904 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-900-983-01 (F) 09/2012...
Página 2: Trademarks
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Página 3 Turbo-V 81-M Turbo-V 81-M Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 3/237...
Página 4 Turbo-V 81-M 4/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 5: Tabla De Contenido
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione 23 Smaltimento Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 30 Installation 31 Gebrauch Wartung Entsorgung 36 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 6 Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation 43 Utilisation 46 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 51 Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación 55 Mantenimiento 59 Eliminación 60...
Página 7 Contents Preparação para a instalação 66 Instalação 67 Utilização Manutenção Eliminação 72 Bedrijfshandleiding 73 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie Opslag Uitpakken 78 Installatie Gebruik Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information 87 Opbevaring 89 Forberedelser før installation 90 Installation 91 Anvendelse 93...
Página 8 Contents Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information 99 Förvaring Förberedelser för installation 101 Installation 102 Användning 104 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 107 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 109 Lagring Klargjøre til installasjon 111 Installasjon 112 Bruk Vedlikehold 116 Eliminering 117 10 Ohjekäsikirja...
Página 9 Contents Varastointi 122 Valmistelut asennusta varten123 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 129 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 130 Általános informáicó 131 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 139 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 143 Magazynowanie 144 Przygotowanie do instalacji 146 Instalacja...
Página 10 Contents Konserwacja Przetworstwo odpadow 152 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 154 Všeobecné informace Uskladnění 156 Příprava k instalaci 157 Instalace Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 163 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie...
Página 11 Contents Splošne informacije 177 Shranjevanje Priprava za montažo 179 Montaža Uporaba Vzdrževanje 184 Odlaganje opadkov 185 16 Instructions for Use 187 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 188 General Information 189 Storage Preparation for installation 192 Installation 193 Maintenance Disposal 17 Technical Information 199 Description of the Turbo-V 81-M 200 Technical Specification 204 Turbo-V 81-M Outline...
Página 12 Contents Air cooling kit installation Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation 221 Typical Layout Diagram 223 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 229 Vent valve model Selection table 230 12/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 81-M User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/237...
Página 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Página 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Página 17: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Página 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 81-M viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Página 19: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Página 20 Istruzioni per l’uso Installazione Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-M devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controller Agilent e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo schema in "Technical Information"). I controller disponibili sono i seguenti: Rack controller 81-AG base: 969-8988 ...
Página 21 Istruzioni per l’uso Installazione La Turbo-V 81-M non può essere fissata tramite la sua base. NOTA La Turbo-V 81-M appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".
Página 22: Uso
Istruzioni per l’uso Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare il sistema. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Página 23: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Le pompe della serie Turbo-V 81-M non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Página 24: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Página 25: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 81-M User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/237...
Página 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Página 27: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 28 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Página 29: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Página 30: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Turbo-V 81-M wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die Pumpe ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Página 31: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Abbildung 2 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Página 32 Gebrauchsanleitung Installation Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo V 81-M dürfen nur mit einem der entsprechenden Controller Agilent verwendet werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in der „Technical Information“). Die verfügbaren Controller sind folgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 33 Gebrauchsanleitung Installation Modell Turbo-V 81-M kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der Turbo-V 81-M gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
Página 34: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen. Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über 120 °C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Página 35: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-M erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Página 36: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Página 37: Mode D'emploi
Turbo-V 81-M User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 37/237...
Página 38: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Página 39: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 40 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Página 41: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Página 42: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le Turbo-V 81-M est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Página 43: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Figure 2 Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à...
Página 44 Mode d’emploi Installation Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 81-M doivent être utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus Agilent et doivent être reliées à une pompe primaire (voir le schéma sur "Technical Information"). Les contrôleurs disponibles sont les suivants: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 45 Mode d’emploi Installation Le Turbo-V 81-M ne peut être fixé par sa base. NOTE Le Turbo-V 81-M appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à...
Página 46: Utilisation
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire attentivement ce manuel avant l’emploi. Pour atteindre des pressions limites meilleures, on peut chauffer le système. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à...
Página 47: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Les pompes de la série Turbo-V 81-M ne demandent aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Página 48: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Página 49: Manual De Istrucciones
Turbo-V 81-M User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 49/237...
Página 50: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Página 51: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Página 52: Este Manual Utiliza Las Convenciones Siguientes
Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Página 53: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Página 54: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 81-M se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones.
Página 55: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba ¡ATENCIÓN! al sistema. Figura 2 No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Página 56 Manual de istrucciones Instalación Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 81-M deben usarse exclusivamente con uno de los controladores Agilent y deben conectarse a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). Los controladores disponibles son los siguientes: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 57 Manual de istrucciones Instalación El Turbo-V 81-M pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”.
Página 58: Uso
Manual de istrucciones En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba. Leer atentamente este manual antes de su uso. Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el sistema. Durante el calentamiento de la cámara de vacío la temperatura en la brida de entrada no debe superar los 120 °C con acoplamiento ConFlat y los 80 °C con acoplamiento ISO.
Página 59: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Las bombas de la serie Turbo-V 81-M no requieren mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Página 60: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Página 61: Manual De Istruções
Turbo-V 81-M User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/237...
Página 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Página 63: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 64 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...
Página 65: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Página 66: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 81-M é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e para não submetêla a choques ou vibrações.
Página 67: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Página 68 Manual de Istruções Instalação As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 81-M devem ser utilizadas somente com um dos adequados controller Agilent e devem ser ligadas numa bomba primária (ver o esquema em "Technical Information"). Os controller disponíveis são os seguintes: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 69 Manual de Istruções Instalação O Turbo-V 81-M não pode ser fixado através da sua base. NOTA O Turbo-V 81-M pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria.
Página 70: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler com muita atenção este manual antes do uso. Para alcançar melhores pressões limite é possível aquecer o sistema. Durante o eventual aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura na flange de ingresso não deve ser superior a 120 °C com flange ConFlat e a 80 °C com flange ISO.
Página 71: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção As bombas da série Turbo-V 81-M não necessitam de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Página 72: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Página 73: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 81-M User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/237...
Página 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Página 75: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 76 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Página 77: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Página 78: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Turbo-V 81-M wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-M niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Página 79: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten VOORZICHTIG! mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig...
Página 80 Bedrijfshandleiding Installatie De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-M moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van Agilent gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten worden (zie schema in "Technical Information"). De beschikbare controllers zijn de volgende: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 81 Bedrijfshandleiding Installatie De Turbo-V 81-M kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING De Turbo-V 81-M behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information”...
Página 82: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen. Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd worden.
Página 83: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Página 84: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Página 85: Istruktionsbog
Turbo-V 81-M User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/237...
Página 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Página 87: Generel Information
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Página 88 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Página 89: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C ...
Página 90: Forberedelser Før Installation
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation Turbo-V 81-M leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 81-M ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Página 91: Installation
Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Figur 2 Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
Página 92 Istruktionsbog Installation De controller, som står til rådighed, er følgende: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989  Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990  PCB 24 V: 969-9538  Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 ...
Página 93: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er indeholdt i manualen for styreenheden. Læs omhyggeligt denne manual før den anvendes. For at opnå bedre begrænsnings-tryk er det muligt at opvarme systemet. Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må temperaturen på...
Página 94: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumperne i serien Turbo-V 81-M kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Página 95: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Página 96 Istruktionsbog Bortskaffelse 96/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 97: Bruksanvisning
Turbo-V 81-M User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/237...
Página 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Página 99: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Página 100: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Página 101: Förberedelser För Installation
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Turbo-V 81-M levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 81-M inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna.
Página 102: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 2 Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på...
Página 103 Bruksanvisning Installation Följande kontrollsystem finns tillgängliga: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989  Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990  PCB 24 V: 969-9538  Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 ...
Página 104: Användning
Bruksanvisning Användning Användning Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning. Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning. För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej temperaturen på...
Página 105: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 81-M pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Página 106: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Página 107: Instruksjon Manual
Turbo-V 81-M User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 109 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 107/237...
Página 108: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Página 109: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Página 110: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Página 111: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 81-M leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 81-M pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Página 112: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må...
Página 113 Instruksjon Manual Installasjon Turbo-V 81-M pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 ...
Página 114 Instruksjon Manual Installasjon Turbo-V 81-M hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 FORSIKTIG! i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information". 114/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 115: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du bruker pumpen. For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme opp pumpen. Mens oppvarmingen av vakuumkammeret pågår, må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C for en ConFlat flens og 80 °C for en ISO flens.
Página 116: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 81-M pumpeseriene er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Página 117: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Página 118 Instruksjon Manual Eliminering 118/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 119: Ohjekäsikirja
Turbo-V 81-M User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 120 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 119/237...
Página 120: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 120/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 121: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Página 122: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Página 123: Valmistelut Asennusta Varten
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 81-M toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 81- Min putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Página 124: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Página 125 Ohjekäsikirja Asennus Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989  Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990  PCB 24 V: 969-9538  Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 ...
Página 126: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta. Lue tämä käyttöopas huolellisesti ennen käytön aloittamista. Voit saavuttaa parhaat rajapaineet lämmittämällä järjestelmän. Tyhjiökammion mahdollisen lämmittämisen yhteydessä imulaipan lämpötilan ei tule nousta 120 °C yläpuolelle ConFlat laipoituksella ja 80 °C yläpuolelle ISO laipoituksella.
Página 127: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Sarjan Turbo-V 81-M pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Página 128: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Página 129: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 81-M User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 133 Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 139 Az eredeti utasítás fordítása 129/237...
Página 130: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Página 131: Általános Informáicó
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 132: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Página 133: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Turbo-V 81-Mt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Página 134: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú FIGYELEM! rendszerre csatlakoztatása előtt. Ábra 2 Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő...
Página 135 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 81-M széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a megfelelő Agilent vezérlő egységek egyikével szabad használni, és a szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra kell kötni (lásd a “Technical Information” (Technical Information) részben megadott rajzot). Az alkalmazható vezérlő egységek a következők: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 136 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 81-M nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A Turbo-V 81-M a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”.
Página 137: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet! A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet melegíteni. A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti nyjlásnál mért hőmérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C ConFlat típusú...
Página 138: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 81-M típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Página 139: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Página 140 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 140/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 141: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Megsemmisítés Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 146 Instalacja Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 141/237...
Página 142: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Página 143: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Página 144: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Página 145 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 145/237...
Página 146: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System Turbo-V 81-M jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Página 147: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. ć 2 Posta Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Página 148 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i muszą być one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w "Technical Information "). Kontrolery będące w dyspozycji są następujące: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 149 Podrecznik Instrukcji Instalacja Turbo-V 81-M nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS Turbo-V 81-M należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”.
Página 150: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać wspomniane instrukcje. By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane zostało ewentualne nagrzanie systemu. Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej, temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać...
Página 151: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Página 152: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Página 153: Návod K Použití
Turbo-V 81-M User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 154 Všeobecné informace 155 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 153/237...
Página 154: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Página 155: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Página 156: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -20 °C až 70 °C ...
Página 157: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva Turbo-V 81-M se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Página 158: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Postava 2 Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující...
Página 159 Návod k Použití Instalace Jsou k dispozici následující controllery: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989  Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990  PCB 24 V: 969-9538  Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 ...
Página 160: Použití
Návod k Použití Použití Použití Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto příručku pozorně přečtěte. Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla zahřát. Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na vstupní přírubě...
Página 161: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Página 162: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Página 163: Návod Na Obsluhu
Návod na Obsluhu Likvidace Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 164 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 163/237...
Página 164: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Página 165: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Página 166: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali...
Página 167 Návod na Obsluhu Uchovávanie Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 167/237...
Página 168: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Página 169: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru.
Página 170 Návod na Obsluhu Inštalácia Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Página 171 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. POZNÁMKA Zariadenie Turbo-V 81-M patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa POZOR! smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Página 172: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla, sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto príručku pozorne preštudujte. Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém vyhriať. Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej prírube prekročiť...
Página 173: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zar Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Página 174: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Página 175: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 81-M User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 175/237...
Página 176: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Página 177: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Página 178: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Página 179: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 81-M je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Página 180: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Página 181 Priročnik za Navodila Montaža Turbomolekularne črpalke iz serije Turbo-V 81-M se lahko uporabljajo samo s primernimi krmilniki Agilent in morajo biti priključene na primarno črpalko (glej sliko v sekciji “Technical Information”). Primerni krmilniki so sledeči: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 ...
Página 182 Priročnik za Navodila Montaža Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-M v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«. 182/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 183: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred uporabo. Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem. Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80 stopinj C s prirobnicami ISO.
Página 184: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke iz serije Turbo-V 81-M ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Página 185: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Página 186 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 186/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 187: Instructions For Use
Turbo-V 81-M User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 192 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 187/237...
Página 188: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Página 189: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Página 190 Instructions for Use General Information The notes contain important information taken from the text. NOTE 190/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 191: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Página 192: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The Turbo-V 81-M is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have oc-curred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Página 193: Installation
Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Página 194 Instructions for Use Installation The available controllers are the following: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989  Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990  PCB 24 V: 969-9538  Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 ...
Página 195: Use
Instructions for Use All the instructions to correctly use the turbopump are contained in the controller manual. Read carefully this manual before use the pump. To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 120 °C for a ConFlat flange and 80 °C for a ISO flange.
Página 196: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 81-M series pumps does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Página 197: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Página 198 Instructions for Use Disposal 198/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 199: Technical Information
Turbo-V 81-M User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Pump Description Technical Specification Turbo-V 81-M Outline Inlet Screen Installation Heater Band Installation Air cooling kit installation Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation Typical Layout Diagram With Navigator Controller With Standard Rack Controller Connection A - High Vacuum Flange 225...
Página 200: Description Of The Turbo-V 81-M
Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Description of the Turbo-V 81-M The Turbo-V 81-M pump is available in four versions. The difference among the four versions lies purely in the high vacuum connection. The four versions are: Model 969-8901 with ISO 63 high vacuum flange; ...
Página 201 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Figure 4 Model 969-8902 Figure 5 Model 969-8903 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 201/237...
Página 202 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Figure 6 Model 969-8904 Proceeding from the high vacuum to the forevacuum region, the turbine stages sequence is: 1st stage with a blade angle of 40°,  2nd stage with a blade angle of 30°, ...
Página 203 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M PUMP FOREPUMP CONNECTOR CONTROLLER CONNECTOR Figure 7 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 203/237...
Página 204: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Technical Specification Pumping speed With ISO 63 or CFF With KF 40 NW or CFF 4.5” 2.75” : 77 l/s : 50 l/s He: 65 l/s He: 56 l/s : 50 l/s : 46 l/s Compression ratio : 3 x 10...
Página 205 Technical Information Technical Specification Compliance with: UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN-CENELEC 55011 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Storage temperature -20 °C to +70 °C Input 60 Vac, three phase, 1350 Hz (max) 50 W max...
Página 206: Turbo-V 81-M Outline
Technical Information Turbo-V 81-M Outline Turbo-V 81-M Outline The following figure shows the Turbo-V 81-M outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 Turbo-V 81-M outline 206/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 207 Technical Information Turbo-V 81-M Outline Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m mechanical pump Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 207/237...
Página 208 Technical Information Turbo-V 81-M Outline Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure 208/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 209: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 11 Figure 12 The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
Página 210 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 13 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 14 210/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 211 Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). Figure 15 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 211/237...
Página 212: Heater Band Installation
Technical Information Heater Band Installation Heater Band Installation Figure 16 The heater band model 969-9801 and 969-9802 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure, and heats it to a temperature of about 80 °C.
Página 213 Technical Information Heater Band Installation Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out by the thermistor sensor. The turbopump must be "baked" only when operating with an inlet pressure NOTE less than 10-4 mbar and with water cooling.
Página 214: Air Cooling Kit Installation
Technical Information Air cooling kit installation Air cooling kit installation An air cooling kit (mod. 969-9290) is available for cooling the pump during heavy operational conditions and whenever the natural air convection is not sufficient. Figure 18 Fan specifications: air flow: 12.8 l/s (27.1 CFM) ...
Página 215 Technical Information Air cooling kit installation Figure 19 Figure 20 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 215/237...
Página 216 Technical Information Air cooling kit installation Figure 21 216/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 217: Water Cooling Kit Installation
Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9823 (metallic model), and 969-9824 (plastic model).
Página 218 Technical Information Water Cooling Kit Installation The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The water kit is assembled as shown in the figure. Figure 24 218/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 219 Technical Information Water Cooling Kit Installation Connect the plate to the pump bottom with four screws M3x20. Figure 25 Assemble the metal or the plastic kit as shown. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.
Página 220: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. There are several vent valves available and each vent valve has to be driven by its own control unit.
Página 221: Vibration Isolator Installation
Technical Information Vibration Isolator Installation Figure 27 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suita-ble connector on the controller. Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories.
Página 222 Technical Information Vibration Isolator Installation Please refer to the relevant instruction manual. 222/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Página 223: Typical Layout Diagram
Technical Information Typical Layout Diagram Typical Layout Diagram With Navigator Controller Figure 28 Turbo-V Navigator controller Vent valve Vacuum pump shut-off valve (optional) System vent valve (optional) Vacuum chamber Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional)
Página 224: With Standard Rack Controller
Technical Information Typical Layout Diagram With Standard Rack Controller Figure 29 Turbo-V standard rack controller Vent valve Vacuum pump shut-off valve (optional) System vent valve (optional) Vacuum chamber Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional)
Página 225: Connection A - High Vacuum Flange
Technical Information Typical Layout Diagram Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V 81-M pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 30 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure.
Página 226: Connection Configurations
Technical Information Typical Layout Diagram To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet.
Página 227: Connection B - Fore-Vacuum Pump
Technical Information Typical Layout Diagram Connection B - Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-M pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Página 228: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consump-tion by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Página 229: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 3 Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER Inlet screen, DN 40 969-9309 Inlet screen, DN 63 969-9300 Heater band 220 V 969-9801 Heater band 120 V 969-9802 Metallic water cooling kit 969-9823 Plastic water cooling kit 969-9824...
Página 230: Vent Valve Model Selection Table
Technical Information Vent valve model Selection table Vent valve model Selection table Tab. 4 Vent valve model selection table CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER Turbo-V 81-AG Navigator Controller N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Turbo-V 81-AG Rack Controller N.O.
Página 231 Technical Information Vent valve model Selection table Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 231/237...
Página 237 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Este manual también es adecuado para:

969-8901 969-8902 969-8903 969-8904

Agilent Technologies Turbo-V 81-M Serie Manual De Instrucciones

Enlaces rápidos

Capítulos

Manuales relacionados para Agilent Technologies Turbo-V 81-M Serie

Resumen de contenidos para Agilent Technologies Turbo-V 81-M Serie