Anvendelse - Agilent Technologies TV 303 Manual De Instrucciones

Anvendelse

Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C.
ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af
lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug
FORSIGTIG!
af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller
faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar
(over atmosfærisk tryk).
I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med
en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser
(kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget "Technical
Information").
TV 303 User Manual / 87-901-019-01 (A)
7
Istruktionsbog

Anvendelse

93/268