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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist f¸r Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge-
lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach-
tung
-auch
teilweise-
unsachgem‰flem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Miflachtung der einheimi-
schen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen ¸ber-
nimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V150HT handelt es sich um
Turbomolekularpumpen f¸r Hoch- und Ultrahochvakuuman-
wendungen. Sie eignen sich f¸r jede Art von Gas oder gashal-
tige Gemische, nicht jedoch zur Fˆrderung von Fl¸ssigstoffen
oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochge- schwindigkeitsdreh-
turbine (max. 62000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleis-
tungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-V150HT-
Pumpen enthalten keinerlei unweltsch‰dliche Substanzen und
eignen sich deshalb auch f¸r Anwendungszwecke, die ein
"sauberes" Vakuum vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen f¸r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Ger‰ts aufgef¸hrt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaflen hervorgehoben:
! ! ! !
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrek-
ter Ausf¸hrung schwere Verletzungen hervorrufen kˆnnen.
! ! ! !
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, dafl bei Nichteinhaltung Sch‰-
den an der Anlage entstehen kˆnnen.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m¸ssen
folgende klimatische Verh‰ltnisse vorliegen:
−
Temperatur: von -20]C bis +70]C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung mufl die Pumpe bei Inbetrieb-
setzung im SOFT START-Modus gestartet werden (siehe Han-
dbuch der Steuereinheit).
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie-
fert. Eventuelle Transportsch‰den m¸ssen der zust‰ndigen
ˆrtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
f‰llt oder Stˆflen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial mufl korrekt entsorgt werden. Es ist
vollst‰ndig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
f¸r Umweltschutz.
! ! ! !
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, d¸rfen die Komponen-
ten, die in Ber¸hrung mit dem Vakuum kommen, nicht mit blo-
flen H‰nden angefaflt werden. Immer Handschuhe oder einen
anderen geeigneten Schutz tragen.
der
enthaltenen
Hinweise,
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosph‰re au-
sgesetzt ist, keine Sch‰den erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubver-
schmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-
gesch¸tzt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-
gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhˆhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb m¸ssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
−
Maximaldruck: 2 Bar ¸ber dem atmosph‰rischen Druck
−
Temperatur: von +5]C bis +35]C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, m¸ssen die Pumpen ¸ber Ein-
satz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch¸tzt
werden.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V150HTd¸rfen nur
mit einer der Varian-Spezialsteuerungen (Serie 969-9405, 969-
9505, 969-9423, 969-9523) benutzt werden und m¸ssen an
eine Prim‰rpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in
"Technical Information").
! ! ! !
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschlufl der Turbopumpe an die Anlage.
3
GEBRAUCHSANLEITUNG
ANMERKUNG
ACHTUNG!
87-900-891-01(C)
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