Publicidad
NEIN
!
! ! ! !
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehˆr).
Bei Installation eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaflˆffnung mufl die Tur-
bopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
Die Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
Installiren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschlieflen, der ein Drehmoment von 221 Nm um
seine eigene Achse aush‰lt
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels
doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkam-
mer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle
sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment f¸r
die jeweiligen Flanschgrˆflen und Klemmenarten angegeben.
FLANSC
KLEMMSCHELLE ANZ.
ISO 63
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Doppelklemme mit
M8-Gewinde
ISO 100
Doppelklemme mit
M10-Gewinde
Doppelklemme mit
M8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem
speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkam-
mer angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang
"Technical Information".
Wenn die Pumpen ¸ber ihr Unterteil installiert werden sollen,
m¸ssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M6-Schrauben ein-
gesetzt werden. Die Schrauben m¸ssen eine Dehngrenze von
2
500N/mm
haben. Anzugsmoment: 3.1 Nm.
Installation Sonderzubehˆr: siehe "Technical Information".
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
geh‰use mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe
ANZUGSMO
MENT
4
22 Nm
4
11 Nm
4
22 Nm
8
11 Nm
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
120]C nicht ¸berschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Va-
kuumsystemen die TP mit Wasserk¸hlung arbeiten.
! ! ! !
GEFAHR!
W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
! ! ! !
ACHTUNG!
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar ¸ber dem atmosph‰ri-
schen Druck sein.
! ! ! !
ACHTUNG!
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
! ! ! !
ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer ÷fnungsklappe ausgestattet, ¸ber die zum Schutz der
Lager ausschliefllich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugef¸hrt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
! ! ! !
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Fˆrderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, m¸ssen die f¸r
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg‰nge und Maflnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr‰senz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V150HTsind wartungsfrei. Even-
tuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisiertem Fachpersonal aus-
gef¸hrt werden.
! ! ! !
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpengheh‰use unter 50]C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt wer-
den. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
87-900-891-01(C)
Publicidad
