Página 1 TwisTorr 84 FS Pump models: X3502-64000, X3502-64001, X3502-64002, X3502-64003 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-901-043-01(B)
Página 2: Trademarks
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2017 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Página 3: Twistorr 84 Fs Pump
TwisTorr 84 FS Pump TwisTorr 84 FS Pump TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 3/336...
Página 4 TwisTorr 84 FS Pump 4/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 5: Tabla De Contenido
Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 20 Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa Uso della TwisTorr 84 FS 27 Manutenzione 29 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 37 Installation 39...
Página 6 Contents Entsorgung 47 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation 57 Fixation de la pompe 60 Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 65 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 67 Almacenamiento Preparación para la instalación 71...
Página 7 Contents Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 82 Informações gerais 83 Armazenagem 86 Preparação para a instalação 87 Instalação 89 Fixação da bomba Utilização do TwisTorr 84 FS 93 Manutenção Eliminação 96 Bedrijfshandleiding 97 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 98 Algemene informatie Opslag Uitpakken 103...
Página 8 Contents Generel information 117 Opbevaring 120 Forberedelser før installation 121 Installation 123 Fastgøring af pumpen Anvendelse af TwisTorr 84 FS Vedligeholdelse 129 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 132 Allmän information 133 Förvaring Förberedelser för installation 137 Installation 139 Fastsättning av pumpen 142 Användning av TwisTorr 84 FS Underhåll Bortskaffning...
Página 9 Contents Klargjøre til installasjon 153 Installasjon 155 Festing av pumpen 158 Bruk av TwisTorr 84 FS 159 Vedlikehold 161 Eliminering 162 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 168 Valmistelut asennusta varten169 Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 84 FS käyttö Huolto Hävittäminen Felhasználói Kézikönyv 179 Biztonsági útmutató...
Página 10 Contents A szivattyú rögzítése 190 A TwisTorr 84 FS használata 191 Karbantartás Megsemmisítés 194 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 196 Ogólne Informacje 197 Magazynowanie 200 Przygotowanie do instalacji 201 Instalacja Mocowanie pompy 207 Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 208 Konserwacja Przetworstwo odpadow 211 Návod k Použití...
Página 11 Contents Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 229 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie vývevy TwisTorr 84 FS 241 Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 246 Splošne informacije 247 Shranjevanje Priprava za montažo 251 Montaža...
Página 12 Contents Instructions for Use 261 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 262 General Information 263 Storage Preparation for installation 267 Installation 269 Pump Fixing 272 Use of TwisTorr 84 FS Maintenance Disposal Technical Information 277 Description of the TwisTorr 84 FS279 Technical Specification 283 TwisTorr 84 FS Outline 286 Interconnections...
Página 13 Contents TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Connection of the High Vacuum Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases 326 Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 330 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 13/336...
Página 14 Contents 14/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 15: Istruzioni Per L'uso
TwisTorr 84 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Simboli di Sicurezza Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa 26 Uso della TwisTorr 84 FS Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 15/336...
Página 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Página 17: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Página 19: Simboli Di Sicurezza
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Simboli di Sicurezza SIMBOLO DESCRIZIONE DEI SIMBOLI L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve fare riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e per proteggere l’apparato da eventuali danni. L’apparato è...
Página 20: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: ▪ durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –40 °C a 70 °C ▪...
Página 21: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La pompa TwisTorr 84 FS viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 84 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Página 22 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione 22/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 23: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione WARNING! La pompa funziona ad alta velocità di rotazione. Se la pompa viene spedita unitamente al controller le parti rotanti sono protette con una barriera meccanica per prevenire il contatto. Se la pompa viene spedita senza il controller non è...
Página 24 Istruzioni per l’uso Installazione 24/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 25 Istruzioni per l’uso Installazione Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica;...
Página 26: Fissaggio Della Pompa
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto del rotore, può provocare il distacco della pompa dal sistema, causando danneggiamenti, gravi ferite o morte. La TwisTorr 84 FS può...
Página 27: Uso Della Twistorr 84 Fs
Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 84 FS Uso della TwisTorr 84 FS AVVERTENZA! Assicurare il corretto utilizzo dell'apparecchiatura. L'operatore di questo strumento è invitato ad utilizzare l'apparecchiatura nel modo specificato in questo manuale. Il mancato rispetto delle indicazioni riportate in questo manuale può compromettere la protezione fornita dall’apparecchiatura.
Página 28 Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 84 FS Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della pompa quando è in funzione. ATTENZIONE! I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica).
Página 29: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 84 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Página 30: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Página 31: Gebrauchsanleitung
TwisTorr 84 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Sicherheits-Symbole 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 43 Befestigung der Pumpe 43 Verwendung TwisTorr 84 FS Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/336...
Página 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Página 33: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 34 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Página 35: Sicherheits-Symbole
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Sicherheits-Symbole SYMBOL BESCHREIBUNG DES SYMBOLS Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener im Handbuch nachschlagen soll, um sich selbst und das Gerät vor Schäden zu schützen. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener sich während des Betriebs davon fernhalten soll.
Página 36: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: ▪ Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –40 °C bis 70 °C ▪...
Página 37: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Die Pumpe TwisTorr 84 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die TwisTorr 84 FS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Página 38 Gebrauchsanleitung Vor der Installation 38/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 39: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation WARNUNG! Die Pumpe rotiert sehr schnell. Wenn sie zusammen mit dem Controller verschickt wird, sind die rotierenden Teile mit einer mechanischen Sperre geschützt, damit es zu keinem Kontakt kommt. Wenn sie ohne Controller verschickt wird, ist die mechanische Sperre nicht dabei. Da die Pumpe ohne Controller nicht arbeiten kann, sollte sie vor der Einschaltung installiert werden.
Página 40 Gebrauchsanleitung Installation 40/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 41 Gebrauchsanleitung Installation Der Apparat nur in geschlossenen Räumen installiert werden. Er darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen verwendet werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck: ▪...
Página 42 Gebrauchsanleitung Installation Das Modell Twis Torr 84 FS entspricht der Installationskategorie II gemäß der VORSICHT! Norm EN 61010-1. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".
Página 43: Befestigung Der Pumpe
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe AVVERTENZA! Im Fall der Nichtbeachtung dieser Installationsanleitung kann sich bei einem Schaden am Rotor die Pumpe vom System lösen, was zu Sach- oder Personenschäden bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod führen kann.
Página 44: Verwendung Twistorr 84 Fs
Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 84 FS Verwendung TwisTorr 84 FS WARNUNG! Vergewissern Sie sich, dass das Gerät korrekt betrieben wird. Dem Bediener wird geraten, das Gerät so zu verwenden, wie in diesem Handbuch beschrieben. Die Nichtbeachtung der Hinweise dieses Handbuchs kann die Sicherheit des Gerätes beeinträchtigen.
Página 45 Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 84 FS Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie VORSICHT! Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Página 46: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 84 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Página 47: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Página 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 49: Mode D'emploi
TwisTorr 84 FS User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Symboles de sécurité 53 Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 49/336...
Página 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Página 51: Indications Générales
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 52 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Página 53: Symboles De Sécurité
Mode d’emploi Indications générales Symboles de sécurité SYMBOLE DESCRIPTION Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se reporter au mode d’emploi pour sa propre sécurité et pour ne pas endommager l’appareil. Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se tenir à distance de sécurité...
Página 54: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes: ▪ Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –40 °C à...
Página 55: Préparation Pour L'installation
Mode d’emploi Préparation pour l’installation Préparation pour l’installation La pompe TwisTorr 84 FS est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Página 56 Mode d’emploi Préparation pour l’installation 56/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 57: Installation
Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! La pompe fonctionne à une haute vitesse de rotation. Si la pompe est expédiée en même temps que le contrôleur, les parties rotatives sont protégées par une protection mécanique évitant tout contact. Si la pompe est expédiée sans contrôleur, aucune protection mécanique n’est fournie.
Página 58 Mode d’emploi Installation 58/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 59 Mode d’emploi Installation Installer cet appareil dans un endroit clos et ne jamais installer et/ou utiliser la pompe dans un endroit exposé aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, à des gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...
Página 60: Fixation De La Pompe
Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas de panne du rotor, tout manquement au respect de ces instructions comporte des risques de décrochage de la pompe du système pouvant entraîner des dommages, des blessures graves ou la mort. Le TwisTorr 84 FS peut être installée dans n'importe quelle position.
Página 61: Utilisation De La Twistorr 84 Fs
Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 84 FS Utilisation de la TwisTorr 84 FS AVERTISSEMENT! Garantissez une utilization correcte de l’appareil. L'utilisateur doit utiliser l’appareil de manière conforme aux indications du présent mode d’emploi. Tout manquement aux indications figurant dans ce mode d’emploi risque de compromettre la sécurité...
Página 62 Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 84 FS N'utilisez jamais la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosifs pouvant ATTENTION! endommager le matériau interne de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.
Página 63: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 84 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Página 64: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Página 65: Manual De Istrucciones
TwisTorr 84 FS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 66 Información general Símbolos de Seguridad 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 71 Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 84 FS Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 65/336...
Página 66: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Página 67: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Página 68 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Página 69: Símbolos De Seguridad
Manual de istrucciones Información general Símbolos de Seguridad SÍMBOLO DESCRIPCIÓN DE LOS SÍMBOLOS Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el operador debe remitirse al manual de instrucciones para protegerse de los riesgos de daño y para proteger al equipo de eventuales Daños. Cuando el equipo está...
Página 70: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: ▪ durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –40 °C y 70 °C;...
Página 71: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación La TwisTorr 84 FS se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Página 72 Manual de istrucciones Preparación para la instalación 72/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 73: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! La bomba funciona a alta velocidad de rotación. Si la bomba se envía junto con el controlador, las partes giratorias se protegen mediante una barrera mecánica para prevenir el contacto. Si la bomba se envía sin controlador, no se suministra la barrera mecánica.
Página 74 Manual de istrucciones Instalación 74/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 75 Manual de istrucciones Instalación Instalar esta bomba sólo en ambientes cerrados y, en ningún caso, utilizarla en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica: ▪...
Página 76: Fijación De La Bomba
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalación, en caso de que se produzca una avería en el rotor, puede implicar la separación de la bomba del sistema, causando daños, heridas graves o la muerte. La TwisTorr 84 FS puede instalarse en cualquier posición.
Página 77: Uso De La Twistorr 84 Fs
Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 84 FS Uso de la TwisTorr 84 FS ¡ADVERTENCIA! Asegurar el uso correcto del equipo. Se aconseja al operador de este instrumento que utilice el equipo de la forma especificada en este manual. El incumplimiento de las indicaciones citadas en este manual puede comprometer la protección suministrada por el equipo.
Página 78 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 84 FS Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba ¡ATENCIÓN! durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá...
Página 79: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 84 FS no requiere ningún mantenimiento.Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Página 80: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Página 81: Manual De Istruções
TwisTorr 84 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Símbolos de segurança 85 Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 92 Utilização do TwisTorr 84 FS Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 81/336...
Página 82: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Página 83: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 84 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...
Página 85: Símbolos De Segurança
Manual de Istruções Informações gerais Símbolos de segurança SÍMBOLO DESCRIÇÃO DOS SÍMBOLOS O aparelho é marcado com este símbolo quando o operador deve consultar o manual de instruções a fim de se proteger contra os riscos de danos e para proteger o aparelho contra eventuais danos.
Página 86: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: ▪ durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: ▪...
Página 87: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TwisTorr 84 FS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Página 88 Manual de Istruções Preparação para a instalação 88/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 89: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! A bomba funciona a uma alta velocidade de rotação. Se a bomba for enviada juntamente com o controlador, as partes rotativas são protegidas por uma barreira mecânica para evitar o contacto. Se a bomba for enviada sem o controlador, a barreira mecânica não é...
Página 90 Manual de Istruções Instalação 90/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 91 Manual de Istruções Instalação Instalar este aparelho somente em ambientes fechados, e nunca usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é...
Página 92: Fixação Da Bomba
Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! A não observância destas instruções de instalação, no caso de haver uma avaria do rotor, pode provocar a desconexão da bomba do sistema, causando danos, ferimentos graves ou morte. O TwisTorr 84 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 84 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do próprio eixo.
Página 93: Utilização Do Twistorr 84 Fs
Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 84 FS Utilização do TwisTorr 84 FS ATENÇAO! Certifique-se da correcta utilização do aparelho. Recomenda-se que o operador deste instrumento utilize o aparelho do modo especificado neste manual. A não obediência às indicações mostradas neste manual pode comprometer a protecção fornecida pelo aparelho.
Página 94 Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 84 FS Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando CUIDADO! está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica).
Página 95: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 84 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Página 96: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Página 97: Bedrijfshandleiding
TwisTorr 84 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Veiligheidssymbolen 101 Opslag 102 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 84 FS 110 Onderhoud Afvalverwerking 113 Vertaling van de originele instructies 97/336...
Página 98: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Página 99: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 100 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Página 101: Veiligheidssymbolen
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Veiligheidssymbolen SYMBOOL BESCHRIJVING VAN DE SYMBOLEN Het apparaat drag dit symbool alleen wanneer de bediener de handleiding moet raadplegen, teneinde zichzelf te behoeden voor letsels en het apparaat te beschermen tegen eventuele schade. Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat.
Página 102: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: ▪ tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: ▪...
Página 103: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TwisTorr 84 FS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 84 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Página 104 Bedrijfshandleiding Uitpakken 104/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 105: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De pomp draait aan hoge snelheid. Als de pomp samen met de controller verstuurd wordt, worden de draaiende onderdelen beschermd met een mechanische barrière om contact te voorkomen. Als de pomp zonder de controller verstuurd wordt, is deze mechanische barrière niet aanwezig. Omdat de pomp niet zonder controller kan functioneren, wordt gevraagd de pomp te installeren vooraleer in te schakelen.
Página 106 Bedrijfshandleiding Installatie 106/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 107 Bedrijfshandleiding Installatie Installeer dit apparaat alleen in afgesloten ruimten. In geen geval mag de pomp niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar.
Página 108 Bedrijfshandleiding Installatie TwisTorr 84 FS is conform de installatiecategorie II voorzien door de norm EN VOORZICHTIG! 61010-1. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. 108/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 109: Bevestiging Van De Pomp
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Indien deze instructies voor de installatie niet nageleefd worden en zich een defect van de rotor voordoet, kan de pomp loskomen van het systeem en schade, ernstige letsels of de dood veroorzaken. De TwisTorr 84 FS kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Página 110: Gebruik Van De Twistorr 84 Fs
Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 84 FS Gebruik van de TwisTorr 84 FS WAARSCHUWING! Waak over het correct gebruik van de apparatuur. De bediener van dit instrument gebruikt de apparatuur bij voorkeur zoals aangegeven in deze handleiding. Het niet naleven van de voorschriften in deze handleiding kan de bescherming die d apparatuur biedt in het gedrang brengen.
Página 111 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 84 FS Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp VOORZICHTIG! wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes.
Página 112: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 84 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Página 113: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Página 114 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 114/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 115: Istruktionsbog
TwisTorr 84 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Sikkerheds Opbevaring 120 Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen 126 Anvendelse af TwisTorr 84 FS Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 115/336...
Página 116: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Página 117: Generel Information
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Página 118 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Página 119: Sikkerheds
Istruktionsbog Generel information Sikkerhedssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AF SYMBOLERNE Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal konsultere brugsanvisningen for at beskytte sig mod risikoen for skader, og for at beskytte enheden fra mulige skader. Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal holde sig på sikker afstand under drift af apparatet.
Página 120: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: ▪ Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: ▪...
Página 121: Forberedelser Før Installation
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TwisTorr 84 FS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TwisTorr 84 FS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Página 122 Istruktionsbog Forberedelser før installation 122/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 123: Installation
Istruktionsbog Installation Installation ADVARSEL! Pumpen kører med høj rotationshastighed. Hvis pumpen leveres sammen med styreenheden er de roterende dele beskyttet med en mekanisk barriere for at forhindre kontakt. Hvis pumpen leveres uden styreenheden, er den ikke udstyret med en mekanisk barriere. Da pumpen ikke kan fungere uden en styreenhed, skal du installere pumpen, inden du tager den i drift.
Página 124 Istruktionsbog Installation 124/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 125 Istruktionsbog Installation Installér kun pumpen lukkede miljøer og anvend den ikke under nogen omstændigheder i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max.
Página 126: Fastgøring Af Pumpen
Istruktionsbog Fastgøring af pumpen Fastgøring af pumpen ADVARSEL! Manglende ovreholdelse af denne monteringsvejledning kan, i tilfælde af at rotoren går i stykker, medføre, at pumpen løsrives fra systemet og foråsager skader, alvorlige kvæstelser eller dødsfald. TwisTorr 84 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 84 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på...
Página 127: Anvendelse Af Twistorr 84 Fs
Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 84 FS Anvendelse af TwisTorr 84 FS ADVARSEL! Sørg for korrekt brug af enheden. Brugeren af dette instrument tilrådes at bruge udstyret som angivet i denne vejledning. Manglende overholdelse af anvisningerne i denne manual, kan forringe den beskyttelse, udstyret giver.
Página 128 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 84 FS Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug FORSIGTIG! af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk).
Página 129: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 84 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Página 130: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Página 131: Bruksanvisning
TwisTorr 84 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 132 Allmän information Säkerhetssymboler 135 Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 84 FS 143 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 131/336...
Página 132: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Página 133: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Página 134 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Página 135: Säkerhetssymboler
Bruksanvisning Allmän information Säkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVNING AV SYMBOLERNA Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören hänvisas till instruktionsboken för att skydda sig mot risk för kroppsskada och för att skydda apparaten mot eventuella skador. Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören ska hålla sig på...
Página 136: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande ▪ omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -40 °C till +70 °C. ▪ Relativ fuktighet: 0 till 90 % (utan kondens). ▪...
Página 137: Förberedelser För Installation
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Pumpen TwisTorr 84 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 84 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Página 138 Bruksanvisning Förberedelser för installation 138/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 139: Installation
Bruksanvisning Installation Installation VARNING! Pumpen fungerar på hög rotationshastighet. Om pumpen levereras tillsammans med en styrenhet har de rörliga delarna skyddats med ett mekaniskt skydd för att förhindra en kontakt. Om pumpen levereras utan styrenheten, medföljer inget mekaniskt skydd. Eftersom pumpen inte fungerar utan en styrenhet ska pumpen installeras innan den sätts igång.
Página 140 Bruksanvisning Installation 140/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 141 Bruksanvisning Installation Installeraden här apparaten endast i stängda miljöer och använd den hur som helst inte i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck);...
Página 142: Fastsättning Av Pumpen
Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Fastsättning av pumpen VARNING! Om de här installationsinstruktionerna inte iakttas kan det leda till att pumpen kommer loss från systemet om det uppstår en skada på rotorn vilket orsakar allvarliga materialskador, kroppsskador eller döden. TwisTorr 84 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 84 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemetskontrafläns med en anslutning som måste tåla ett vridmoment på...
Página 143: Användning Av Twistorr 84 Fs
Bruksanvisning Användning av TwisTorr 84 FS Användning av TwisTorr 84 FS VARNING! Se till att apparaten används på rätt sätt. Det rekommenderas att operatören använder apparaten på det sätt som anges i handboken. Om anvisningarna i den här handboken inte iakttas kan det ställa apparatens skydd på...
Página 144 Bruksanvisning Användning av TwisTorr 84 FS Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av OBSERVER! turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
Página 145: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 84 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Página 146: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Página 147: Instruksjon Manual
TwisTorr 84 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 149 Sikkerhetssymboler Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 84 FS Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 147/336...
Página 148: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Página 149: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Página 150 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Página 151: Sikkerhetssymboler
Instruksjon Manual Generell informasjon Sikkerhetssymboler SYMBOL BESKRIVELSE AV SYMBOLENE Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må konsultere brukerhåndboken for å beskytte seg mot fare for skader og for å beskytte apparatet mot eventuelle skader. Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må holde avstand mens apparatet er i drift.
Página 152: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende ▪ miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -40 °C til 70 °C. ▪ Relativ fuktighet: fra 0 til 90 % (uten kondensering).
Página 153: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TwisTorr 84 FS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TwisTorr 84 FS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Página 154 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon 154/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 155: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon ADVARSEL! Pumpen har høy rotasjonshastighet under drift. Hvis pumpen blir sendt sammen med kontrolleren, er de roterende delene beskyttet av en mekanisk barriere for å forhindre kontakt. Hvis pumpen blir sendt uten kontroller, er den ikke utstyrt med en mekanisk barriere. Ettersom pumpen ikke kan fungere uten kontroller, må...
Página 156 Instruksjon Manual Installasjon 156/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 157 Instruksjon Manual Installasjon Dette apparatet skal bare installeres i lukkede miljøer, og skal ikke installeres eller brukes systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk);...
Página 158: Festing Av Pumpen
Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Manglende overholdelse av disse installasjonsinstruksene kan føre til at pumpen løsner fra systemet hvis rotoren ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 84 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 84 FS i en stabil stilling ved å...
Página 159: Bruk Av Twistorr 84 Fs
Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 84 FS Bruk av TwisTorr 84 FS ADVARSEL! Sørg for at apparatet brukes på riktig måte. Operatøren av dette instrumentet skal bruke apparatet slik det er spesifisert i denne håndboken. Manglende overholdelse av indikasjonene i denne håndboken kan føre til at beskyttelsen av apparatet ikke fungerer.
Página 160 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 84 FS Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i FORSIKTIG! funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
Página 161: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 84 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Página 162: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Página 163: Ohjekäsikirja
TwisTorr 84 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Turvamerkit Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 174 TwisTorr 84 FS käyttö 175 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 163/336...
Página 164: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 164/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 165: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Página 166 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 166/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 167 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Turvamerkit MERKKI MERKKIEN KUVAUS Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta. Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on pysyttävä siitä loitolla sen toiminnan aikana. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 167/336...
Página 168: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ▪ ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -40 °C - 70 °C. ▪ suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä). ▪...
Página 169: Valmistelut Asennusta Varten169
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TwisTorr 84 FS pumppu toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TwisTorr 84 FS in putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Página 170 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 170/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 171: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus VAROITUS! Pumppu toimii korkealla kiertonopeudella. Jos pumppu lähetetään yhdessä valvontayksikön kanssa, pyörivät osat on suojattu mekaanisella esteellä kosketuksen syntymisen estämiseksi. Jos pumppu lähetetään ilman valvontayksikköä, mekaanista estettä ei toimiteta. Koska pumppu ei voi toimia ilman valvontayksikköä, asenna pumppu ennen sen käynnistämistä. Pumpun toiminta ilman sen kytkemistä...
Página 172 Ohjekäsikirja Asennus Kuva 2 Kuva 3 172/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 173 Ohjekäsikirja Asennus Laite tulee asentaa vain suljettuihin tiloihin. Sitä ei saa missään tapauksessa käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen;...
Página 174: Pumpun Kiinnitys
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 84 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 84 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää...
Página 175: Twistorr 84 Fs Käyttö
Ohjekäsikirja TwisTorr 84 FS käyttö TwisTorr 84 FS käyttö VAROITUS! Varmista laitteiston oikea käyttö. Tätä välinettä käyttävän käyttäjän on käytettävä laitteistoa tässä ohjekirjassa osoitetullatavalla. Tässä ohjekirjassa annettujen ohjeiden noudattamatta jättäminen voi vaarantaa laitteiston antaman suojan. Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta.
Página 176 Ohjekäsikirja TwisTorr 84 FS käyttö Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä HUOMIO! laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu hiukkasia tai saasteita sisältävien aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla (integroitu purge/vent), jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi, helium tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information”...
Página 177: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 84 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Página 178: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Página 179: Felhasználói Kézikönyv
TwisTorr 84 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Biztonsági jelzések 183 Tárolás 184 Előkészítés telepítésre 185 Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 84 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 194 Az eredeti utasítás fordítása 179/336...
Página 180: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Página 181: Általános Informáicó
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 182 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.
Página 183: Biztonsági Jelzések
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Biztonsági jelzések JELZÉS JELZÉSEK LEÍRÁSA A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a használati útmutatást kell figyelembe vennie, hogy a önmagát és a berendezést a kártól megóvja. A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a berendezés működése alatt attól távol kell tartózkodnia.
Página 184: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: ▪ szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: ▪ hőmérséklettartomány: -40 °C - 70 °C relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló) ▪...
Página 185: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TwisTorr 84 FSt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. TwisTorr 84 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Página 186 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre 186/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 187: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés VESZÉLY! A szivattyú nagy forgási sebességgel működik. Ha a szivattyút a controllerrel együtt szállítják, akkor a forgó részeket az érintkezés megakadályozására mechanikai védőkorlát védi. Ha a szivattyút controller nélkül szállítják, a védőberendezés nem része a szállítmánynak. Mivel a szivattyú controller nélkül nem működhet, kérjük, hogy működtetés előtt installálja a szivattyút.
Página 188 Felhasználói Kézikönyv Telepítés 188/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 189 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ezt a berendezést csak zárt térbe telepítse, és semmiképpen se használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett; ▪...
Página 190: A Szivattyú Rögzítése
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ezeknek a telepítési utasításoknak figyelmen kívül hagyása, amennyiben a rotor meghibásodik, a szivattyúnak a rendszerről való leválását eredményezheti úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 84 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 84 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú...
Página 191: A Twistorr 84 Fs Használata
Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 84 FS használata A TwisTorr 84 FS használata VESZÉLY! Győződjön meg a berendezés helyes használatáról. Az eszköz kezelője számára ajánlott, hogy a berendezést ebben a használati útmutatóban írtak szerint használja. Az útmutatóban szereplő utasítások be nem tartása a berendezés által nyújtott védelmet veszélyeztetheti.
Página 192 Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 84 FS használata Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A FIGYELEM! csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). A partikulátumot vagy agresszív szennyeződést tartalmazó...
Página 193: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 84 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Página 194: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Página 195: Podrecznik Instrukcji
TwisTorr 84 FS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 201 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 208 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 195/336...
Página 196: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Página 197: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Página 198 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Página 199: Symbole Związane Z Bezpieczeństwem
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem SYMBOL OPIS SYMBOLU Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi zajrzeć do instrukcji obsługi, aby zabezpieczyć się przed zagrożeniem obrażenia i zabezpieczyć urządzenie przed ewentualnymi uszkodzeniami. Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi znajdować...
Página 200: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: ▪ podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: ▪ temperatura: od -40 °C do 70 °C względna wilgoć·od 0 do 90 % ( bez opar) ▪...
Página 201: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Ponpa TwisTorr 84 FS jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń, do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę, aby nie upuścić...
Página 202 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji ć 202/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 203: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja ZAGROZENIE! Pompa procuje z dużą prędkością obrotową. Jeżeli pompa jest dostarczana razem ze sterownikiem, części obracające się są zabezpieczone odpowiednią barierą mechaniczną w celu uniemożliwienia kontaktu. Jeżeli pompa jest wysyłana bez sterownika, bariera mechaniczna nie jest dostarczana. Ponieważ...
Página 204 Podrecznik Instrukcji Instalacja ć ć 204/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 205 Podrecznik Instrukcji Instalacja To urządznie należy instalować wyłącznie w pomieszczeniach zamkniętych i w żadnym przypadku nie wykorzystywać pompy w pomieszczeniach narażonych na oddziaływanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w pomieszczeniach z atmosferą wybuchową lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Página 206 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pompa TwisTorr 84 FS odpowiada wymaganiom II kategorii instalacji UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też należy podłączyć urządzenie do linii zasilania, która spełnia te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”. 206/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 207: Mocowanie Pompy
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie tych instrukcji dotyczących instalacji może, w przypadku powstania usterki wirnika, spowodować odłączenie się pompy od systemu, a w konsekwencji doprowadzić do uszkodzeń sprzętu, obrażeń cielesnych osób a nawet śmierci. Pompa TwisTorr 84 FS może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji.
Página 208: Użytkowanie Pompy Twistorr 84 Fs
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS ZAGROZENIE! Należy zapewnić poprawne użytkowanie urządzenia. Zaleca się, aby operator tego urządzenia pracował ze sprzętem w sposób określony w niniejszej instrukcji. Nieprzestrzeganie zaleceń podanych w niniejszej instrukcji może wpłynąć negatywnie na zabezpieczenie zapewniane przez urządzenie.
Página 209 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej UWAGA! działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar (ponad ciśnienie atmosferyczne).
Página 210: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 84 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Página 211: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdującego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem dyrektywy Unii Europejskiej nazywanej WEEE. Symbol ten (obowiązujący tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób, który nim został oznaczony NIE może być...
Página 212 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 212/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 213: Návod K Použití
TwisTorr 84 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 214 Všeobecné informace 215 Bezpečnostní symboly 217 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 84 FS Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 213/336...
Página 214: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Página 215: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Página 216 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.
Página 217: Bezpečnostní Symboly
Návod k Použití Všeobecné informace Bezpečnostní symboly POPIS SYMBOLŮ SYMBOL Zařízení je označeno tímto symbolem, když musí obsluha vycházet z návodu, aby byla chráněna před riziky ublížení na zdraví a poškození zařízení. Zařízení je označeno tímto symbolem, když se obsluha musí během činnosti zařízení...
Página 218: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: ▪ Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: ▪ Teplotní rozpětí: -40 °C až 70 °C Rozpětí...
Página 219: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TwisTorr 84 FS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TwisTorr 84 FS nespadla a chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Página 220 Návod k Použití Příprava k instalaci 220/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 221: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace NEBEZPEČÍ! Vývěva se během své činnosti otáčí vysokou rychlostí. Když je vývěva odeslána spolu s řídící jednotkou, otáčející se součásti jsou chráněny mechanickou bariérou, která zabraňuje doteku. Když je vývěva odeslána bez řídící jednotky, není vybavena mechanickou bariérou. Vzhledem k tomu, že vývěva nemůže pracovat bez řídící...
Página 222 Návod k Použití Instalace 222/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 223 Návod k Použití Instalace Toto zařízení instalujte výhradně do uzavřeného prostředí a nepoužívejte je v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální...
Página 224: Upevnění Vývěvy
Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě výskytu poruchy rotoru způsobit oddělení čerpadla od systému, s následným vážným zraněním nebo dokonce smrtí. Vývěvu TwisTorr 84 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 84 FS ve stabilní...
Página 225: Použití Vývěvy Twistorr 84 Fs
Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 84 FS Použití vývěvy TwisTorr 84 FS NEBEZPEČÍ! Ujistěte se o správném použití zařízení. Doporučujeme obsluze tohoto přístroje používat zařízení způsobem uvedeným v tomto návodu. Nedodržení pokynů uvedených v tomto návodu může ohrozit ochranu poskytovanou zařízením.
Página 226 Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 84 FS Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly POZOR! by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Página 227: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 84 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Página 228: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Página 229: Návod Na Obsluhu
TwisTorr 84 FS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 230 Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly 233 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy240 Použitie vývevy TwisTorr 84 FS 241 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 229/336...
Página 230: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Página 231: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Página 232 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Página 233: Bezpečnostné Symboly
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly SYMBOL POPIS SYMBOLOV Zariadenie je označené týmto symbolom, keď musí pracovník vychádzať z návodu, aby chránil sám seba, predchádzal rizikám úrazu a poškodenia zariadenia. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď sa pracovník musí počas činnosti zariadenia zdržiavať...
Página 234: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu, ▪ prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -40 °C až 70 °C ▪ rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 90 % (bez kondenzácie) ▪...
Página 235: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Výveva TwisTorr 84 FS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby výveva TwisTorr 84 FS nespadla a chráňte ju pred náhodnými nárazmi, otrasmi alebo vibráciami.
Página 236 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu 236/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 237: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia NEBEZPEČÍ! Výveva sa počas svojej činnosti otáča vysokou rýchlosťou. Keď je výveva dodaná spolu s riadiacou jednotkou, otáčajúce sa časti sú chránené mechanickou bariérou, ktorá zabraňuje kontaktu. Keď je výveva dodaná bez riadiacej jednotky, nie je vybavená mechanickou bariérou. Vzhľadom k tomu, že výveva nemôže pracovať...
Página 238 Návod na Obsluhu Inštalácia 238/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 239 Návod na Obsluhu Inštalácia Toto zariadenie inštalujte výhradne do uzavretého prostredia a nepoužívajte ho v prostredí, ktoré je vystavené vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku;...
Página 240: Upevnenie Vývevy240
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže, v prípade výskytu poruchy rotora, spôsobiť oddelenie vývevy od systému, s následným vážnym zranením alebo dokonca smrťou. Vývevu TwisTorr 84 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 84 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú...
Página 241: Použitie Vývevy Twistorr 84 Fs
Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 84 FS Použitie vývevy TwisTorr 84 FS NEBEZPEČÍ! Dbajte na to, aby bolo zariadenie používane správnym spôsobom. Odporúčame obsluhujúcemu pracovníkovi tohto prístroja, aby ho používal spôsobom uvedeným v tomto návode. Nedodržanie pokynov uvedených v tomto návode môže ohroziť ochranné funkcie zariadenia.
Página 242 Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 84 FS Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu POZOR! alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí...
Página 243: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 84 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Página 244: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Página 245: Priročnik Za Navodila
TwisTorr 84 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Varnostni znaki Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 245/336...
Página 246: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Página 247: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Página 248 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Página 249: Varnostni Znaki
Priročnik za Navodila Splošne informacije Varnostni znaki ZNAK OPIS ZNAKOV Ta znak na napravi pomeni, da mora upravljavec v uporabniškem priročniku poiskati navodila glede zaščite pred tveganji telesnih poškodb in poškodb naprave. Ta znak na napravi pomeni, da se upravljavec delujoči napravi ne sme približevati.
Página 250: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete ▪ preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -40 °C do 70 °C ▪ območje relativne vlažnosti: 0 do 90 % (brez kondenza) ▪...
Página 251: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Črpalka TwisTorr 84 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 84 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem. Embalaže ne odlagajte v okolje.
Página 252 Priročnik za Navodila Priprava za montažo 252/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 253: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža SVARILO! Črpalka deluje z visoko rotacijsko hitrostjo. Če črpalko prejmete skupaj s krmilnikom, so vrtljivi deli zaščiteni z mehansko zaporo, da se prepreči njihov dotik. Če črpalko prejmete brez krmilnika, nima mehanske zapore. Ker črpalka brez krmilnika ne more delovati, jo morate pred zagonom namestiti. V primeru delovanja črpalke brez vezave na sistem so gibljivi deli prosto dostopni, kar lahko povzročiti hude poškodbe.
Página 254 Priročnik za Navodila Montaža 254/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 255 Priročnik za Navodila Montaža To napravo lahko namestite le v zaprte prostore, v nobenem primeru pa je ne uporabljajte v prostorih, ki so izpostavljeni vremenskim dejavnikome (dež, sneg, led), prahu, agresivnim plinom ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere;...
Página 256: Pritrditev Črpalke
Priročnik za Navodila Pritrditev črpalke Pritrditev črpalke SVARILO! Neupoštevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare rotorja povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. TwisTorr 84 FS lahko montirate v številne pozicije. TwisTorr 84 FS namestite v stabilen položaj tako, da pritrdite vhodno prirobnico turbočrpalke na števno prirobnico s tako spojko, ki lahko prenaša navor 250 Nm okoli svoje osi.
Página 257: Uporaba Črpalke Twistorr 84 Fs
Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS SVARILO! Poskrbite za pravilno uporabo naprave. Upravljavcu tega orodja svetujemo, da napravo uporablja v skladu z navodili iz tega priročnika. V primeru neupoštevanja navodil iz tega priročnika je zaščita, ki jo naprava zagotavlja, lahko okrnjena.
Página 258 Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom POZOR! delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
Página 259: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 84 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Página 260: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Página 261: Instructions For Use
TwisTorr 84 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Safety Symbols 265 Storage Preparation for installation 267 Installation Pump Fixing Use of TwisTorr 84 FS 273 Maintenance Disposal Original instructions 261/336...
Página 262: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Página 263: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Página 264 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: The warning messages are for attracting the attention of the operator to a WARNING! particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Página 265: Safety Symbols
Instructions for Use General Information Safety Symbols SYMBOL SYMBOL DESCRIPTION The apparatus is marked with this symbol when the user should refer to the instruction manual in order to protect risk of harm to the operator and to protect the apparatus against damage. The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus.
Página 266: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: ▪ when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: ▪...
Página 267: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TwisTorr 84 FS pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to the TwisTorr 84 FS pump.
Página 268 Instructions for Use Preparation for installation 268/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 269: Installation
Instructions for Use Installation Installation WARNING! The pump is running at high speed. If the pump is delivered together with a controller the rotating parts are covered with a mechanical barrier to prevent access. If the pump is delivered without controller it does not have the mechanical barrier because it cannot be operated alone.
Página 270 Instructions for Use Installation 270/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 271 Instructions for Use Installation Install this device indoors only, and in any case do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure;...
Página 272: Pump Fixing
Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 84 FS can be installed in any position.
Página 273: Use Of Twistorr 84 Fs
Instructions for Use Use of TwisTorr 84 FS Use of TwisTorr 84 FS Ensure the proper usage of the equipment. WARNING! The operator of this instrument is advised to use the equipment in a manner as specified in this manual. If the guidance of this manual is not followed, the protection provided by the equipment may be impaired.
Página 274 Instructions for Use Use of TwisTorr 84 FS Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the CAUTION! internal materials of the pump. When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive WARNING! gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases.
Página 275: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 84 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, WARNING! vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped rotating and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Página 276: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Página 277: Technical Information
TwisTorr 84 FS User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS Pump Description Technical Specification TwisTorr 84 FS Outline 286 Interconnections 301 Earth (Ground) Connection 301 Connection C – Electrical 302 Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation 308 Water Cooling Kit Connection Vent Accessories 313 Vibration Isolator Installation...
Página 278 Technical Information Disposal Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting 328 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 278/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 279: Description Of The Twistorr 84 Fs279
Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS Description of the TwisTorr 84 FS The TwisTorr 84 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 84 FS pump models are: Model X3502-64000 with ISO 63 high vacuum flange; ▪...
Página 280 Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS 280/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 281: Pump Description
Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS Pump Description The TwisTorr 84 pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Página 282 Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS The TwisTorr stators are in the form of selfpositioning machined disks. On each disk there are parallel spiral pumping channels designed to pump in centrifugal direction on one side and in centripetal direction on the other side. These are made of aluminium alloy.
Página 283: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Max gas throughput: water cooling (ambient temperature=35°C; water temperature= 25°C; backing • pump 5 m3/h) air cooling (ambient temperature=35°C; backing pump 5 m3/h) • Pumping speed ISO 63 / CFF 4.5” CFF 2.75” KF 40 67 l/s 56 l/s 49 l/s...
Página 284 Technical Information Technical Specification Inlet flange CFF 4.5" O.D. ISO 63 CFF 2.75” O.D. KF 40 Foreline flange KF16 NW Rotational speed 81000 rpm (1350 Hz driving frequency) Start-up time  2 minutes Recommended forepump mechanical: Agilent DS 42 mechanical: Agilent DS 102 dry pump: Agilent SH 110 dry pump: Agilent IDP-3 Operating position...
Página 285 Technical Information Technical Specification Weight kg (lbs): Pump ISO 63 2.05 kg Pump CFF 4.5’’ 3.50 Kg Pump KF 40 2.37 kg Pump CFF 2.75’’ 3.34 kg TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 285/336...
Página 286: Twistorr 84 Fs Outline
Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS Outline The following figures show the TwisTorr 84 FS (dimensions are in mm [inches]). 286/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 287 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 287/336...
Página 288 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 288/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 289 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 289/336...
Página 290 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 290/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 291 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 291/336...
Página 292 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 292/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 293 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 293/336...
Página 294 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 294/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 295 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 295/336...
Página 296 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 296/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 297 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 297/336...
Página 298 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 298/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 299 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 299/336...
Página 300 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 300/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 301: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 84 FS interconnections. Earth (Ground) Connection It is required to connect the pump body to protective earth with a M5 screw (marked thread in the pump body) using a green/yellow wire of size AWG 16.
Página 302: Connection C - Electrical
Technical Information Interconnections Connection C – Electrical The turbopump is connected to the controller through a 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground.
Página 303: Soft Start
Technical Information Soft Start Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 84 FS, it’s recommended to enable the “Soft Start” function; this allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default. To enable the “Soft Start”...
Página 304: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation 304/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 305 Technical Information Inlet screen installation The inlet screen models are the following; • X3502-68001 (ISO 63) • X3502-68000 (CFF 4.5’’) • 9699309 (KF 40) • 9699328 (CFF 2.75’’) TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 305/336...
Página 306 Technical Information Inlet screen installation prevent the rotor blades from being damaged by debris. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed as per following table: Reduction in pumping speed (%) X3502- 68000 X3502- 68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Página 307 Technical Information Inlet screen installation The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring.
Página 308: Air Cooling Kit Installation
Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation An air cooling kit (9699290) is available to improve the TwisTorr 84 FS cooling during operational conditions. Fan specifications: air flow: 12.8 l/s (27.1 CFM) ▪ input voltage: 24 Vdc ▪...
Página 309 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TwisTorr 84 FS pump bottom, proceed as follows (see figure below): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...
Página 310: Water Cooling Kit Connection
Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection A water cooling kit is available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The model part numbers are: X3502-68002 (Metal), ▪...
Página 311 Technical Information Water Cooling Kit Connection The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 311/336...
Página 312 Technical Information Water Cooling Kit Connection The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system.
Página 313: Vent Accessories
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve (9699844) allows to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
Página 314 Technical Information Vent Accessories Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. 314/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Página 315: Vibration Isolator Installation
Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The two model part numbers are the following: ▪ model 9699375 for ISO 63 flange; ▪ model 9699376 for CFF 4.5” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 84 FS to the system by a factor of 20.
Página 316: Purge Valve Installation
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the M12 screw from the purge port as shown in the following figure;...
Página 317: Twistorr 84 Fs On Board Controller Installation
Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation The on board controller can be mounted in two position: ▪ bottom mounting (as per the complete system); side mounting. ▪ To install the controller proceed as described in the following procedures.
Página 318: Side Mounting
Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Side Mounting NOTE The L-shaped bracket (P/N X3500-68006) is available as an option. See the following figure. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket; Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the controller top;...
Página 319 Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Tighten the screws properly; Turn the pump up again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump.
Página 320: Connection Of The High Vacuum Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange In the case the rotor is suddenly blocked, the torque arising from the system and the high vacuum flange must be absorbed. Only the components listed in the following can be used to fasten the pump to the high vacuum flange.
Página 321 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 63 flange ▪ Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 321/336...
Página 322: Installation Of Conflat Flange (Cff 2 ¾)
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ConFlat Flange (CFF 2 ¾) For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used). Installation of ConFlat Flange (CFF 4 ½) For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used).
Página 323 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Use the required number of screws: 6 for CFF 2.75” ▪ 8 for CFF 4.5” ▪ TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 323/336...
Página 324 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Attach the units and tighten each screw in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Tighten the screws with a torque of 20 Nm. For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware.
Página 325: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the TwisTorr 84 FS pump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Página 326: Pump Used With Corrosive Gases
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Página 327 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 327/336...
Página 328: Venting Procedure (Without Contaminants And/Or Corrosive Gases) - Manual Venting
Technical Information Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the TwisTorr 84 FS pump. Close the gate valve connecting the Turbo pump to the chamber (if present).
Página 329: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Página 330: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Description Part Numbers Mains cable NEMA plug, 3 m long 9699958 Mains cable European plug, 3 m long 9699957 Serial cable and T-plus software 9699883 Inlet screen ISO63 X3502-68001 Inlet screen CFF4.5” X3502-68000 Inlet screen, KF40 9699309...
Página 336 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Este manual también es adecuado para:

X3502-64000 X3502-64001 X3502-64002 X3502-64003

Agilent Technologies TwisTorr 84 FS Serie Manual De Istrucciones

Enlaces rápidos

Capítulos

Manuales relacionados para Agilent Technologies TwisTorr 84 FS Serie

Resumen de contenidos para Agilent Technologies TwisTorr 84 FS Serie