Agilent Technologies TwisTorr 305 FSQ Manual Del Usuario
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Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF
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Resumen de contenidos para Agilent Technologies TwisTorr 305 FSQ

  • Página 1 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 2 (Technical Data) and 12.212 (Computer Software) and, for the Department of Defense, DFARS 252.227-7015 (Technical Data - Commercial Items) and DFARS 227.7202-3 (Rights in Commercial Computer Software or Computer Software Documentation). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 3: Tabla De Contenido

    Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Collegamento della pompa di pre-vuoto Avvio e funzionamento della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arresto della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 4 Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Anwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 5 Contents Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Stoppen des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Notausschaltung Wartung Rotordauer Sanftanlauf Reinigung Entsorgung Service Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes...
  • Página 6 Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arrêt de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor...
  • Página 7 Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Conexión de la bomba pre-vaciad Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Parada de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Parada de emergencia...
  • Página 8 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的启动和运行 停止 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 紧急停止 维护 转子寿命 慢启动 清洗 处置 服务 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 9 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF の起動開始と操作 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 10 Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Stopping the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 11 Maintenance Rotor life Soft Start Cleaning Disposal Service Technical Information Description of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Technical specification TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Outline Interconnections Earth (Ground) Connection Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation...
  • Página 12 Istruzioni per l’uso Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 13: Istruzioni Per L'uso

    Fissaggio della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Collegamento della pompa di pre-vuoto Avvio e funzionamento della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arresto della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arresto di emergenza Manutenzione...

  • Página 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Página 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 16: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono...
  • Página 17 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Messa a terra protettiva Non toccare Connettore principale Certificazione CE Certificazione CSA Limitazione della Certificazione delle Sostante Pericolose Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 18: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Página 19: Uso Improprio

     funzionamento in aree potenzialmente esplosive  utilizzo del dispositivo in sistemi in cui stress e vibrazioni simili a  impatti o forze periodiche influiscono sul dispositivo. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 20: Attrezzatura Di Protezione

    In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la manipolazione della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF e durante l'installazione. Pericolo per la salute a causa di sostanze pericolose durante la AVVERTENZA manutenzione o l’installazione.

  • Página 21: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 22: Trasporto & Immagazzinamento

    Se per qualsiasi motivo viene superata la scadenza della conservazione, la ATTENZIONE pompa deve essere restituita alla fabbrica. Per informazioni, contattare il rappresentante Agilent Vacuum locale e il servizio di assistenza. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 23: Descrizione Del Prodotto

    Questa attrezzatura è destinata all'uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti. La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.

  • Página 24: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Preparazione per l’installazione La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sulla TwisTorr 305 FSQ & 305 SF che potrebbero essere causati dalla sua caduta.
  • Página 25 Istruzioni per l’uso Figura 1 Imballo della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 26: Apertura

    Pressione ambiente massima: 2 bar sopra la pressione atmosferica  temperatura: da +5 °C a +35 °C  umidità relativa: 0 – 90 % (senza condensa).  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 27: Fissaggio Della Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Agilent. Per ulteriori dettagli consultare la sezione "Installazione di ConFlat e ISO K”. La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF non può essere fissata tramite la sua base, nè ATTENZIONE tramite altre flange che non siano di inlet.

  • Página 28: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto

    AVVERTENZA da quelle consigliate da Agilent, esiste la possibilità che la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF ruoti e si distacchi nel caso in cui il rotore si arresti improvvisamente. La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità per tutti i danni derivanti da un fissaggio improprio.

  • Página 29: Installazione Della Flangia Iso-K

    Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100  4 per la flangia ISO 160  Stringere i bulloni con una coppia di 22 Nm Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 30: Collegamento Della Pompa Di Pre-Vuoto

    Collegamento della pompa di pre-vuoto La connessione forzata deve essere effettuata utilizzando la flangia KF 16 NW fornita sulla TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Il collegamento alla pompa principale può essere effettuato mediante una pompa o un tubo classificati come vuoto. Se viene utilizzato un tubo rigido, qualsiasi vibrazione generata dalla pompa meccanica deve essere attenuata attraverso l'uso del soffietto.

  • Página 31: Avvio E Funzionamento Della Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento della TwisTorr 305 FSQ & 305 Per accendere la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF tramite i controller di bordo o remoto, collegare la pompa al controller, fornire al controller la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali “START”...

  • Página 32: Arresto Della Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di emergenza. L'uso AVVERTENZA di questa modalità di arresto potrebbe causare guasti e/o danni alla pompa. L'uso improprio di questa modalità di arresto potrebbe invalidare la garanzia. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 33: Manutenzione

    Vita del rotore La resistenza alla fatica del rotore della pompa TwisTorr 305 FSQ & 305 SF risultante dalla valutazione teorica è di 405000 cicli di rampa da arresto a piena velocità e ritorno a fine corsa.

  • Página 34: Soft Start

    A bordo: Capitolo Informazioni tecniche - Interconnessioni e significati delle finestre). Pulizia La superficie esterna della TwisTorr 305 FSQ & 305 SF può essere pulita solo con un detergente delicato. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 35: Smaltimento

    Figura 4 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 36: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 37: Betriebsanleitung

    Einrichten Montage von TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Stoppen des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Notausschaltung Wartung Rotordauer Sanftanlauf...

  • Página 38: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der TwisTorr 305 FSQ & 305 SF mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Página 39: Definitionen Und Terminologie

    Die Vorsichtshinweise werden vor Verfahren angezeigt, die Schäden am Gerät VORSICHT verursachen könnten, wenn sie nicht beachtet werden. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 40: Warnsymbole

    Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305 FSQ & 305 SF angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
  • Página 41 Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Schutzerdungsklemme Nicht berühren Verbindungsstück CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung Beschränkung gefährlicher Stoffe RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 42: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Página 43: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305 FSQ & 305 SF ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als. Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ...

  • Página 44: Schutzausrüstung

    Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem TwisTorr 305 FSQ & 305 SF und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen. Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung oder Installation WARNUNG •...

  • Página 45: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen

    Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe befestigt ist. Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, WARNUNG sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten! Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 46: Transport Und Lagerung

    Wenn aus irgendeinem Grund die Haltbarkeitsdauer überschritten wird, muss VORSICHT die Pumpe an das Werk zurückgeschickt werden. Bitte wenden Sie sich an den lokalen Agilent Vacuum Vertriebs- und Servicevertreter, um weitere Informationen zu erhalten. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 47: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. TwisTorr 305 FSQ & 305 SF ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann.

  • Página 48: Installation

    Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den TwisTorr 305 FSQ & 305 SF, die durch Herunterfallen verursacht werden können. Bewahren Sie den Verpackungskarton auf, um ihn bei längerer Lagerung oder beim Versand wieder verwenden zu können.
  • Página 49 Betriebsanleitung Abbildung 5 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF-Verpackung Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 50: Einrichten

    Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden: Maximaler Umgebungsdruck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck  Temperatur: von +5 °C bis +35 °C  Relative Feuchtigkeit: 0-90% (nicht kondensierend).  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 51: Montage Von Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TwisTorr 305 FSQ & 305 SF kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305 FSQ & 305 SF in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann.

  • Página 52: Anschluss Des Hochvakuumflansches

    WARNUNG von den von Agilent empfohlenen Flanschen abweichen, besteht die Möglichkeit, dass sich der TwisTorr 305 FSQ & 305 SF dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen.

  • Página 53: Installation Des Iso-K-Flansches

    Abbildung 7 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch  4 für ISO 160 Flansch  Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 22 Nm an. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 54: Anschluss Der Vorvakuumpumpe

    Anschluss der Vorvakuumpumpe Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305 FSQ & 305 SF bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.

  • Página 55: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Um den TwisTorr 305 FSQ & 305 SF über die integrierten Steuerungen oder die Fernsteuerungen einzuschalten, schließen Sie die Pumpe an die Steuerung an, versorgen Sie die Steuerung mit der richtigen Versorgungsspannung und wirken Sie auf die Signale „START“...

  • Página 56: Stoppen Des Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Diese Betriebsart ist nur im Notfall zu verwenden. Die Verwendung dieses WARNUNG Stoppmodus kann zu Fehlern und/oder Schäden an der Pumpe führen. Die unsachgemäße Verwendung dieses Stoppmodus kann zum Erlöschen der Garantie führen. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 57: Wartung

    Betriebsanleitung Wartung Die TwisTorr 305 FSQ & 305 SF ist wartungsfrei. Alle Arbeiten müssen von autorisiertem Personal durchgeführt werden. Bevor Sie Arbeiten an der Anlage ausführen, trennen Sie diese von der WARNUNG Stromversorgung, entlüften Sie die Pumpe mit dem Entlüftungsventil, warten Sie, bis der Rotor vollständig stillsteht und bis die...

  • Página 58: Sanftanlauf

    Technische Informationen - Bedeutungen von Steuerungsanschluss und Fenstern; On Board: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Verriegelungen und Fenstern). Reinigung Die Außenfläche des TwisTorr 305 FSQ & 305 SF darf nur mit einem milden Reinigungsmittel gereinigt werden. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 59: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 8 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 60: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 61: Mode D'emploi

    Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arrêt de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor...

  • Página 62: À Propos De Ce Manuel

    Ce manuel contient des informations utiles pour que l’ensemble du personnel NOTE puisse utiliser la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF en toute sécurité et pour garantir un fonctionnement parfait pendant toute sa durée de vie. Veuillez conserver ce manuel et tous les documents connexes dans un lieu accessible connu de tous les opérateurs et du personnel de maintenance.

  • Página 63: Définitions Et Terminologie

    Les messages d’attention sont affichés au début de procédures qui, si elles ne ATTENTION sont pas respectées, peuvent entraîner des dommages aux équipements. Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 64: Symboles D'avertissement

    Mode d’emploi Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à...
  • Página 65 Borne de mise à la terre de protection Ne pas toucher Connecteur principal Certification CE Certification CSA Restriction de la certification des substances dangereuses Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 66: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...

  • Página 67: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié...

  • Página 68: Équipements De Protection Individuelle

    En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manipulation de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF et pendant son installation. Danger pour la santé en raison de la présence de substances AVERTISSEMENT dangereuses pendant la maintenance ou l’installation.

  • Página 69: Consignes De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires

    être libérée sur la pompe à laquelle elle est fixée. Pour éviter d’endommager les équipements et prévenir les risques de AVERTISSEMENT blessure des opérateurs, respectez rigoureusement les instructions d’installation fournies dans le présent manuel. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 70: Transport Et Entreposage

    Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la ATTENTION pompe doit être retournée à l’usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d’informations. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 71: Description Du Produit

    Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. TwisTorr 305 FSQ & 305 SF est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.

  • Página 72: Installation

    Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF qui seraient causés par la chute. Veiller à entretenir le carton d’emballage afin de le réutiliser en cas de stockage de longue durée ou d’expédition.
  • Página 73 Mode d’emploi Figure 9 Emballage de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 74: Configuration

    : pression ambiante maximale :2 bars au-dessus de la pression atmosphérique  température : de +5 °C à +35 °C  humidité relative : 0 à 90 % (sans condensation).  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 75: Montage De La Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Agilent approprié. Pour plus de détails, voir la section « Installation de la ConFlat et de l’ISO K ». La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF ne peut pas être fixée par sa base ni par des ATTENTION brides autres que celles d’entrée.

  • Página 76: Raccordement De La Bride À Vide Élevé

    AVERTISSEMENT brides différentes de celles recommandées par Agilent, la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF risque de se tordre ou de se déchirer en cas d’arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n’est pas autorisée. Agilent n’acceptera aucune responsabilité...

  • Página 77: Installation De La Bride Iso-K

    Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100  4 pour la bride ISO 160  Serrez les boulons au couple de 22 Nm. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 78: Raccordement De La Bride À Vide Préliminaire

    Le raccordement avant doit être effectué à l’aide de la bride KF 16 NW fournie sur la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide. Si un tuyau rigide est utilisé, toute vibration générée par la pompe mécanique doit être amortie par l’utilisation de soufflets.

  • Página 79: Démarrage Et Utilisation De La Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Mode d’emploi Démarrage et utilisation de la TwisTorr 305 FSQ & 305 Pour allumer la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF via les contrôleurs embarqués ou les contrôleurs distants, raccorder la pompe au contrôleur, fournir au contrôleur la tension d’alimentation appropriée, puis activer les signaux « START » (Démarrer) et «...

  • Página 80: Arrêt De La Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Mode d’emploi Arrêt de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Pour arrêter la pompe quand elle est en marche, il est nécessaire d’agir sur l’unité de commande qui actionne la pompe et y est raccordée. Il est possible d’arrêter la pompe via les commandes de comm. en série ainsi que via les signaux d’E/S distants.

  • Página 81: Entretien

    Mode d’emploi Entretien La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF ne nécessite aucun entretien. Tout travail doit être effectué par un personnel autorisé. Avant d’effectuer des travaux sur le système, le mettre hors tension, AVERTISSEMENT purger la pompe avec la valve de purge, attendre que le rotor soit complètement arrêté...

  • Página 82: Démarrage Progressif

    – Connexion du contrôleur et significations des fenêtres ; Embarqué : Chapitre Informations techniques – Interconnexions et significations des fenêtres). Nettoyage La surface extérieure de la 305 FS ne peut être nettoyée qu’avec un détergent doux. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 83: Élimination

    Figure 12 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 84: Service

    à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 85: Instrucciones De Uso

    Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Conexión de la bomba pre-vaciad Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Parada de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Parada de emergencia...

  • Página 86: Acerca Del Manual

    Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba TwisTorr 305 FSQ & 305 SF, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Página 87: Definiciones Y Terminología

    Los mensajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que, si PRECAUCIÓN no se respetan, pueden causar daños al equipo. Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 88: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Página 89 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Terminal protectora de tierra No tocar Conector principal Certificación CE Certificación CSA Certificación de Restricción de Sustancias Peligrosas Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 90: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Página 91: Uso Incorrecto

     funcionamiento en zonas potencialmente explosivas  uso del dispositivo en sistemas en los que la fuerza de impacto y las  vibraciones o fuerzas periódicas afecten al dispositivo. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 92: Equipo De Protección

    En general, el operador debe usar zapatos antiaccidentes durante la instalación y manipulación de la bomba TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Peligro para la salud debido a la presencia de sustancias peligrosas ADVERTENCIA durante el mantenimiento o la instalación.

  • Página 93: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 94: Transporte Y Almacenamiento

    Si, por cualquier motivo, la vida útil es excedida, la bomba deberá ser devuelta PRECAUCIÓN a la fábrica. Por favor, contacte con el representante local de Ventas y Servicios de Vacío de Agilent para más información. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 95: Descripción Del Producto

    Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.

  • Página 96: Instalación

    Utilice guantes u otra protección adecuada siempre. La exposición normal al ambiente no puede dañar la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Sin NOTA embargo, es aconsejable mantenerla sellada en su bolsa de plástico hasta que esté...
  • Página 97 Instrucciones de uso Figura 13 Embalaje de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 98: Puesta En Marcha

    2 bar por encima de presión atmosférica  temperatura: de +5 °C a +35 °C  humedad relativa: 0 – 90 % (no condensante).  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 99: Montaje De La Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    La TwisTorr 305 FSQ & 305 SF puede ser instalada en cualquier posición. Fije la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida, con una conexión capaz de soportar una torsión de 1000 Nm alrededor de su eje.

  • Página 100: Conexión De La Brida De Alto Vaciado

    Agilent, es posible que la 305 FS se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está permitida. Agilent no aceptará ninguna responsabilidad por daños resultantes de una sujeción incorrecta. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 101: Instalación De La Brida Iso-K

    Figura 15 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100  4 para brida ISO 160  Ajustar los tornillos con un par de 22 Nm. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 102: Conexión De La Bomba Pre-Vaciad

    La conexión de prevacío debe hacerse utilizando la brida KF 16 NW proporcionada en la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. La conexión a la bomba prevacío puede hacerse mediante una manguera o tubo apropiada para vacío. Si se utiliza un tubo rígido, cualquier vibración generada por la bomba mecánica debe ser amortiguada a...

  • Página 103: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Para encender el TwisTorr 305 FSQ & 305 SF a través de los controladores abordo o los mandos a distancia, conecte la bomba al controlador, proporcione la tensión de alimentación correcta al controlador y actúe en las señales "START"...

  • Página 104: Parada De La Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Instrucciones de uso Parada de la TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Para detener la bomba mientras está en funcionamiento, es necesario actuar sobre la unidad de control que está accionando la bomba y que está conectada a ella. Es posible detener la bomba mediante los comandos seriales comm. así como a través de las señales a distancia I/O.

  • Página 105: Mantenimiento

    Vida del rotor La resistencia a la fatiga del rotor de bomba turbomolecular TwisTorr 305 FSQ & 305 SF resultante de la evaluación teórica de 405000 ciclos de aceleración desde parada y parada de nuevo.

  • Página 106: Arranque Suave

    Information – Interconnections & Window Meanings). Limpieza La superficie exterior de la La superficie exterior de la 305 FS puede ser limpiada con detergente suave solamente puede ser limpiada con detergente suave solamente. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 107: Eliminación

    Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 16 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 108: Servicio

    Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 109: 使用说明

    TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 前真空泵的连接 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的启动和运行 停止 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 紧急停止 维护 转子寿命 慢启动 清洗 处置 服务 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 110: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF用户说明，特别注意与安全、操作和一级维 护有关的注意事项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的人员可以 安全操作，在设备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 111: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 112: 警告符号

    使用说明 警告符号 以下是在 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这 些符号所指的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下： 直流 欧洲符合性声明 请勿触摸 电源关闭 生产现场 一般危险 电源开启 保护接地端子 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 113 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。. 保护接地端子 请勿触摸 主连接器 CE认证 CSA 认证 有害物质认证限制 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 114: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 115: 使用不当

    在没有适当吹扫流量的情况下泵送腐蚀性和氧化性气体（参见"泵与腐蚀性和氧  化性气体一起使用"的章节） 泵送爆炸气体  泵送冷凝蒸汽  泵送液体  泵送粉尘  气体产量过高的情况下作业  前真空压力过高的情况下作业  使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作  绝缘热输入水平过高的情况下作业  磁场过高的情况下作业  使用过高的通风速率进行通风  使用真空泵来产生压力  在电离辐射区域运行设备  在潜在爆炸区作业  在冲击应力、振动或周期性力会影响设备的系统中使用设备。  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 116: 防护设备

    使用说明 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。 此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作TwisTorr 305 FSQ & 305 SF时和安装过程中必须穿防事故鞋。 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 117: 涡轮分子泵安全指南

    使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘 • 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 涡轮分子泵安全指南 以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加上转子拥有 特定质量。 在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位置。 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说 警告 明！ Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 118: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免出现冷 凝的情况. 运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件:  温度范围： -40 °C 至 70 °C  相对湿度范围：0至90%（非冷凝状态）。  涡轮分子泵的保质期从发货日期起为12个月.  涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动.  涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动.  如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷伦真空销 小心 售和服务代表以了解相关信息。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 119: 产品描述

    使用说明 产品描述 本设备用于专业用途，供专业人员使用。 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能 够泵送任何类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。 泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 60600 rpm）获得。它不含污染 剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。 详细信息可参考"技术信息"章节。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 120: 安装准备

    安装 安装准备 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发 生损坏的迹象，请联系您当地的销售办事处。 避免因放下 305 FSQ & SF而对 305 FSQ & SF造成突然撞击。请注意保存好包装 盒，以便在存放时间过长或运输时重复使用。 请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合EEC指令 94/62号和随后颁布的修正案。. 为了防止出现漏气问题，不要徒手处理将暴露在真空中的部件。始终使用手套或 小心 其他合适的防护装置。 正常暴露于环境中不会损坏 TwisTorr 305 FS。不过，还是建议将其密封在塑料袋 注意 中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的污染。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 121 使用说明 图 17 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 包装 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 122 使用说明 设置 在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。 小心 图 18 仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰尘、腐蚀性气 体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中使用泵。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝： 最大环境压力： 比大气压力高 2 bar  温度：从 +5 °C 到 +35 °C  相对湿度： 0 ~ 90 % （非冷凝状态）。  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 123: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf 的安装

    使用说明 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的安装 如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离，从而 警告 导致财产损失或严重伤害或死亡。 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF可安装在任何位置。将TwisTorr 305 FSQ & 305 SF固定 在稳定位置，将涡轮泵的进气法兰安装到系统对接法兰上，其连接能够承受其轴周 围 1000 Nm的扭矩。 带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室 上。 有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 TwisTorr 305 FSQ＆SF 不能通过其底座或其他非入口法兰固定。...

  • Página 124: 高真空法兰的连接

    使用说明 高真空法兰的连接 如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。 螺栓或硬件必须符合以下规格。. 必须以承受“使用说明”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特别要注意夹具 警告 设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。 仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。 如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然停止 警告 时，TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不 同法兰类型组合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责 任。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 125: Iso-K 法兰的安装

    使用说明 ISO-K 法兰的安装 对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具固定两个 法兰（可选使用保护屏）。 图 19 使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 100 法兰  4 表示 ISO 160 法兰  用22 Nm的扭矩拧紧螺栓 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 126: 前真空泵的连接

    使用说明 前真空泵的连接 应使用 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级 泵的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波纹 管来抑制机械泵产生的任何振动。 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时， 注意 建议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒回 流。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 127: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf 的启动和运行

    Twistorr 305 FS 板载 24V 87-901-060-01 X3507-64131 Twistorr 305 FS 板载 110/230V 87-901-060-01 X3506-64130 Twistorr 305 FS AG 远程 RS232/485 87-901-059-01 X3506-64131 Twistorr 305 FS AG 远程 Profibus 87-901-059-01 泵的初始启动将处于"慢启动"模式;有关此模式的详细信息，请参阅第 130 页 警告 的专用章节。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 128: 停止 Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    使用说明 停止 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 如要在泵运行时停止泵，必须对驱动泵且与泵相连的控制单元执行操作。 可以通过串行通信命令以及远程I/O信号停止泵 请参阅控制器的相关说明手册，以便找到相应的说明集（远程：技术信息-控制器连 接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含义的章节）。 紧急停止 通过卸下电源可以实现紧急停止 此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/或损 警告 坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 129: 转子寿命

    TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 不需要任何维护。任何工作必须由授权人员进行。 在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气，在转子 警告 完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。 如果泵发生故障，您可以使用安捷伦维修服务或 "安捷伦高级替换服务"，它会为您提供一个再制造系统，以取代故障的系统。 305 FSQ＆SF的备件会在下订单时发货。 然后要使用原来装着305 FSQ＆SF备件的 箱子来退还没用的305 FS. 注意 在将泵退回给制造商进行维修或使用高级替换服务之前，必须填写并发送本说明手 册上随附的"退货请求"表格。在装运前，必须在系统包装中插入相同的副本。 如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置. 转子寿命 在理论的基础上估计，TwisTorr 305 FSQ & 305 SF涡轮分子泵转子的抗疲劳性为从 停止到全速再回到停止的405000次循环。 考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在使用 17 年 后退回泵以进行维护。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 130: 慢启动

    使用说明 慢启动 为确保泵轴承的正确润滑，在第一次加速时，泵必须在"慢启动"模式下启 警告 动。 这种启动方式（慢启动）可确保泵平稳地达到转速，并对轴承进行适当的 润滑。 连接到泵的控制单元具有运行泵的默认设置 （仅在第一次启动控制单元时）。 如果将新泵与使用过的控制单元一起使用，请记住手动设置慢启动模式。 与标准启动相比，慢启动模式需要更长的时间;用户必须等待泵完全达到转 速，然后才能停止泵。 第一次启动后，控制单元不会再次在慢启动模式下启动泵。 长时间不活动（60天或更长时间）后，为了再次正确重新分配轴承中的润滑脂，有 必要通过慢启动模式再次启动泵。 请参阅控制器的相关说明手册，以找到激活"慢启动"模式的适当说明集（远 警告 程：技术信息-控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含 义的章节）。 清洗 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 的外表面只能用温和的洗涤剂清洗。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 131 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 20 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 132 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 133: 取扱説明書

    TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け フォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF の起動開始と操作 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を停止する 緊急停止 メンテナンス ローターの寿命 ソフトスタート クリーニング 処分 サービス Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 134: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、TwisTorr 305 FSQ & 305 SF の使用方法をユーザーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を使用する人員がすべて安全に使用でき、また 注 機器使用寿命中に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されていま す。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 135: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害 警告 につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示 しています。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能 注意 性を示しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を 注 提供しています。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 136: 警告の記号

    取扱説明書 警告の記号 下記は、TwisTorr 305 FSQ & 305 SF上の警告と併せて表示される記号のリストで す。危険性の説明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： CE適合宣言書 直流 触らないでください 製造所 電源オフ 包括的な危険 電源オン 保護接地端子 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 137 取扱説明書 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありま す。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のため に、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。. 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。. 保護接地端子 触らないでください 主要コネクター CE認証 CSA 認証 EU RoHS指令認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 138: 安全性

    このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監 督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC）の情報を含みま す。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に 予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能 性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不 順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・ 損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 139: 不適切な使用

    性ガスや酸化ガスとともに使用されるポンプ」を参照ください） 爆発性のガスをポンプすること  凝縮した蒸気をポンプすること  液体をポンプすること  粉末をポンプすること  不適切な高ガス量での操作  不適切な高圧補助真空での操作  実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリテ  ィでの操作 不適切な高レベルの断熱材料での操作  不適切な高い磁界での操作  不敵な高い通気率での通気  圧力を生じさせるための真空ポンプの使用  電離放射線の範囲内での機器の操作  潜在的に爆発性がある範囲での操作  衝撃のある圧力や振動または定期的な力が機器に影響するシステム内での機  器の使用 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 140: 保護用装備

    一般的に、操作者は TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を操作している時や取り付けの 時に事故防止の靴を着用しなくてはなりません。 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 警告 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物 質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を 着用してください。 装置の落下による損傷のリスク。 警告 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 • 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなけ ればなりません。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 141: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン

    取扱説明書 注意 鋭い縁による損傷のリスク。 ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常に鋭くなっています。 • ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り 外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 • 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 • 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定 の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。 ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されて いるどの部分へも放出されています。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された 警告 取り付けの指示に厳密に従ってください！ Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 142: 移送＆保管

    取扱説明書 移送＆保管 アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証するため、凝縮 を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりません： ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過してはいけません：  温度範囲： -40 °C から 70 °Cまで  相対湿度範囲： 0 から 90 %まで（結露なし）  ターボ分子ポンプの保存可能期間は出荷日から12ヶ月です.  お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ分子ポンプ  は常にゆっくりと開始されなければなりません. ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは常にゆっく  りと開始されなければなりません. もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場へ返送さ 注意 れなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報を お問い合わせください。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 143: 製品説明

    取扱説明書 製品説明 この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象としています。 TwisTorr 305 FSQ & 305 SFは、腐食性でないガスや酸化性でないガス、またはガ ス混合物のどんなタイプでもポンプ可能な、高真空・超高ターボ真空装置です。 ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大60600 rpm） により得られます。 汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適です。 より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されています。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 144: 取り付け

    TwisTorr 305 FSQ & 305 SFは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこ れに輸送中に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売営業所へお 問い合わせください。 落下等によるTwisTorr 305 FSQ & 305 SFへの突然の衝撃は避けてください。長期間 の保存または輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意くださ い。 許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は100% リサイ クルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。. ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取り扱わな 注意 いでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用ください。 通常環境への露出は、TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を損傷しません。しかしながら、 注 ちり・ホコリによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り付けられるま でビニールの袋に密閉して保管することが推奨されます。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 145 取扱説明書 图 21 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF の梱包 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 146: セットアップ

    取扱説明書 セットアップ システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保護キャッ 注意 プを取り外さないでください。 图 22 この機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質（雨、氷、 雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、または爆発の可能性があ る環境、または燃えやすい環境下では使用しないでください. 操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません： 最大環境気圧：大気圧上 2 バール  温度：+5 °C から +35 °C まで  相対湿度： 0 – 90 % （結露なし）  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 147: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf 実装

    TwisTorr 305 FSQ & 305 SFはどんな位置でも取り付けることができます。 TwisTorr 305 FSQ & 305 SFを暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの 耐荷重の接続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめま す。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウ ェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。 更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF は、その基部またはインレットではない他のフラン 注意 ジを介して固定することはできません。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 148: 高真空フランジの接続

    取扱説明書 高真空フランジの接続 もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空フランジを 留めているハードウェアにより吸収されなければいけません。 ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけません. 必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法でポ 警告 ンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、材料、ボ ルト、ボルトの固定トルクに注意してください。 高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。 もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空チェ 警告 ンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に TwisTorr 305 FSQ & 305 SF がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があり ます。異なるフランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレン トは不適切な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負 いません。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 149: Iso-K フランジの取り付け

    取扱説明書 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデル IC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプションとし て保護スクリーンを使用できます）。 图 23 必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 100 フランジ – 4個  ISO 160 フランジ – 4個  22 Nmのトルクでボルトを締めます。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 150: フォア真空ポンプの接続

    取扱説明書 フォア真空ポンプの接続 フォアラインの接続は、TwisTorr 305 FSQ & 305 SF上に提供されるKF 16 NW フ ランジを使用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空定格ホー スまたはパイプで行うこともできます。もし硬いパイプが使用された場合、機械 ポンプにより発生したいかなる振動も、下記の使用により減衰されなければなり ません。 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF は、 その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械 注 油密封式ポンプを使用する時、 オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるために、 ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けることを推奨し ます。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 151: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf の起動開始と操作

    Twistorr 305 FS 搭載 24V 87-901-060-01 X3507-64131 Twistorr 305 FS 搭載 110/230V 87-901-060-01 X3506-64130 Twistorr 305 FS AG リモート RS232/485 87-901-059-01 X3506-64131 Twistorr 305 FS AG リモート Profibus 87-901-059-01 ポンプの最初の起動開始は、「ソフトスタート」モードです；このモード 警告 のより詳細な情報は、特化したセクションの 154 ページを参照してくださ い。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 152: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf を停止する

    取扱説明書 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF を停止する ポンプが作動している時にポンプを停止するには、ポンプを駆動しており、それ に接続されているコントロールユニットを作動してください。 シリアル通信コマンドやリモートI/O信号を経由してポンプを停止することも可能 です。 一連の適切な使用方法を探すには、コントローラーの関連する説明マニュアルを 参照してください(リモートについて： 技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意味；搭載について ；技術的情報の章 – 相互接続 & ウィンドウの 意味). 緊急停止 電源供給を切ることにより緊急停止します. これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使用 警告 は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。この停止モ ードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 153: メンテナンス

    システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気弁でポ 警告 ンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50° C 以下になるまで待ってください。 ポンプが故障した場合、アジレントの修理サービスまたは、故障したシステムを 取り替えてお客様へ再製造のシステムを提供する「アジレント最新交換サービ ス」を利用することができます。 交換の305FSQ＆SFは、注文が行われた後に郵送されます。 そして、交換の305 FSQ＆SFが入っている梱包箱に、故障した305 FSQ＆SFを入れ返送してください. 製造者へ修理または最新交換サービスのためにポンプを返送する前に、この説明 注 マニュアルに添付されている「返品の申請」フォームを記入し、現地の販売事務 所へ送信する必要があります。システムの梱包に、郵送する前に同フォームのコ ピーを入れてください。 もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の条例に従う ようご確認ください. ローターの寿命 理論的評価によるTwisTorr 305 FSQ & 305 SFターボ分子ポンプローターの疲労抵 抗は、停止状態から最大速度、さらに停止までの、ランプの405000サイクルで す。 予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れると、アジレン トは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨します。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 154: ソフトスタート

    用者は、ポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるまで待たなけ ればなりません。 初回の開始後は、ポンプは再度コントロールユニットによるソフトスタ ートモードにはなりません。 長期間の不稼働状態（60日間またはそれ以上）の後、軸受に残存している潤滑油 の適切な再分配を可能するには、再度ソフトスタートモードでポンプを開始する 必要があります。 ソフトスタート」モダリティを有効にする一連の適切な使用方法を探すに 警告 は、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照してください（リモ ートについて： 技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意 味；搭載について ；技術的情報の章 – 相互接続 & ウィンドウの意味）。 クリーニング TwisTorr 305 FSQ & 305 SFの外側表面 は中性洗剤でのみ、お手入れをすることが できます。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 155 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 24 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 156: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されていま す）。 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 157: Instructions For Use

    TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Stopping the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Emergency stop Maintenance...

  • Página 158: About This Manual

    About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Página 159: Definitions And Terminology

    Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could CAUTION cause damage to the equipment. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 160: Warning Symbols

    The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may...
  • Página 161 The following symbols appear on the instrument for your information. Protective Ground Terminal Do Not Touch Main connector CE certification CSA certification Restriction of Hazardous Substances certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 162: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Página 163: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ...

  • Página 164: Protective Equipment

    In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF and during installation. Danger to health by hazardous substances during maintenance or WARNING installation.

  • Página 165: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 166: Transport & Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for information. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 167: Product Description

    This equipment is intended for professional use and to be used by professionals. The TwisTorr 305 FSQ & 305 SF is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.

  • Página 168: Installation

    Instructions for Use Installation Preparation for installation The TwisTorr 305 FSQ & 305 SF is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the 305 FSQ & SF that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
  • Página 169 Instructions for Use Figure 25 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF packaging Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 170: Set-Up

    During operation, the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation: maximum ambient pressure: 2 bar above atmospheric pressure  temperature: from +5 °C to +35 °C  relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing).  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 171: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf Mounting

    The TwisTorr 305 FSQ & 305 SF can be installed in any position. Fix the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.

  • Página 172: Connection Of The High Vacuum Flange

    The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 173: Installation Of Iso-K Flange

    Figure 27 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange  4 for ISO 160 flange  Tighten the bolts with a torque of 22 Nm. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 174: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be damped through the use of bellows.

  • Página 175: Startup And Operation Of The Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305 FSQ & 305 To turn on the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF via the on board controllers or the remote controllers, connect the pump to the controller, supply the controller with the proper supply voltage and then act on the "START"...

  • Página 176: Stopping The Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    This mode is to be used only in an emergency. The use of this stop mode WARNING could lead to faults and/or damages at the pump. Improper use of this stop mode could void the warranty. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 177: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance The TwisTorr 305 FSQ & 305 SF does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the power WARNING supply, vent the pump with the vent valve, wait until the rotor is completely stopped and wait until the surface temperature of the pump is below 50°...

  • Página 178: Soft Start

    Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Cleaning The exterior surface of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF may be cleaned with mild detergent only. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 179: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 28 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 180: Service

    Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 181: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Technical specification TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Outline Interconnections Earth (Ground) Connection Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps)

  • Página 182: Description Of The Twistorr 305 Fsq & 305 Sf

    Technical Information Description of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF The TwisTorr 305 FSQ & 305 SF consists of a high frequency induction motor driving a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 MacroTorr drag stages. The turbine rotates in a counterclockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Página 183 The connection of the fore-vacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF25 – optional). The TwisTorr 305 FSQ & 305 SF is available in various models that differ in the high vacuum flange.
  • Página 184 The following figures shows the 2 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings. Figure 29 Model X3513-64067 with air cooling fan Figure 30 Model X3513 64067 witout air cooling fan Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 185 Technical Information Figure 31 Model X3513-64068 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 186: Technical Specification

    Technical Information Technical specification The following tables list the main technical data of the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF. Table 1 TwisTorr 305 FSQ (X3513-64068) - Technical Specification Technical data TwisTorr 305 FSQ (X3513-64068) Pumping speed ISO 100 250 l/s...
  • Página 187 3000 m The maximum magnetic field strengths allowed • 50 Gauss (5 mT) in the transveral direction for Agilent turbo pumps are: • 100 Gauss (10 mT) in the axial direction Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 188 Machinery Directive 2006/42/EC Electromagnetic Compatibility Directive 2014/30/EU Directive 2011/65/EU When the TwisTorr 305 FSQ has been stored at a temperature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before switch the TwisTorr 305 FSQ on.
  • Página 189 Technical Information Figure 32 Maximum allowed relative humidity as a function of the air temperature for each cooling-water temperature Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 190: Twistorr 305 Fsq & 305 Sf Outline

    Technical Information TwisTorr 305 FSQ & 305 SF Outline The following figures show the 305 FSQ & SF (dimensions are in mm [inches]). Figure 33 TwisTorr 305 FSQ ISO100 Standalone Air-X3513-64067 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 191 Technical Information Figure 34 TwisTorr 305 SF ISO100 Standalone Air-X3513-64067 with air cooling Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 192 Technical Information Figure 35 TwisTorr 305 FSQ ISO100 Standalone Water-X3513-64068 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 193 Technical Information Figure 36 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 305 FSQ & 305 SF pump Figure 37 Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 305 FSQ & 305 SF pump Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 194 Technical Information Figure 38 Graph of Pumping Speed vs. Side port for TwisTorr 305 FSQ & 305 SF pump Figure 39 Graph of Iso Flow-Iso Power for TwisTorr 305 FSQ & 305 SF with Nitrogen gas (water cooling version with water temperature in range 15°C-20°C, backing pump 11.6 m /h p Agilent TwisTorr 305 FSQ &...

  • Página 195: Interconnections

    Technical Information Interconnections The following figure shows the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF interconnections. EARTH GROUND FORELINE CONTROLLER CONNECTOR FORELINE CONTROLLER CONNECTOR Figure 40 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 196: Earth (Ground) Connection

    (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump. The screw must be fixed with a 2 Nm torque. The impedance between the pump-body and the earth connection point must be < 0.1 Ω Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 197: Pump Operations

    Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6’’)  9699304 (CFF 8’’)  X3500-68000 (ISO 100)  X3500-68001 (ISO 160  Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 198 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 43 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 199 Technical Information Figure 44 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 200: Air Cooling Kit Installation

    119 x 119 x 32 mm (4.7 x 4.7 x 1.3 in.)  power: 2.6 W  Figure 45 The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 201 Technical Information To fix the fan to the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan kit to the suitable bracket by means of the furnished screws Fix the bracket to the pump body.

  • Página 202: Water Cooling Kit Connection (Only For Water Cooling Pumps)

    The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 47 Model 9699337 Figure 48 Model 9699347 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 203 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the following figure. Figure 50 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 204 50 l/h (0.22 GPM). The max water inlet pressure must be lower than 5 bar. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductivity is NOTE higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is recommended. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 205: Vent Accessories

    Vent Accessories The vent valve and vent device enable an automatic vent operation. TwisTorr 305 FSQ & 305 SF compatible Vent Valve mod. 9699834 – 9699834M006 – 9699844 – 9699845 – 9699846 – 9699847). Figure 51 Vent valve for Remote Controll Figure 52 Vent valve for Onboard Controller Agilent TwisTorr 305 FSQ &...
  • Página 206 The vent kit shown in the picture is the 9699834 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 207: Pump Used With Corrosive And Oxidizing Gases

    Turbo pump, with the chamber or the Turbo vent valve open, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept open, the backing pump should be left operating. Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 208 Technical Information Figure 55 Purge layout Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 209: Purge Valve Installation

    Figure 56 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 57 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...

  • Página 210: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    9699334 for CFF 6” flange;  model 9699335 for CFF 8” flange.  They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 305 FSQ & 305 SF to the system by a factor of 20. Controller Operations Please refer to the selected controller manual.

  • Página 211: Accessories And Spare Parts

    Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M015 Small TMP air cooling kit ext cable (5 m) 9699940 Vent Valve Extension cable (5 m) 9699941 Turbopump extension cable (for remote controller only) 9699942M005 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 212 The communication S/W between the controller and the pump (A-Plus) is available NOTE on the Agilent website: https://www.agilent.com/en/products/vacuum-technologies/vacuum-leak- detection-software/a-plus-software The connection is provided through serial communication or via RS232 SERIAL to B/T Adapter (X3514-68003). Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual...
  • Página 218 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2020 Edition A.00, 11/20 *D0006288* D0006288...

Este manual también es adecuado para:

Twistorr 305 sf

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