Agilent Technologies Turbo-V 750 Manual De Instrucciones
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Agilent Technologies Turbo-V 750 Manual De Instrucciones

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Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-901-020-01 (A)
04/2011
Turbo-V 750/850
TwisTorr
Pump models: 969-6013, 969-6014,
969-6015, 969-6016, 969-6017, 969-6018,
969-6019
Pumping System models: 969-8813,
969-8814, 969-8815, 969-8816, 969-8818,
969-8819
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

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Manuales relacionados para Agilent Technologies Turbo-V 750

Resumen de contenidos para Agilent Technologies Turbo-V 750

  • Página 1 Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump models: 969-6013, 969-6014, 969-6015, 969-6016, 969-6017, 969-6018, 969-6019 Pumping System models: 969-8813, 969-8814, 969-8815, 969-8816, 969-8818, 969-8819 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití...

  • Página 2: Trademarks

    Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 3 Turbo-V 750/850 TwisTorr Turbo-V 750/850 TwisTorr Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 3/406...
  • Página 4 Turbo-V 750/850 TwisTorr 4/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 5: Tabla De Contenido

    Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16  Informazioni Generali 17  Immagazzinamento 19  Preparazione per l’installazione 20  Installazione 22  Fissaggio della pompa 23  Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 25  Manutenzione 30  Smaltimento 31  Gebrauchsanleitung 33  Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 34  Allgemeine Informationen 35  Lagerung 37 ...
  • Página 6 Indications generales 53  Stockage 55  Preparation pour l‘installation 56  Installation 58  Fixation de la pompe 59  Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system 61  Entretien 67  Mise au rebut 68  Manual de istrucciones 69  Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 70 ...
  • Página 7 Algemene informatie 109  Opslag 111  Uitpakken 112  Installatie 114  Bevestiging van de pomp 115  Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 117  Onderhoud 123  Afvalverwerking 124  Istruktionsbog 125  Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 126  Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 8 Contents Generel Information 127  Opbevaring 129  Forberedelse før installation 130  Installation 132  Fastgørelse af pumpe 133  Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 135  Vedligeholdelse 141  Bortskaffelse 142  Bruksanvisning 143  Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 144  Allmän Information 145  Förvaring 147 ...
  • Página 9 Contents Klargjøre til installasjon 166  Installasjon 168  Festing av pumpen 169  Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 171  Vedlikehold 176  Eliminering 177  10 Ohjekäsikirja 179  Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 180  Yleisiä tietoja 181  Varastointi 183  Valmistelut asennusta varten184  Asennus 186  Pumpun kiinnitys 187 ...
  • Página 10 Contents A szivattyú rögzítése 205  A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata 207  Karbantartás 212  Megsemmisítés 213  12 Podrecznik Instrukcji 215  Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 216  Ogólne informacje 217  Magazynowanie 219  Przygotowanie do instalacji 220  Instalacja 222  Mocowanie pompy 223 ...
  • Página 11 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 270  Splošne informacije 271  Shranjevanje 273  Priprava za montažo 274  Montaža 276  Pritrjevanje črpalke 277  Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 279  Vzdrževanje 284  Odlaganje opadkov 285  Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 11/406...
  • Página 12 287  Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 288  General Information 289  Storage 291  Preparation for Installation 292  Installation 294  Pump Fixing 295  Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 297  Maintenance 302  Disposal 303  17 Technical Information 305  Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr 308 ...
  • Página 13 Connection of the Fore-Vacuum Pump 386  Connection to the Pump 387  Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging 388  Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 393  Pump used in Presence of Magnetic Fields 397  Accessories and Spare Parts 398 ...
  • Página 14 Contents 14/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 15: Istruzioni Per L'uso

    Informazioni Generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 23 Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 25 Come avviare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Come arrestare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Arresto di Emergenza 29...

  • Página 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 17: Informazioni Generali

    Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
  • Página 18 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 19: Immagazzinamento

    10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 19/406...

  • Página 20: Preparazione Per L'installazione

    Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
  • Página 21 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 L’imballo del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System comprende: Pompa con controller integrato Inlet screen (montato) Questo manuale di istruzioni su CD-ROM Scatola accessori: controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL”...

  • Página 22: Installazione

    0 – 90 % (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema nell’appendice "Technical Information") 22/406...

  • Página 23: Fissaggio Della Pompa

    Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una connessione capace di resistere ad una coppia di 8000 Nm attorno al proprio asse.
  • Página 24 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System non può essere fissato mediante NOTA la sua base. Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System appartiene alla seconda categoria ATTENZIONE! (o sovratensione) di installazione, secondo la direttiva EN 61010 1. Effettuare il collegamento del dispositivo alla linea d’alimentazione in modo da soddisfare i...

  • Página 25: Uso Del Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.

  • Página 26: Come Avviare Il Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information"). Per avviare il sistema eseguire i seguenti passi: rimuovere (se presente) il controconnettore I/O di sistema; per accendere il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System è necessario fornire una tensione a 48 Vcc mediante un Alimentatore esterno (969-6521);...
  • Página 27 La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autorizzato dalla Agilent Vacuum Technologies. Quando si avvia il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System dopo un periodo NOTA di fermo prolungato, prima di avviare il sistema, deve essere attivata la speciale funzione SOFT START.

  • Página 28: Come Arrestare Il Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Come arrestare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi: togliendo il controconnettore di I/O in dotazione inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –...

  • Página 29: Arresto Di Emergenza

    Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Arresto di Emergenza Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System occorre staccare il cavo di alimentazione dall’alimentazione. Occorre però tenere conto che questa operazione oltre a disabilitare completamente l'alimentazione della pompa disabilita anche tutte le altre funzionalità...

  • Página 30: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Página 31: Smaltimento

    Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 31/406...
  • Página 32 Istruzioni per l’uso Smaltimento 32/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 33: Gebrauchsanleitung

    Allgemeine Informationen 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems43 Wie man das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startet 45 Wie man dasTurbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System anhält 47 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen...

  • Página 34: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 34/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 35: Allgemeine Informationen

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht...
  • Página 36 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 36/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 37: Lagerung

    Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 37/406...

  • Página 38: Vor Der Installation

    Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kann durch die Umgebung an HINWEIS sich keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
  • Página 39 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 Die Verpackung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems besteht aus: Pumpe mit integriertem Controller Zulaufsiebung (montiert) Dieses Bedienungshandbuch auf CD-ROM Schachtel mit Zubehör: Gegenstecker 15-fach “REMOTE I/O” IP-54 mit den notwendigen Anschlüssen, um die Pumpe zu starten Gegenstecker 9-fach “SERIAL”...

  • Página 40: Installation

    Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 90 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). 40/406...

  • Página 41: Befestigung Der Pumpe

    Rotorschadens das Abtrennen der Pumpe vom System hervorrufen und damit Schäden, schwere Verletzungen oder Tod verursachen. Das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kann in jeder Position installiert werden. Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 8.000 Nm um die eigene Achse standhalten.
  • Página 42 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kann nicht mittels seiner Basis HINWEIS befestigt werden. Das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System gehört zur zweiten Kategorie VORSICHT! (oder Überspannung) der Installation nach der Richtlinie EN61010 1. Den Anschluss der Vorrichtung unter Einhaltung der Anforderungen dieser Kategorie ausführen.

  • Página 43: Nutzung Des Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping Systems

    Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems In diesem Absatz sind die wichtigsten Arbeitsschritte beschrieben. Bevor man das System verwendet, alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse ausführen. Während des eventuellen Erhitzens der Vakuumkammer darf die Temperatur auf dem Eingangsflansch die 80 °C nicht überschreiten.
  • Página 44 Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Wenn die Pumpe in Betrieb ist, Stöße, Schwingungen oder brüske VORSICHT! Verschiebungen vermeiden. Die Lager könnten beschädigt werden. Für die Luftzufuhr der Pumpe inerte Luft oder Gas, frei von Staub und Teilchen, verwenden.

  • Página 45: Wie Man Das Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Startet

    Spannung von 48 V DC zu liefern, dies mittels eines externen Speisers (969-6521); Den Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen; Dem Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System das START- Signal auf eine der folgenden Arten geben: Den mitgelieferten Gegenstecker I/O anschließen Ferngesteuert das START-Signal geben mittels Stecker I/O (siehe Absatz "J1 –...
  • Página 46 Rampe, am Bremsen oder am Stoppen oder “Waiting for interlock”; Schnell blinkend (Zeit etwa 200 ms): Fehlerzustand. WARNUNG! Das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startet automatisch, wenn es gespeist wird und der 15-Pin-Gegenstecker eingeschaltet ist. Der Controller wird schon mechanisch und elektrisch an der Pumpe VORSICHT! angeschlossen geliefert.

  • Página 47: Wie Man Dasturbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Anhält

    Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Um den Stand des Schutzgrades IP-54 beizubehalten, muss man ausschließlich HINWEIS die mit der Pumpe mitgelieferten Stecker verwenden. Für das Speisekabel nur die PN benutzen: 969-9957 oder 969-9958. Dieses Kabel und den Stecker an eine angemessen geerdete Buchse anschließen, um elektrische Schläge zu...

  • Página 48: Not-Aus

    Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Not-Aus Um im Notfall sofort das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System abzustellen, muss man das Speisekabel entfernen. Zu beachten ist, dass bei diesem Vorgang nicht nur die Versorgung der Pumpe vollständig unterbrochen wird sondern auch alle anderen Funktionen des Controllers, wie zum Beispiel die Verwaltung des kontrollierten Purgierens und Entlüftens und die Fähigkeit, mit dem Pumpensystem...

  • Página 49: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...

  • Página 50: Entsorgung

    Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 50/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 51: Mode D'emploi

    Indications generales 53 Stockage Preparation pour l‘installation 56 Installation Fixation de la pompe 59 Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system 61 Comment démarrer le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System62 Comment arrêter le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Arrêt d’urgence...

  • Página 52: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 52/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 53: Indications Generales

    "propre". Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander le groupe purge/évent supplémentaire, de le piloter à...
  • Página 54 Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 54/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 55: Stockage

    à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 55/406...

  • Página 56: Preparation Pour L'installation

    Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Preparation pour l‘installation Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
  • Página 57 Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Figure 1 Contenu de l’emballage du Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System: Pompe à contrôleur intégré Inlet screen (monté) Un mode d'emploi sur CD-ROM Boîte d'accessoires: contre-connecteur 15 voies "REMOTE I/O” IP-54 comprenant les connexions nécessaires pour démarrer la pompe contre-connecteur 9 voies “SERIAL”...

  • Página 58: Installation

    En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").

  • Página 59: Fixation De La Pompe

    Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System peut être installé dans n'importe quelle position. Fixer le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre- collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à...
  • Página 60 CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ne peut pas être fixé par la base. NOTA Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System appartient à la seconde catégorie ATTENTION! (ou surtension) d'installation, au sens de la directive EN 61010-1. Raccordez l'appareil au circuit d'alimentation dans le respect des exigences de la directive pour cette catégorie.

  • Página 61: Utilisation Du Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Ce paragraphe décrit les principales procédures d'utilisation. Avant d'utiliser le système, effectuez tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le réchauffement de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.

  • Página 62: Comment Démarrer Le Turbo-V 750/850 Twistorr

    Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Evitez les chocs, les oscillations et les déplacements brusques de la pompe ATTENTION! pendant son fonctionnement. Les roulements peuvent être endommagés. Pour l'alimentation en air de la pompe utilisez de l'air ou un gaz inerte exempt de poussière ou de particules.
  • Página 63 Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system démontez (si présent) le contre-connecteur E/S du système ; pour mettre en marche le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System, celui-ci doit être alimenté par une tension de 48 VCC par une alimentation externe (969-6521) ;...
  • Página 64 La dépose du contrôleur du corps de pompe ne peut être effectuée que par un personnel agréé par Agilent Vacuum Technologies. Quand le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System est mis en marche au NOTE terme d'une longue période d'inutilisation, la fonction spéciale SOFT START doit être activée avant la mise en marche.

  • Página 65: Comment Arrêter Le Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Comment arrêter le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pour arrêter la pompe, procédez selon une des modalités suivantes: retirez le contre-connecteur d'E/S fourni envoyez un signal de STOP depuis un dispositif de commande distant à...

  • Página 66: Arrêt D'urgence

    Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Arrêt d’urgence Pour arrêter le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System en urgence, débranchez le câble d'alimentation de l'alimentation. Rappelons que cette opération interrompt totalement l'alimentation électrique de la pompe et désactive toutes les fonctions du contrôleur, telles que la gestion de la purge et de l'évent et la capacité...

  • Página 67: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Página 68: Mise Au Rebut

    Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. 68/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 69: Manual De Istrucciones

    Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 74 Instalación Fijación de la bomba 77 Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Cómo poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 81 Cómo parar el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System...

  • Página 70: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 70/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 71: Información General

    El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.
  • Página 72 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 72/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 73: Almacenamiento

    En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 73/406...

  • Página 74: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System y de no someterlo a golpes o vibraciones.
  • Página 75 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 El embalaje del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System incluye: Bomba con controlador integrado Inlet screen (montado) Este manual de instrucciones en CD-ROM Caja de accesorios: contraconector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54 con las...

  • Página 76: Instalación

    Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). 76/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 77: Fijación De La Bomba

    El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se puede instalar en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System en posición estable, montando la brida de entrada de la...
  • Página 78 CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System no se puede fijar desde su base. NOTA El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pertenece a la segunda categoría ¡ATENCIÓN! (o sobretensión) de instalación, según la directiva EN 61010 1. Realizar la conexión del dispositivo a la línea de alimentación respetando los requerimientos...

  • Página 79: Uso Del Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System En este apartado se presentan los procedimientos operativos principales. Antes de utilizar el sistema, realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el calentamiento eventual de la cámara de vacío, la temperatura en la brida de entrada no debe ser superior a 80 °C.
  • Página 80 Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Evitar choques, oscilaciones o desplazamientos bruscos de la bomba cuando ¡ATENCIÓN! está en funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para hacer funcionar la bomba, utilizar aire o gas inerte libre de polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta correspondiente, debe ser inferior a 2 bar (más las...

  • Página 81: Cómo Poner En Funcionamiento El Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Alimentador externo (969-6521); llevar la presión en el interior de la cámara de vacío a 0,1 mbar; dar la señal de START al Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System de una de las siguientes maneras: conectar el contraconector E/S en dotación dar la señal de START a distancia mediante el conector E/S...
  • Página 82 ¡ADVERTENCIA! Cuando se suministra la alimentación y el contraconector de 15 pines en dotación está conectado, el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se pone en funcionamiento automáticamente. El controlador se suministra ya conectado mecánica y eléctricamente a la ¡ATENCIÓN!
  • Página 83 Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Antes de poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping NOTA System después de un período de detención prolongado, se debe activar la función especial SOFT START. El sistema se pone en funcionamiento gradualmente hasta alcanzar la máxima velocidad en un tiempo de...

  • Página 84: Cómo Parar El Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Cómo parar el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Para parar la bomba, se puede emplear uno de los siguientes métodos: desconectar el contraconector de E/S en dotación enviar la señal de STOP a distancia, mediante el conector E/S (consultar el apartado "J1 –...

  • Página 85: Parada De Emergencia

    Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Parada de Emergencia Para parar inmediatamente en situaciones de emergencia el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System, se debe desconectar el cable de alimentación de la tensión. Sin embargo, se debe tener en cuenta que esta operación, además de inhabilitar completamente la alimentación...

  • Página 86: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Página 87: Eliminación

    éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 87/406...
  • Página 88 Manual de istrucciones Eliminación 88/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 89: Manual De Istruções

    Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 90 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 97 Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como arrancar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como parar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Paragem de Emergência Manutenção...

  • Página 90: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 90/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 91: Informações Gerais

    às normas nacionais específicas. O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
  • Página 92 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 92/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 93: Armazenagem

    é de 10 meses a contar da data da expedição Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 93/406...

  • Página 94: Preparação Para A Instalação

    CUIDADO! componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System não pode ser danificado NOTA permanecendo simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
  • Página 95 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 A embalagem do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System contém: Bomba com controller integrado Inlet screen (montado) Este manual de instruções em CD-ROM Caixa de acessórios: contra-conector de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 contendo com as conexões necessárias para arrancar a bomba...

  • Página 96: Instalação

    Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). 96/406...

  • Página 97: Fixação Da Bomba

    O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pode ser instalado em qualquer posição. Colocar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System em posição estável, fixando o flange de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema, com uma ligação que resista...
  • Página 98 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System não pode ser fixado pela sua NOTA base. O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pertence à segunda categoria (ou CUIDADO! sobretensão) de instalação, de acordo com a directiva EN 61010 1. Realizar a conexão do dispositivo na linha de alimentação de modo a satisfazer os...

  • Página 99: Uso Do Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Neste parágrafo são apresentados os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, realizar todas as conexões eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
  • Página 100 Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Evitar golpes, oscilações ou deslocamentos bruscos da bomba quando a CUIDADO! mesma estiver em funcionamento. Os rolamentos poderiam danificar-se. Para o envio de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada pela porta adequada deve ser inferior a 2 bar (além da...

  • Página 101: Como Arrancar O Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    "J1 – REMOTE I/O" no apêndice "Technical Information"). Para arrancar o sistema, realizar os seguintes passos: remover (se presente) o contra-conector I/O do sistema; para ligar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System é necessário fornecer uma tensão de 48 Vcc através de um Alimentador externo (969-6521);...
  • Página 102 O controller pode ser separado do corpo da bomba exclusivamente por pessoal autorizado pela Agilent Vacuum Techmologies. Quando o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System é arrancado após um NOTA período de pausa prolongada, antes de arrancar o sistema deve-se activar a função especial SOFT START.

  • Página 103: Como Parar O Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como parar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes métodos: retirar o conta-conector I/O fornecido com o equipamento enviar um sinal de STOP à distância mediante o conector I/O (ver o parágrafo "J1 –...

  • Página 104: Paragem De Emergência

    Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Paragem de Emergência Para parar imediatamente o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System em condições de emergência, é necessário desconectar o cabo de alimentação da rede. No entanto, é necessário considerar que esta operação, além de desabilitar completamente a alimentação da...

  • Página 105: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Página 106: Eliminação

    Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. 106/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 107: Bedrijfshandleiding

    Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 108 Algemene informatie 109 Opslag 111 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 115 Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Inschakelen van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 119 Uitschakelen van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 121 Noodstop...

  • Página 108: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 108/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 109: Algemene Informatie

    Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
  • Página 110 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 110/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 111: Opslag

    Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 111/406...

  • Página 112: Uitpakken

    Zorg er bij het uitpakken voor dat het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
  • Página 113 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 De verpakking van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System bevat: Pomp met ingebouwde controller Inlet screen (gemonteerd) Deze handleiding op CD-ROM Doos met toebehoren: 15-polige contraconnector “REMOTE I/O” IP-54 met ingebouwde verbindingen voor het starten van de pomp 9-polige contraconnector “SERIAL”...

  • Página 114: Installatie

    0 – 90 % (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information").

  • Página 115: Bevestiging Van De Pomp

    Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig het Turbo-V 750/850 TwisTorr...
  • Página 116 Controleer of het apparaat dat op het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is aangesloten goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.

  • Página 117: Gebruik Van Het Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System In deze paragraaf worden de belangrijkste bedrijfsprocedures vermeld. Alvorens het systeem te gebruiken moeten alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand worden gebracht.
  • Página 118 Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de pomp wanneer VOORZICHTIG! deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen.

  • Página 119: Inschakelen Van Het Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    48 Vcc via een externe voedingseenheid (969-6521); breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar; geef het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System op een van de volgende manieren het START-signaal: sluit de bijgeleverde I/O-contraconnector aan geef een remote START-signaal via de I/O-connector (zie paragraaf "J1 –...
  • Página 120 De controller mag alleen van het pomphuis worden gescheiden door personeel dat door Agilent Vacuum Technologies werd geautoriseerd. Bij inschakeling van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System na een OPMERKING lange periode van stilstand, moet de speciale SOFT START functie geactiveerd worden voordat het systeem wordt gestart.

  • Página 121: Uitschakelen Van Het Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Om het beschermingsniveau IP-54 te behouden moeten uitsluitend de bij de OPMERKING pomp geleverde connectoren worden gebruikt. Gebruik voor de voedingskabel alleen de PN: 969-9957 of 969-9958. Gebruik deze kabel en stekker samen met een goed geaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en aan de vereisten van de EG-normen te voldoen.

  • Página 122: Noodstop

    Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Noodstop Om het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System in noodomstandigheden onmiddellijk te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de voedingseenheid afgekoppeld worden. Houd er echter rekening mee dat hierdoor behalve de voeding van de...

  • Página 123: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.

  • Página 124: Afvalverwerking

    124/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 125: Istruktionsbog

    Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 133 Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Start af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 136 Stop af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 139 Nødstop Vedligeholdelse 141 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne...

  • Página 126: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er ADVARSEL! det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 126/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 127: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (49500 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
  • Página 128 I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 128/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 129: Opbevaring

    De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 129/406...

  • Página 130: Forberedelse Før Installation

    Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. ADVARSEL! Nogle modeller vejer over 18 kg (modellerne 969-8814, 969-8816, 969-6014, 969-6016, 969-6017).
  • Página 131 Istruktionsbog Forberedelse før installation Figur 1 Emballagen for Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System indeholder: Pumpe med indbygget kontroller. Indgangsskærm (monteret). Denne instruktionsmanual på cd-rom. Kasse med tilbehør: Modstik med 15 stikben “REMOTE I/O” IP-54, med den alle de nødvendige stikforbindelser til at starte pumpen indbygget.

  • Página 132: Installation

    Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). 132/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 133: Fastgørelse Af Pumpe

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan installeres i en hvilken som helst position. Montér Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på...
  • Página 134 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System må ikke fastgøres vha. dets sokkel. BEMÆRK Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System tilhører installationskategori to (eller FORSIGTIG! overspænding) iht. standarden EN 61010 1. Tilslut anordningen til strømforsyningen således at rekvisitterne for denne kategori opfyldes.

  • Página 135: Brug Af Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System I dette afsnit beskrives de vigtigste operative procedurer. Alle de elektriske og pneumatiske tilslutninger skal udføres, før systemet tages i brug. Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må...

  • Página 136: Start Af Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information"). For at starte systemet udføres de følgende trin: Fjern (hvis tilstede) systemets I/O-modstik. For at få adgang til Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System skal der leveres en spænding på 48 Vcc vha. en ekstern strømforsyning (969-6521).
  • Página 137 Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Ved at give START-signalet via fjernbetjening gennem den serielle grænseflade RS 232/485 (se afsnit "RS 232/485 Communication Description” i bilaget "Technical Information"). Den Indbyggede kontroller genkender automatisk tilstedeværelsen af signalerne INTERLOCK og START og starter pumpen.
  • Página 138 Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Når man starter Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System efter en længere BEMÆRK inaktivitetsperiode, skal man aktivere specialfunktionen SOFT START, før systemet startes. Systemet startes i gradvise trin, indtil det opnår fuld hastighed efter cirka 35 minutter.

  • Página 139: Stop Af Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Stop af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pumpen kan stoppes på en af de følgende måder: ved at trække det medfølgende I/O-modstik ud, ved at sende STOP-signalet via fjernbetjening gennem I/O-stikket (se afsnit "J1 – REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information").

  • Página 140: Nødstop

    Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Nødstop For omgående at stoppe Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System i nødstilfælde skal man frakoble strømforsyningskablet. Man skal dog være opmærksom på at denne handling, udover at afbryde forsyningen af pumpen fuldstændigt, også inaktiverer alle kontrollerens andre funktioner, som f.eks.

  • Página 141: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Página 142: Bortskaffelse

    Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. 142/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 143: Bruksanvisning

    Förberedelser för installationen 148 Installation Fastsättning av pump 151 Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 153 Hur Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startas 154 Hur Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System stängs av 157 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna...

  • Página 144: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 144/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 145: Allmän Information

    Systemet Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System bestär av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet. Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar.
  • Página 146 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 146/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 147: Förvaring

    De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 147/406...

  • Página 148: Förberedelser För Installationen

    Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p OBSERVER! g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 750/850 TwisTorr OBSERVERA Pumping System. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i...
  • Página 149 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Figur 1 I förpackningen för Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System finns följande: Pump med integrerad kontrollenhet Inlet screen (monterad) Instruktionsboken på CD-ROM Låda med tillbehör. 15-vägs motkontakt “REMOTE I/O” IP-54 med integrerade nödvändiga anslutningar för start av pumpen 9-vägs motkontakt “SERIAL”...

  • Página 150: Installation

    0 – 90 % (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). 150/406...

  • Página 151: Fastsättning Av Pump

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan installeras i vilken som helst position. Fäst Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 8000 Nm kring sin axel.
  • Página 152 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan installeras i med hjälp av sitt OBSERVERA fundament. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System tillhör den andra installationsklassen OBSERVER! (eller överspänning), enligt direktivet EN 61010 1. Anslut anordningen till strömförsörjningen för att uppfylla kraven som förutses för denna klass.

  • Página 153: Användning Av Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Detta avsnitt innehåller de huvudsakliga funktionsprocedurerna. Innan du använder systemet, utför alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, får temperaturen på ingångens fläns inte överstiga 80 °C.

  • Página 154: Hur Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Startas

    Information"). För att starta systemet, utför följande steg: ta bort (i förekommande fall) systemets motkontakt I/O; för att sätta på Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System måste en spänning på 48 V likström förutses genom ett extert nätaggregat (969-6521); ställ trycket i vakuumkammaren på 0,1 mbar;...
  • Página 155 (period på ungefär 200 ms); feltillstånd. VARNING! När strömförsörjningen sätts på och den 15-vägs motkontakten som medföljer sätts i, startas Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System automatiskt. Kontrollenheten levereras redan mekaniskt och elektriskt ansluten till pumpen. OBSERVER! Separeringen av kontrollenheten från pumphuset kan endast göras av en auktoriserad personal från Agilent Vacuum Technologies.
  • Página 156 Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System När Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startas efter ett längre OBSERVERA stillastående, innan systemet startas, skall den speciella funktionen SOFT START aktiveras. Systemet startas stegvis till en maximal hastighet inom en tid på...

  • Página 157: Hur Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Stängs Av

    Koppla från elkabeln innan ett underhåll utförs inuti enheten. Nödstopp För ett omedelbart nödstopp av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System, koppla från elkabeln från strömförsörjningen. Kom dock ihåg att denna operation stänger av strömförsörjningen till pumpen och inaktiverar även kontrollenhetens alla funktioner, som till exempel...

  • Página 158: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.

  • Página 159: Bortskaffning

    återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 159/406...
  • Página 160 Bruksanvisning Bortskaffning 160/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 161: Instruksjon Manual

    Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 163 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Hvordan starte Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Hvordan stanse Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen...

  • Página 162: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 162/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 163: Generell Informasjon

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System systemet består av en turbo- molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening.
  • Página 164 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 164/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 165: Lagring

    Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres FORSIKTIG! til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 165/406...

  • Página 166: Klargjøre Til Installasjon

    Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. ADVARSEL! Noen modeller veier mer enn 18 Kg (modellene 969-8814, 969-8816, 969-6014, 969-6016, 969-6017.
  • Página 167 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 Emballasjen til Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System inkluderer: Pumpe med innebygd controller Inlet screen (montert) Denne bruksanvisningen på CD-ROM Eske med tilbehør: 15-veis motkoblingsstykke “REMOTE I/O” IP-54 med de koblingene som er nødvendige for å sette pumpen i gang innebygd 9-veis motkoblingsstykke “SERIAL”...

  • Página 168: Installasjon

    0 – 90 % (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical information"). 168/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 169: Festing Av Pumpen

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan installeres i hvilken som helst posisjon. Fest Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System i en stabil posisjon, monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å tåle et dreiemoment på...
  • Página 170 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan ikke festes ved hjelp av MERK grunndelen sin. Turbo V 750/850 TwisTorr Pumping System tilhører andre installasjonskategori FORSIKTIG! (eller overspenning), i henhold til direktivet EN 61010 1. Utføre tilkoblingen av innretningen til matelinjen slik at kravene for denne kategorien oppfylles.

  • Página 171: Bruk Av Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System I dette avsnittet gjengis hovedfremgangsmåtene for drift. Før systemet tas i bruk, utføre alle elektriske koblinger og trykkluft. Under den eventuelle oppvarmingen av vakuumkammeret, må...

  • Página 172: Hvordan Starte Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    "Technical Information"). For å starte systemet utføre følgende skritt: ta bort systemets motkoblingsstykke I/O (om dette finnes); For å slå på Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System er det nødvendig å yte en 48 V likestrøms spenning gjennom en ekstern transformator (969-6521);...
  • Página 173 Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System GI startsignalet via fjerninnretning gjennom koblingsstykket I/O (se avsnittet "J1 – REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information") GI startsignalet via fjerninnretning gjennom serialt grensesnitt RS 232/485 (se avsnittet "RS 232/485 Communication Description" i vedlegget "Technical Information").
  • Página 174 Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ADVARSEL ! Når strømmen er tilkoblet og motkoblingsstykket med 15 pin som følger med er satt inn, vil Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startes automatisk. Kontrolleren leveres allerede mekanisk og elektrisk tilkoblet til pumpen. FORSIKTIG! Adskillelsen av kontrolleren fra pumpehuset kan bare gjøres av godkjent...

  • Página 175: Hvordan Stanse Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Før det utføres vedlikeholdsinngrep inne i enheten, koble fra matekabelen. Nødstopp Før å stanse Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ved nødstopp må matekabelen kobles fra strømtilførselen. Det må dog tas med i beregningen at dette inngrepet, foruten å koble ut pumpens strømtilførsel fullstendig, også...

  • Página 176: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Página 177: Eliminering

    Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 177/406...
  • Página 178 Instruksjon Manual Eliminering 178/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 179: Ohjekäsikirja

    Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 180 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 187 Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö 189 Miten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System käynnistetään 190 Miten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pysäytetään Hätäpysäytys 194 Huolto 195 Hävittäminen...

  • Página 180: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 180/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 181: Yleisiä Tietoja

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
  • Página 182 VAROITUS! Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin toimintotapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia henkilövaurioita. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 182/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 183: Varastointi

    Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 183/406...

  • Página 184: Valmistelut Asennusta Varten184

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ei vahingoitu ollessaan HUOM kosketuksissa ilman kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
  • Página 185 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System -järjestelmän pakkaus sisältää: Integroidulla controllerilla varustetun pumpun Inlet screenin (asennettu) Tämän käyttöohjeen CD-ROM-muodossa Lisävarustelaatikon: 15-tie “REMOTE I/O” IP-54 vastaliitin, johon kuuluu tarvittavat liitännät pumpun käynnistämistä varten sarjakytkennässä käytettävä 9-tie “SERIAL” IP-54 liitin.

  • Página 186: Asennus

    0 – 90 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). 186/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 187: Pumpun Kiinnitys

    VAROITUS! voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System voidaan asentaa mihin asentoon tahansa. Kiinnittäkää Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella, joka kestää...
  • Página 188 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemiä ei voi kiinnittää siihen kuuluvan HUOM jalustan kautta. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kuuluu asennusluokkaan II (tai HUOMIO! ylijännite), direktiivin EN 61010 1 mukaisesti. Liittäkää laite virransyöttölinjaan siten, että...

  • Página 189: Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping Systemin Käyttö

    (tai erityisellä integroidulla purge/vent - lisävarusteella) jonka kautta pumpulle on toimitettava jalokaasuvirtaus (typpi, helium tai argon) pumpun laakereiden suojaamista varten (ks. liite "Technical Information"). Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 189/406...

  • Página 190: Miten Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Käynnistetään

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin käynnistämiseksi on tarpeen syöttä 48 Vcc virtaa ulkoisen tehonlähteen kautta (969-6521); asettakaa tyhjiökammion sisäinen paine 0,1 mbariin; syöttäkää Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemille START -signaali yhdellä seuraavista tavoista: liittäkää varustuksiin kuuluva I/O vastaliitin syöttäkää START-signaali kauko-ohjauksesta liittimen I/O avulla (ks.
  • Página 191 Stop- tai “Waiting for interlock”-tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms jakso) virhetila. Kun virtaa syötetään ja varustuksiin kuuluva 15-nastainen vastaliitin on VAROITUS ! kytketty, Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System käynnistyy automaattisesti. Controller toimitetaan mekaanisesti ja sähköisesti pumppuun liitettynä. HUOMIO! Controllerin saa erottaa pumpun rungosta yksinomaan Agilent Vacuum Technologiesin valtuuttama henkilöstö.
  • Página 192 Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Kun Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System käynnistetään pitkän HUOM seisokkiajan jälkeen, ennen järjestelmän käynnistämistä, erityinen SOFT START -toiminto tulee aktivoi-da. Järjestelmä käynnistetään askel askeleelta ja täysi nopeus saavutetaan noin 35 minuutissa. Kun järjestelmä on saavuttanut täyden nopeuden "soft start"...

  • Página 193: Miten Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Pysäytetään

    Käyttäkää tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä tarkoituksenmukaisesti maadoitetun pistorasian kanssa sähköiskujen välttämiseksi ja CE-normien asettamien vaatimusten tyydyttämiseksi. Controllerissa syntyvä korkeajännitys voi aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman. Ennen huoltotoimenpiteiden suorittamista yksikön sisällä, kytke virtajohto irti. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 193/406...

  • Página 194: Hätäpysäytys

    Purge ja valvottu Vent sekä mahdollisuuden kommunikoida järjestelmän kanssa, johon pumppu on liitetty I/Os:n, sarjaliitännän tai Profi-busin kautta. Tämä toimenpide ei voi kuitenkaan taata roottorin välitöntä pysähtymistä, jonka nopeus pienenee suhteessa järjestelmän sisäiseen tyhjiöasteeseen. 194/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 195: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.

  • Página 196: Hävittäminen

    EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 196/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 197: Felhasználói Kézikönyv

    Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 198 Általános Információ 199 Tárolás Előkészítés telepítésre 202 Telepítés A szivattyú rögzítése 205 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata 207 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System indítása 209 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System leállítása 211 Vészleállítás Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása...

  • Página 198: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 198/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 199: Általános Információ

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú...
  • Página 200 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 200/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 201: Tárolás

    Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 201/406...

  • Página 202: Előkészítés Telepítésre

    FIGYELEM! kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való normál kitettség nem károsíthatja a Turbo-V 750/850 MEGJEGYZÉS TwisTorr Pumping System-et. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.
  • Página 203 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System csomagolása az alábbiakat tartalmazza: Szivattyú integrált vezérlővel Inlet screen (beszerelve) Ez a kézikönyv CD-ROMON A kiegészítők doboza: 15 eres ellencsatlakozó “REMOTE I/O” IP-54 a szivattyú elindításához szükséges integrált csatlakozásokkal 9 eres ellencsatlakozó...

  • Página 204: Telepítés

    0 – 90 % (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System-et elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd "Technical Information”). 204/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 205: A Szivattyú Rögzítése

    és ezzel kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System-et bármilyen helyzetben össze lehet szerelni. Rögzítse a Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System-et stabil helyen, a turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 8000 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással.
  • Página 206 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System-et nem lehet az alapjával MEGJEGYZÉS rögzíteni. A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System az EN 61010 1 szabvány szerint a FIGYELEM! második (vagy túlfeszültségi) összeszerelési kategóriába tartozik. A berendezést úgy csatlakoztassa a tápvonalhoz, hogy megfeleljen a kategóriájához előírt követelményeknek.

  • Página 207: A Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Használata

    Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata Ebben a szakaszban a legfontosabb működtetési eljárások találhatók. A rendszer használata előtt végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást. A vákuumkamra esetleges melegítése alatt a bemeneti karimán lévő...
  • Página 208 Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata Kerüljük el, hogy a szivattyú ütődjék, ingadozzék vagy hirtelen elmozduljon FIGYELEM! működés közben. A csapágyak károsodhatnak. A szivattyú bemeneti levegőjéhez por- és szemcsementes levegőt vagy iners gázt használjunk. A megfelelő nyíláson a bemenőnyomás 2 bar alatt legyen (a légnyomáson felül). A partikulátumot vagy a csapágyakra agresszív szennyeződést tartalmazó...

  • Página 209: A Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Indítása

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System bekapcsolásához külső táplálóval 48 Vcc feszültséget kell biztosítani (969-6521); vigye a vákuumkamrában a nyomást 0,1 mbarra; adjon a Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemnek START jelzést az alábbi módok egyikén: csatlakoztassa a termékkel szállított I/O ellencsatlakozót adjon távoltól az I/O csatlakozón keresztül START jelet (lásd...
  • Página 210 (kb. 200 ms periódus): hibaállapot. VESZÉLY ! Amennyiben a termékhez táp tartozik, és 15 kivezetéses ellencsatlakozó be van építve, a Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System automatikusan elindul. A controllert úgy szállítjuk, hogy a szivattyúhoz már elektromosan és FIGYELEM! mechanikusan csatlakoztatva van.

  • Página 211: A Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Leállítása

    Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata Az IP-54védelmi szint megtartásához kizárólag a szivattyúval együtt adott MEGJEGYZÉS csatlakozókat használja. A tápvezetékként csak PN: 969-9957 or 969-9958-t használjon. Ezt a vezetéket és dugót csak megfelelően földelt aljzattal használja azáramütések elkerülése és az uniós szabványok követelményeinek megtartása végett.

  • Página 212: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Vészleállítás A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System vészhelyzetben való azonnali leállításához a tápvezetéket azonnal szét kell csatlakoztatni. Figyelni kell azonban arra, hogy ez a művelet a szivattyú teljes kikapcsolásán túl kikapcsolja a controller minden más működési lehetőségét is, mint pl. az ellenőrzött Purge és a Vent irányítást, azzal a rendszerrel való...

  • Página 213: Megsemmisítés

    A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 213/406...
  • Página 214 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 214/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 215: Podrecznik Instrukcji

    Ogólne informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 220 Instalacja Mocowanie pompy Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 225 W jaki sposób uruchomić Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 226 W jaki sposób zatrzymać Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 229 Zatrzymanie Alarmowe 230...

  • Página 216: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 216/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 217: Ogólne Informacje

    System Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System jest zintegrowanym systeme składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw.
  • Página 218 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 218/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 219: Magazynowanie

    10 miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 219/406...

  • Página 220: Przygotowanie Do Instalacji

    UWAGA! części przeznaczone do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. System Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System, nie może być uszkodzony PRZYPIS poprzez wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
  • Página 221 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Posta 1 Opakowanie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System zawiera: Pompę z wbudowanym sterownikiem Inlet screen (zamontowany) Niniejszą instrukcję obsługi na CD-ROM Pudełko z akcesoriami: Przeciwzłącze 15-drogowe“REMOTE I/O” IP-54 z wbudowanymi podłączeniami koniecznymi do uruchomienia pompy Przeciwzłącze 9-drogowe “SERIAL”...

  • Página 222: Instalacja

    W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w “Technical Information”). 222/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 223: Mocowanie Pompy

    śmierć. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System może być zainstalowana w dowolnym położeniu. Zamocować Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System w pozycji stabilnej, montując kołnierz wejścia turbopompy do kołnierza systemu, dokręcając w taki sposób aby...
  • Página 224 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System nie może być mocowana z PRZYPIS wykorzystaniem swojej podstawy. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System należy do drugiej kategorii (lub UWAGA! przepięcia) instalacji, zgodnie z dyrektywą EN 61010 1. Wykonać podłączenia urządzenia do linii zasilania w taki sposób, aby spełnione były wymagania...

  • Página 225: Obsługa Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Nigdy nie uruchamiać pompy, jeżeli kołnierz wejściowy nie jest podłączony ZAGROZENIE! do komory próżniowej lub nie jest zamknięty odpowiednim kołnierzem zamykającym. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może doprowadzić do obrażeń cielesnych. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 225/406...

  • Página 226: W Jaki Sposób Uruchomić Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Przed uruchomieniem systemu sprawdzić, czy przeciwzłącze I/O zostało usunięte. Jeżeli układ jest podłączony do zdalnego urządzenia I/O, upewnić się, czy sygnał STOP jest aktywny (patrz punkt "J1 – REMOTE I/O" w załączniku "Technical Information"). 226/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 227 W celu uruchomienia systemu należy wykonać niżej wymienione operacje: wymontować (jeżeli istnieje) przeciwzłącze I/O systemu; w celu włączenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System należy do niego doprowadzić napięcie 48 V prądu stałego za pomocą zewnętrznego zasilacza (969-6521); doprowadzić ciśnienie w komorze próżniowej do 0,1 mbar;...
  • Página 228 UWAGA! Oddzielenie sterownika od korpusu pompy może zostać wykonane tylko i wyłącznie przez uprawnionych pracowników firmy Agilent Vacuum Technologies. Kiedy uruchamia się Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System po dłuższym PRZYPIS okresie przestoju, przed uruchomieniem systemu należy uaktywnić specjalną funkcję SOFT START. System jest uruchamiany przechodząc przez kolejne fazy aż...

  • Página 229: W Jaki Sposób Zatrzymać Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    CE. Wysokie napięcie jakie pojawia się w sterowniku może doprowadzić do poważnych obrażeń, a nawet śmierci. Przed przystąpieniem do realizacji prac konserwacyjnych wewnątrz jednostki należy odłączyć kabel zasilania. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 229/406...

  • Página 230: Zatrzymanie Alarmowe

    Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zatrzymanie Alarmowe Aby natychmiast zatrzymać Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System w przypadku zagrożenia, należy odłączyć kabel zasilania od źródła zasilania. Należy jednak pamiętać, że tego typu działanie prowadzi nie tylko do całkowitego odcięcia zasilania pompy, ale powoduje również...

  • Página 231: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.

  • Página 232: Przetworstwo Odpadow

    . Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. 232/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 233: Návod K Použití

    Všeobecné informace 235 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Způsob uvedení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti 245 Způsob zastavení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 247 Nouzové zastavení 248 Údržba...

  • Página 234: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 234/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 235: Všeobecné Informace

    činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a ultravysoké...
  • Página 236 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 236/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 237: Uskladnění

    10 měsíců ode dne doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 237/406...

  • Página 238: Příprava K Instalaci

    Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou se dodává ve speciálním ochranném balení. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
  • Página 239 Návod k Použití Příprava k instalaci Postava 1 Obal vývěvy Turbo-V 750/850 TwissTorr Pumping System obsahuje: Vývěvu s vestavěným řídicím zařízením Vstupní mřížku (namontovanou) Tento návod na CD-ROM Krabici s příslušenstvím: Konektor - protikus, 15-pólový, „REMOTE I/O“ IP 54 s vestavěnými potřebnými připojeními pro uvedení...

  • Página 240: Instalace

    0 – 90 % (bez srážení) V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). 240/406...

  • Página 241: Upevnění Vývěvy

    NEBEZPEČÍ! způsobit oddělení vývěvy ze systému a způsobit škody, vážná zranění nebo smrt. Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System může být nainstalována v libovolné poloze. Vývěvu Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární...
  • Página 242 Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system nesmí být připevněna POZNÁMKA prostřednictvím své základny. Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System patří do druhé kategorie POZOR! (nebo přepětí) instalace ve smyslu směrnice EN 61010-1. Proveďte připojení zařízení k napájecímu přívodu tak, aby splňovalo požadavky pro uvedenou kategorii.

  • Página 243: Použití Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System243

    Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System V tomto odstavci jsou uvedeny základní provozní postupy. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Během případného ohřevu vakuové komory nesmí být teplota na vstupní...
  • Página 244 Vývěva byla navržena pro čerpání dusíku, argonu a lehkých plynů. V případě, že by bylo třeba čerpat plyny těžší než argon, je třeba požádat o informace Servisní službu firmy Agilent. 244/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 245: Způsob Uvedení Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Do Činnosti

    „J1 – REMOTE I/O” v příloze „Technical Information“). Uvedení systému do činnosti se provádí dle následujícího postupu: odpojte (je-li přítomen) konektor-protikus I/O systému; pro zapnutí vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System je třeba dodat napětí 48 V= prostřednictvím externího napájecího zdroje (969-6521);...
  • Página 246 POZOR! Oddělení řídicího zařízení z tělesa vývěvy může být provedeno pouze personálem autorizovaným firmou Agilent Vacuum Technologies. Při uvedení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System do chodu po POZNÁMKA delším období nečinnosti je třeba ještě před zvedením systému do činnosti aktivovat speciální...

  • Página 247: Způsob Zastavení Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pro zachování třídy ochrany IP-54 používejte výhradně konektory dodané s POZNÁMKA vývěvou. Pro napájecí kabel použijte pouze PN: 969-9957 or 969-9958. Použijte tento kabel a zástrčku spolu s náležitě uzemněnou zásuvkou, aby se zabránilo zásahu elektrickým proudem a aby byly splněny požadavky předpisů...

  • Página 248: Nouzové Zastavení

    Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System v podmínkách nouzového stavu je třeba odpojit napájecí kabel od napájecího přívodu. Je však třeba mít na paměti, že tato operace nejen kompletně vypne napájení vývěvy, ale zruší i všechny ostatní...

  • Página 249: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Página 250: Likvidace

    Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 250/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 251: Návod Na Obsluhu

    Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 253 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 256 Inštalácia Upevnenie vývevy 259 Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Spôsob uvedenia zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti 263 Spôsob zastavenia zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 265 Núdzové...

  • Página 252: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 252/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 253: Všeobecné Informácie

    úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolérom. Systém dokáže vyčerpať...
  • Página 254 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 254/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 255: Uchovávanie

    10 mesiacov odo dňa dodania. Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 255/406...

  • Página 256: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas dopravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
  • Página 257 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Postava 1 Obal zariadenia Turbo-V 750/850 TwissTorr Pumping System obsahuje: Vývevu so vstavaným riadiacim zariadením Vstupnú mriežku (namontovanú) Tento návod na CD-ROM Škatuľu s príslušenstvom: Konektor - protikus, 15-pólový, „REMOTE I/O“ IP 54 so zabudovanými kontaktmi pre uvedenie vývevy do chodu...

  • Página 258: Inštalácia

    V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). 258/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 259: Upevnenie Vývevy

    NEBEZPEČÍE! spôsobiť oddelenie vývevy od systému a spôsobiť škody, vážne zranenia alebo smrť. Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k protiprírube systému.
  • Página 260 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system nesmie byť pripevnený o POZNÁMKA svoju základňu. Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System patrí do druhej kategórie POZOR! (alebo prepätia) inštalácie v zmysle smernice EN 61010-1. Pripojte zariadenie k napájaciemu prívodu tak, aby spĺňalo požiadavky pre uvedenú...

  • Página 261: Použitie Zariadenia Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System V tomto odseku sú uvedené základné prevádzkové postupy. Pred použitím systému vykonajte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Počas prípadného ohrevu vákuovej komory nesmie byť teplota na vstupnej prírube vyššia ako 80 °C.
  • Página 262 Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zabráňte nárazom alebo prudkým posunom vývevy počas jej činnosti. Mohlo by POZOR! dôjsť k poškodeniu ložísk. Pre zavzdušnenie vývevy použite vzduch alebo inertný plyn zbavený prachu alebo častíc. Vstupný tlak prostredníctvom príslušného portu musí...

  • Página 263: Spôsob Uvedenia Zariadenia Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Do Činnosti

    Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Spôsob uvedenia zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti Pred uvedením systému do činnosti skontrolujte, či je odpojený konektor-protikus I/O Keď je systém pripojený k zariadeniu I/O z diaľkového ovládacieho miesta, uistite sa, že signál STOP je aktívny (viď...
  • Página 264 POZOR! Oddelenie riadiaceho zariadenia z telesa vývevy môže byť vykonané len personálom autorizovaným firmou Agilent Vacuum Technologies. Pri uvedení zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System do chodu po POZNÁMKA dlhšom období nečinnosti, je potrebné ešte pred uvedením systému do činnosti aktivovať...

  • Página 265: Spôsob Zastavenia Zariadenia Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pre zachovanie triedy ochrany IP-54 používajte výhradne konektory dodané s POZNÁMKA vývevou. Pre napájací kábel použite len PN: 969-9957 alebo 969-9958. Použite tento kábel a zástrčku spolu s náležite uzemnenou zásuvkou, aby sa zabránilo zásahu elektrickým prúdom, a aby boli splnené...

  • Página 266: Núdzové Zastavenie

    Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Núdzové zastavenie Pre okamžité zastavenie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System v podmienkach núdzového stavu je potrebné odpojiť napájací kábel od napájacieho prívodu. Je však potrebné mať na pamäti, že táto operácia nielen úplne vypne napájanie vývevy, ale zruší...

  • Página 267: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať kvalifikovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Página 268: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 268/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 269: Priročnik Za Navodila

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 270 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zagon sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System281 Zaustavitev sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zaustavitez v sili Vzdrževanje...

  • Página 270: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 270/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 271: Splošne Informacije

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinov ali plinskih zmesi.
  • Página 272 Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. OPOMBA 272/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 273: Shranjevanje

    Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 273/406...

  • Página 274: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
  • Página 275 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 Embalaža naprave Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System vsebuje: Črpalka z vgrajenim kontrolerjem Inlet screen (nameščen) Ta priročnik z navodili na CD-ROMU Škatla z dodatno opremo: 15-potni protikonektor “REMOTE I/O” IP-54 z vgrajenimi povezavami, ki so potrebne za zagon črpalke...

  • Página 276: Montaža

    Relativna vlažnost: 0 – 90 % (brez kondenza). V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). 276/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 277: Pritrjevanje Črpalke

    SVARILO! povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. Sistem Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System je mogoče namestiti v kakršnem koli položaju. Namestite TV 801 Navigator Bolted Flang na stabilno pozicijo tako, da zmontirate dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu tako, da povezava...
  • Página 278 Sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ni mogoče pritrditi s OPOMBA pomočjo lastnega podnožja. Sistem Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System spada v drugo kategorijo (ali POZOR! prenapetost) namestitve, skladno s standardom EN 61010 1. Napravo vežite na napajalni vod skladno z zahtevami, ki veljajo za to kategorijo. Uporabite priložene protikonektorje, da zagotovite stopnjo zaščite IP-54.

  • Página 279: Uporaba Sistema Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Ta del opisuje osnovne delovne postopke. Pred uporabo sistema izvedite vse električne in pnevmatske vezave. Med morebitnim segrevanjem vakuumske komore, temperatura na vhodni prirobnici ne sme presegati 80 °C.
  • Página 280 Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Izogibajte se udarcem, nihanju in sunkovitim premikom črpalke med delovanjem POZOR! slednje, saj bi lahko prišlo do poškodbe ležajev. Za dovod zraka črpalki uporabite zrak ali inertni plin brez prahu in delcev. Vhodni tlak, dovajan skozi ustrezna vrata, mora biti nižji od 2 barov (višji od atmosferskega tlaka).

  • Página 281: Zagon Sistema Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping

    Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zagon sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pred zagonom sistema preverite, ali je protikonektor I/O odstranjen. Če je sistem vezan na oddaljeno vhodno/izhodno napravo, preverite, ali je signal STOP aktiven (oglejte si odstavek "J1 – REMOTE I/O" v dodatku "Technical Information").
  • Página 282 POZOR! kontrolerja s črpalke lahko izvedejo samo osebe, pooblaščene s strani družbe Agilent Vacuum Technologies. K Ob zagonu sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System po daljšem OPOMBA obdobju nedelovanja je treba omogočiti posebno funkcijo SOFT START. Sistem se zaganja v zaporednih korakih, dokler v približno 35 minutah ne doseže polne delovne hitrosti.

  • Página 283: Zaustavitev Sistema Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Zaustavitez v sili Za takojšnjo zaustavitev sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System v sili je treba napajalni kabel izvleči iz vtičnice. Vedeti pa je treba, da ta postopek, poleg popolnega izklopa napajanja črpalke, onemogoči tudi vse druge funkcije kontrolerja, kot so, na primer,...

  • Página 284: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Página 285: Odlaganje Opadkov

    Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 285/406...
  • Página 286 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 286/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 287: Instructions For Use

    Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 288 General Information Storage Preparation for Installation 292 Installation Pump Fixing Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System How to Start the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System How to Stop the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Emergency Stop Maintenance Disposal...

  • Página 288: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 288/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 289: General Information

    The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is an inte-grated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound.
  • Página 290 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 290/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 291: Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 291/406...

  • Página 292: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage, which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
  • Página 293 Instructions for Use Preparation for Installation Figure 1 T The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System package includes: Pump with integrated controller Inlet screen (mounted) This instruction manual on CD-ROM Accessories bag: 15 pin mating connector IP-54 for "REMOTE I/O" connector with all the interconnections necessary to start the pump.

  • Página 294: Installation

    In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). 294/406...

  • Página 295: Pump Fixing

    The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System can be installed in any position. Fix the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connec-tion capable of withstanding a torque of 8000 Nm around its axis.
  • Página 296 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10” 20 Nm The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System cannot be fixed by means of its NOTE base. The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System belongs to the second CAUTION! installation (or overvoltage) category as per directive EN 61010 1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category.

  • Página 297: Use Of Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Instructions for Use Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C.

  • Página 298: How To Start The Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    To start the system please follow the following steps: unplug (if present) the system mating I/O connector; to switch on the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System it is necessary to supply a voltage of 48 Vdc using an external Power Supply (969-6521);...
  • Página 299 Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Agilent Vacuum Technologies personnel only. When you run the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System after a protracted NOTE stop, the special SOFT START function must be activated before starting the pump (see the annex “Technical Information”).

  • Página 300: How To Stop The Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    (see para. "RS232/RS 485 Communication Description" of annex "Technical Information"). WARNING! The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Power Supply (969-6521) must be powered with 3-wire power cord (see para. “ACCESSORIES AND SPARE PARTS” in the annex “Technical Information”) and plug (internationally approved) for user's safety.

  • Página 301: Emergency Stop

    Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Emergency Stop To immediately stop the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. It must be however noted that this operation, in...

  • Página 302: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...

  • Página 303: Disposal

    The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 303/406...
  • Página 304 Instructions for Use Disposal 304/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 305: Technical Information

    Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline 319 Output Power during High Temperature Condition Interconnections Earth (Ground) Connection Power Supply Input 340 P1 – Purge / Vent 340 P2 –...
  • Página 306 Embedded Data logger Manager (New Function) 370 Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System with Integrated Controller Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump with Standard Rack Controller Drive the External Fan Water Cooling Kit Connection 379 Vibration Isolator Installation 382...
  • Página 307 Port – Purge Valve Installation 388 Purging the Pump through the Integrated Purge/Vent Device Accessory – Purge/Vent Device Installation Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 393 Venting Procedure without Contaminants and/or Corrosive Gases – Manually Venting Venting procedure with Contaminants and/or Corrosiv Gases –...

  • Página 308: Description Of The Turbo-V 750/850 Twistorr

    The pumping system consists of a pump with a dedicated integrated controller. The system is available in three models for Turbo-V 750 TwisTorr and three models for TV 850 TwisTorr. The models of each group differ in the high vacuum flange.
  • Página 309 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Figure 4 Model 969-8814 Figure 5 Model 969-8815 Figure 6 Model 969-8816 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 309/406...
  • Página 310 Turbo-V 850 TwisTorr pump: Model 969-6015 with ISO 200 K high vacuum flange; Model 969-6016 with ConFlat 10” high vacuum flange; Model 969-6019 with ISO 200 F high vacuum flange (and KF40 foreline flange). 310/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 311 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr The following figure shows the seven models. Figure 9 Model 969-6013 Figure 10 Model 969-6014 Figure 11 Model 969-6015 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 311/406...
  • Página 312 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Figure 12 Model 969-6016 Figure 13 Model 969-6017 Figure 14 Model 969-6018 312/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 313: Pump Description

    The pumps must be driven with the dedicated rack controller (models: 969-9525, 969-9526). Pump Description The Turbo-V 750/850 TwisTorr pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Página 314 Gas type load (selectable WIN 157: see the following "Window Meanings" paragraph) Cooling mode (selectable WIN 106: see the following "Window Meanings" paragraph) Body temperature (can be read by WIN 222). Electronics temperature (can be read by WIN 216). 314/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 315: Controller Description

    The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (T-Plus optional). An external Power Supply (model 969-6521) is available in order to supply the voltage 48 Vdc to the pumping system. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 315/406...

  • Página 316: Technical Specification

    DS 302, TriScroll 300 Operating position Operating ambient temperature +5 °C to +45 °C Relative humidity of air 0 – 90 % (not condensing) Bakeout temperature 80 °C at inlet flange max. 316/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 317 With European or NEMA plug 3 meters long (optional) Serial communication (T-Plus kit) RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and T-Plus software (optional) Installation category Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 317/406...
  • Página 318 16.7 (37) 16.5 (36.5) ISO 200 F: 17 (37.5) 16.8 (37) When the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Sys-tem has been stored at a NOTE temperature less than 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. 318/406...

  • Página 319: Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Outline

    Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline The following figures show the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 16 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 K (969-8813)
  • Página 320 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 17 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System CFF 8” (969-8814) 320/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 321 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 18 Turbo-V 850 TwisTorr Pumping System ISO 200 K (969-8815) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 321/406...
  • Página 322 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 19 Turbo-V 850 TwisTorr Pumping System CFF 10” (969-8816) 322/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 323 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 20 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 F (969-8818) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 323/406...
  • Página 324 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 21 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 F (969-8819) 324/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 325 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 22 Turbo-V 750 TwisTorr Pump ISO 160 K (969-6013) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 325/406...
  • Página 326 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 23 Turbo-V 750 TwisTorr Pump CFF 8” (969-6014) 326/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 327 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 24 Turbo-V 850 TwisTorr Pump ISO 200 K (969-6015) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 327/406...
  • Página 328 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 25 Turbo-V 850 TwisTorr Pump CFF 10” (969-6016) 328/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 329 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 26 Turbo-V 750 TwisTorr Pump CFF 6” (969-6017) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 329/406...
  • Página 330 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 27 Turbo-V 750 TwisTorr Pump ISO 160 F (969-6018) 330/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 331 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 28 Turbo-V 850 TwisTorr Pump ISO 200 F (969-6019) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 331/406...
  • Página 332 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 29 Turbo-V 750 TwisTorr Pump ISO 160 K with mounted Fan and Purge/Vent device accessories 332/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 333 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 30 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 K with mounted Fan and Purge/Vent device accessories Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 333/406...
  • Página 334 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 31 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for Turbo-V 750 TwisTorr pump Figure 32 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for Turbo-V 850 TwisTorr pump 334/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 335 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 33 Graph of Compression Ratio vs. Foreline Pressure Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 335/406...

  • Página 336: Output Power During High Temperature Condition

    The applied power limit is readable by serial line (WIN 155). If the body temperature exceed 55 °C or the Controller temperature exceed 65 °C, the controller goes in status 6 (Fail). 336/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 337 Applied Power Limit for Nitrogen (or lighter gases) and Forced Air Cooling (BLUE line: integrated controller, RED line: rack controller) ARGON - Forced Air Cooling BODY Temperature [°C] Figure 35 Applied Power Limit for Argon and Forced Air Cooling Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 337/406...
  • Página 338 BODY Temperature [°C] Figure 36 Applied Power Limit for Nitrogen (or lighter gases) and Water Cooling ARGON - Water Cooling BODY Temperature [°C] Figure 37 Applied Power Limit for Argon and Water Cooling 338/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 339: Interconnections

    Earth (Ground) Connection We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System. Use a separate insu- lated green/yellow conductor, and use a M5 x 10 screw and shake proof washer (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump.

  • Página 340: Power Supply Input

    48 VDC 8,5A Figure 39 P1 – Purge / Vent The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system can have as an optional accessory the purge/vent device (model 969-6502). Through P1 connector the controller is able to drive both the Purge Valve and the Vent Valve placed on the accessory.

  • Página 341: P2 - External Fan

    Figure 42 This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
  • Página 342 INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the interlock (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the interlock (-) signal to the GROUND pin. 342/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 343 25 % to 75 % (toff/T) corresponding to a rotational frequency from 350 Hz to 825 Hz linearly (i.e.: pin 5 connected to pin 9 and pin 6 connected to pin 15, default value is 350 Hz). Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 343/406...
  • Página 344 (from 0 to 10 Vdc, max load 1.5 mA) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). 344/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 345 Power (W) Figure 45 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. ON = Output Voltage < 1 V OFF= Output Voltage = 24 V Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 345/406...
  • Página 346 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency threshold: 500 Hz hysteresis: 1 % activation type: "high level" 346/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 347 2 % activation type: high level delay time: 0 second PURGE/VENT VALVES: the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System can integrate the Purge and Vent valves. The two valves are Normally Closed (N.C.) so if a power fail occurs, the valves will remain closed.
  • Página 348 Technical Information Interconnections Figure 48 348/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 349: Auto Pump Speed Mode - With Purge/Vent Device Accessory Only

    If WIN 125 = 0 the vent valve is opened as a func-tion of time (see the figure below for details). The timing are configurable through WIN 126 (Vent Valve Opening Delay) and WIN 147 (Vent Valve Opening Time). Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 349/406...

  • Página 350: Stop Speed Reading

    (WIN 167). If activated, all the related functions (set point out, output voltage, …) will follow the frequency reading. The T-Plus Software (optional) allows the operator to set all the programmable NOTE feature. 350/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 351: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller

    24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Figure 50 Case 1 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 351/406...
  • Página 352 Technical Information Stop Speed Reading Figure 51 Case 2 with relay utilisation 352/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 353 Technical Information Stop Speed Reading Figure 52 Case 2 with transistor utilisation Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 353/406...

  • Página 354: How To Connect The Outputs Of The Controller

    The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. Figure 53 Typical output connection The following figure shows a typical output connection to a relay coil. Figure 54 Output to a relay coil 354/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 355: J2 - Serial

    Technical Information Stop Speed Reading J2 – Serial Figure 55 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System. Tab. 6 PIN N. SIGNAL NAME...

  • Página 356: Serial Cable Installation

    In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Agilent. The supplied serial cable must be installed when the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System has to be controlled by means of a remote com-puter.
  • Página 357 Technical Information Procedure to Connect the Serial and I/0 Ports to an External Cable Figure 56 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 357/406...

  • Página 358: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the correspond-ing ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 358/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 359 ‘_’ (ASCII) <ETX> (End of transmission) = 0x03 <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 359/406...
  • Página 360 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for ex-ample you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 360/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 361 RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 361/406...
  • Página 362 RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 362/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 363: Window Meanings

    0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Cooling mode 0 = AIR 1 = WATER (default = 0) Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 363/406...
  • Página 364 Vent valve opening delay expressed 0 to 65535 in 0.2 sec Corresponding to 0 to 13107 sec (Default = 1) External Fan Configuration 0 = ON 1 = automatic 2 = serial (default = 2) 364/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 365 Pump temperature in °C Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Leak Check = 7 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 365/406...
  • Página 366 Parameter Listing code & XXXX revision 500 to Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) 366/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 367: Soft Start

    Window N. 206 Bit Description Soft Start “Soft Start” mode is provided to start the pump after a protracted stop of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System. This allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default.

  • Página 368: Leak Check Mode

    (WIN 205) is identified by value 7 and the power is limited to 20 % of the set maximum power (WIN 168). Both Vent and Purge valves are closed. Leak check mode must be explicitly disabled set-ting WIN 186 to value 0. 368/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 369: Agilent T-Plus

    Vacuum de-vices quickly, and to check your vacuum system status at any time. Exhaustive online Help is also included, providing the user with a complete, easy to learn system, tailored to customer requirements. Figure 58 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 369/406...

  • Página 370: Embedded Data Logger Manager (New Function)

    The user can download this data using the T-plus software. Figure 59 The EDLM Interface will be as shown below: Figure 60 370/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 371 Clicking this button would in-voke the Graph control and the trend for the entire data for that period would be plotted in the Graph. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 371/406...

  • Página 372: Inlet Screen Installation

    Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 61 Figure 62 Figure 63 372/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 373 The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 65 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 373/406...

  • Página 374: Air Cooling Kit Installation

    Fan specifications: air flow: 187 m input voltage: 48 Vdc dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.) power: 5 W Figure 66 374/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 375: Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System With Integrated Controller

    Air Cooling Kit Installation Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System with Integrated Controller To fix the fan to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System execute the following procedure: Insert the connection cable with the plug in the connection P2 on the integrated controller;...

  • Página 376: Turbo-V 750/850 Twistorr Pump With Standard Rack Controller

    Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump with Standard Rack Controller To fix the fan to the Turbo-V 750/850 TwisTorr pump execute the following procedure: Lock the connection cable in one of two slots placed laterally to the fan, so that the cable connector remains outside the plastic fan protection;...
  • Página 377 Figure 69 Position the fan ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base; Insert the three screws enclosed into the package and tighten with a screwdriver; Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 377/406...

  • Página 378: Drive The External Fan

    (external fan OFF) Serial (the fan behaviour depends only on WIN 144 value) Set WIN 143 = 2, WIN 144 = 1 (external fan ON) or WIN 144 = 0 (external fan OFF) 378/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 379: Water Cooling Kit Connection

    Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System has a water cooling loop made of a corrosion re-sistant stainless steel pipe with two standard 1/8 G connections. Two types of water cooling kits are available to be mounted. The two model part numbers are: 969 9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model).
  • Página 380 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 73 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the stainless steel pipe with a recom-mended closing torque of 5 Nm. Figure 74 380/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 381 100 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 381/406...

  • Página 382: Vibration Isolator Installation

    It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "IN-STRUCTION FOR USE" section. Specifically pay attention to clamp design, material of clamps and bolts and bolt fixing torque. 382/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...

  • Página 383: Installation Of Iso-K Flange

    (a protective screen can optionally be used). Figure 75 Use the required number of claw clamps: 10 for ISO 160 flange 18 for ISO 200 flange Tighten the claw clamps with a torque of 25 Nm. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 383/406...

  • Página 384: Installation Of Iso-F Flange

    Tighten the screws with a torque of 25 Nm. Installation of ConFlat Flange For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used). 384/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 385 Note that, in some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 385/406...

  • Página 386: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 25 NW is available to connect the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.

  • Página 387: Connection To The Pump

    If the bearing temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 387/406...

  • Página 388: Pump Used With Corrosive Gases - Pump Purging

    Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging For pumping gases containing particulate or ag-gressive pollutants for the bearings, the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is fitted with a special port (or the integrated purge/vent device accessory) to allow a steady flow of inert gas (like He, N , Ar) for pump bearing protection.
  • Página 389 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Vari-an for specific applications. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 389/406...

  • Página 390: Purging The Pump Through The Integrated Purge/Vent Device Accessory - Purge/Vent Device Installation

    Vent valve: Closed Purge valve: Open The valves operating mode can be set only by se-rial line with WIN 125, WIN 122 and WIN 145. Figure 80 390/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 391 (see the following picture for correct alignment and orientation). Pay attention that the sealing o-ring on the body remains well positioned on its seat during this operation; Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 391/406...
  • Página 392 P1 on the integrated controller. Figure 83 Turbo-V 750/850 TwisTorr pump with Rack Controller: add to the connection cable the proper extension cable (models: 969-6504, 969-6505, 969-6506, 969-6507) needed to reach the controller.

  • Página 393: Venting The Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System

    Venting Procedure without Contaminants and/or Corrosive Gases – Manually Venting Close the process gases flowing into the sys-tem before sending the STOP signal to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System; Close the gate valve connecting the Turbo pump to the chamber (if present);...

  • Página 394: Venting Procedure With Contaminants And/Or Corrosiv

    Corrosive Gases – Without Purge/Vent Device Accessory Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System; Leaving the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the process gases from the system (e.g.

  • Página 395: Venting Procedure With Contaminants And/Or Corrosiv

    Corrosive Gases – With Purge/Vent Device Accessory Close the process gases flowing into the sys-tem before sending the STOP signal to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System; Leaving the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump-ing System and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the process gases from the system (e.g.
  • Página 396 Technical Information Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System When the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump. In doing this, leave the chamber or the Turbo-V vent valve (positioned on the enve- lope) opened, to avoid system overpressures.

  • Página 397: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Agilent’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 397/406...

  • Página 398: Accessories And Spare Parts

    Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 10 Accessories and spare parts Description Part number TURBO-V 750/850 TWISTORR POWER SUPPLY (5 m CABLE) 969-6521 T-Plus software and serial cable 969-9883 Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long...
  • Página 399 Technical Information Accessories and Spare Parts Description Part number CABLE TURBO-V 750/850 TWISTORR PURGE/VENT 25 m EXTENSION 969-6506 CABLE TURBO-V 750/850-AG RACK CNT 969-9525 TURBO-V 750/850-AG RACK CNT PROFIBUS 969-9526 TMP Profibus Gateway 969-9261 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor...
  • Página 400 Technical Information Accessories and Spare Parts 400/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
  • Página 406 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Este manual también es adecuado para:

Turbo-v 850Twistorr 969-6013Twistorr 969-6014Twistorr 969-6015Twistorr 969-6016Twistorr 969-6017 ... Mostrar todo

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