Página 1 Special Turbo-V 1K-G Pump model 869-8961 Controller model 969-8978M002 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Página 2: Trademarks
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 3 Special Turbo-V 1K-G Special Turbo-V 1K-G Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 3/258...
Página 4 Special Turbo-V 1K-G 4/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 5: Tabla De Contenido
Uso 23 Manutenzione 25 Smaltimento 26 Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 30 Vor der Installation 31 Installation 32 Befestigung der Pumpe 33 Gebrauch 35 Wartung 37 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 5/258...
Página 6 51 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 52 Información general 53 Almacenamiento 54 Preparación para la instalación 55 Instalación 56 Fijación de la bomba 57 Uso 59 Mantenimiento 61 Eliminación 62 6/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76 Algemene informatie 77 Opslag 78 Uitpakken 79 Installatie 80 Bevestiging van de pomp 81 Gebruik 83 Onderhoud 85 Afvalverwerking 86 Istruktionsbog 87 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 88 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 7/258...
Página 8 Förvaring 102 Förberedelser för installationen 103 Installation 104 Fastsättning av pump 105 Användning 107 Underhåll 109 Bortskaffning 110 Instruksjon Manual 111 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 112 Generell informasjon 113 Lagring 114 8/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 9 Valmistelut asennusta varten127 Asennus 128 Pumpun kiinnitys 129 Käyttö 131 Huolto 133 Hävittäminen 134 11 Felhasználói Kézikönyv 135 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 136 Általános információk 137 Tárolás 138 Előkészítés telepítésre 139 Telepítés 140 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 9/258...
Página 10 157 Przetworstwo odpadow 158 13 Návod k Použití 159 Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160 Všeobecné Informace 161 Uskladnění 162 Příprava k instalaci 163 Instalace 164 Montáž vývěvy 165 Použití 167 10/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 11 15 Priročnik za Navodila 183 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184 Splošne Informacije 185 Shranjevanje 186 Priprava za montažo 187 Montaža 188 Pritrjevanje črpalke 189 Uporaba 191 Vzdrževanje 193 Odlaganje opadkov 194 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 11/258...
Página 12 Special Turbo-V 1K-G outline 213 Interconnections 215 P3 – Vent 216 P4 – External Fan 217 J1 - In-Out 217 RS 232/RS 485 Communication Description 228 Window-Meanings 233 Inlet Screen Installation 237 12/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 13 Purge Valve Installation 245 Serial Cable Installation 247 Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation 247 Pump Used with Corrosive Gases 250 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 251 Accessories and Spare Parts 252 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 13/258...
Página 14 Contents 14/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 15: Istruzioni Per L'uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 19 Installazione Fissaggio della pompa 21 Accensione ed Uso della Special Turbo-V 1K-G 24 Arresto della Special Turbo-V 1K-G Arresto di Emergenza 25 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Página 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 17: Informazioni Generali
(45000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Special Turbo-V 1K-G è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Página 18: Immagazzinamento
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. 18/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 19: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Special Turbo-V 1K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
Página 20: Installazione
+5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice “Technical Information”) umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante). Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. 20/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 21: Fissaggio Della Pompa
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La Special Turbo-V 1K-G deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). Fissaggio della pompa AVVERTENZA! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa.
Página 22 Per le flange F le viti in acciaio devono essere di classe > 8.8 La Special Turbo-V 1K-G può essere installata in qualsiasi posizione. La Special Turbo-V 1K-G non può essere fissata tramite la sua base. NOTA La Special Turbo-V 1K-G con Navigator controller appartiene alla seconda ATTENZIONE! categoria di installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.
Página 23: Uso
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 23/258...
Página 24: Accensione Ed Uso Della Special Turbo-V 1K-G
Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso della Special Turbo-V 1K-G Le istruzioni seguenti si applicano alla Special Turbo-V 1K-G usata in combinazione con il Navigator Controller. Per accendere la Special Turbo-V 1K-G è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Página 25: Manutenzione
Prima di eseguire delle operazioni di manutenzione all'interno dell'unità scollegare il cavo di alimentazione. Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza la Special Turbo-V 1K-G occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller. Manutenzione La Special Turbo-V 1K-G non richiede alcuna manutenzione.
Página 26: Smaltimento
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. 26/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 27: Gebrauchsanleitung
Special Turbo-V 1K-G User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der Special Turbo-V 1K-G 36 Stoppen von Modell Special Turbo-V 1K-G 36 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/258...
Página 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 29: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Die Special Turbo-V 1K-G ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-Anwendungen. Die Pumpe eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, ist jedoch nicht für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln...
Página 30: Lagerung
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu setzen. Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. 30/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 31: Vor Der Installation
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Das Modell Special Turbo-V 1K-G kann durch die Umgebung an sich keine HINWEIS Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Página 32: Installation
Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. 32/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 33: Befestigung Der Pumpe
Schäden oder den Tod und/oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten. Die Special Turbo-V 1K-G in einer stabilen Position befestigen. Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Página 34 Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Die Special Turbo-V 1K-G hat Verbinder für den Ein- und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...
Página 35: Gebrauch
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 35/258...
Página 36: Einschaltung Und Gebrauch Der Special Turbo-V 1K-G
Turbo-V 1K-G Die nachfolgenden Anleitungen werden bei der Special Turbo-V 1K-G kombiniert mit dem Navigator Controller angewandt. Zur Einschaltung der Special Turbo-V 1K-G ist sie mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Página 37: Wartung
Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. Special Turbo-V 1K-G in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. Wartung Die Special Turbo-V 1K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt...
Página 38: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 38/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 39: Mode D'emploi
Preparation a l'installation 43 Installation Fixation de la pompe 45 Utilization Mise en marche et utilisation de la Special Turbo-V 1K-G 48 Arrêt de la Special Turbo-V 1K-G 48 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 39/258...
Página 40: Consignes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât matériel et prévenir tout risque de blessure aux opérateurs, respecter rigoureusement les instructions d'installation et d’utilisation décrites dans le présent document! 40/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 41: Indications Generales
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (45000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. La Special Turbo-V 1K-G est totalement exempte d'agents polluants et elle est par conséquent indiquée pour toutes les applications exigeant un vide "propre".
Página 42: Stockage
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. 42/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 43: Preparation A L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller à ne pas laisser tomber la Special Turbo-V 1K-G et à ne pas l’exposer à des chocs ou des vibrations. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Página 44: Installation
: de +5°C° à +35 °C (Cf. graphique dans "Technical Information") humidité relative: 0 – 95 % (non condensante) Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. 44/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 45: Fixation De La Pompe
équipements environnants. Fixer la Special Turbo-V 1K-G de façon stable en fixant la bride d’entrée de la turbopompe à la contre-bride du système au moyen d'un raccordement en mesure de résister à un couple de 8900 Nm autour de son axe.
Página 46 être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché à la Special Turbo-V 1K-G a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Página 47: Utilization
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 47/258...
Página 48: Mise En Marche Et Utilisation De La Special Turbo-V 1K-G
Les instructions qui suivent concernent la Special Turbo-V 1K-G utilisée en association avec le Navigator controller. Pour allumer la Special Turbo-V 1K-G il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux électriques de déverrouillage et de démarrage et actionne la pompe.
Página 49: Entretien
à l’intérieur de l’unité débrancher le câble d’alimentation. Arrêt d'urgence Pour arrêter la Special Turbo-V 1K-G en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Entretien La Special Turbo-V 1K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
Página 50: Mise Au Rebut
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur de l’appareil, la maison mère ou le revendeur, afin de donner lieu au processus de ramassage et d’élimination. 50/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 51: Manual De Istrucciones
Información general Almacenamiento 54 Preparación para la instalación 55 Instalación Fijación de la bomba 57 Encendido y Uso de la Special Turbo-V 1K-G 60 Parada de la Special Turbo-V 1K-G Parada de Emergencia 61 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Página 52: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 52/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 53: Información General
(45000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. Special Turbo-V 1K-G no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuada para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Página 54: Almacenamiento
Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. 54/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 55: Preparación Para La Instalación
Agilent. Preparación para la instalación Special Turbo-V 1K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Página 56: Instalación
+5 °C a +35 °C (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) humedad relativa: 0 – 95 % (no condensadora). Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba ¡ATENCIÓN! al sistema. 56/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 57: Fijación De La Bomba
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. Special Turbo-V 1K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede...
Página 58 Special Turbo-V 1K-G puede instalarse en cualquier posición. La Special Turbo-V 1K-G no puede fijarse utilizando su base. NOTA La Special Turbo-V 1K-G pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para...
Página 59: Uso
(véase el anexo “Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 59/258...
Página 60: Encendido Y Uso De La Special Turbo-V 1K-G
(periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. Parada de la Special Turbo-V 1K-G Para parar la Special Turbo-V 1K-G es suficiente desenchufarlo de la corriente. El controller detiene inmediatamente la bomba. 60/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 61: Mantenimiento
Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia la Special Turbo-V 1K-G es necesario desconectar del controller el cable de alimentación. Mantenimiento Special Turbo-V 1K-G no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá...
Página 62: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 62/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 63: Manual De Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 69 Utilização Acendimento e Utilização da Special Turbo-V 1K-G 72 Paragem da Special Turbo-V 1K-G Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 63/258...
Página 64: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 64/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 65: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. A Special Turbo-V 1K-G é uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo. A bomba é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é adequada para bombear líquidos ou partículas sólidas.
Página 66: Armazenagem
Soft-Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. 66/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 67: Preparação Para A Instalação
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a Special Turbo-V 1K-G e para não submetê-la a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Página 68: Instalação
“Technical Information”) humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante). Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. 68/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 69: Fixação Da Bomba
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". A Special Turbo-V 1K-G deve ser ligada a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). Fixação da bomba ATENÇAO!
Página 70 A classe de resistência dos parafusos de aço para as flanges "F" deve ser > 8.8 A Special Turbo-V 1K-G pode ser instalada em qualquer posição. A Special Turbo-V 1K-G não pode ser fixada por meio da sua base. NOTA A Special Turbo-V 1K-Gpertence à...
Página 71: Utilização
"Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 71/258...
Página 72: Acendimento E Utilização Da Special Turbo-V 1K-G
As seguintes instruções se aplicam à Special Turbo-V 1K-G usada em combinação com o Navigator controller. Para ligar a Special Turbo-V 1K-G é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
Página 73: Manutenção
Antes de realizar operações de manutenção no interno da unidade, desligar o cabo de alimentação. Paragem de Emergência Para deter a Special Turbo-V 1K-G em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. Manutenção A Special Turbo-V 1K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
Página 74: Eliminação
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. 74/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 75: Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76 Algemene informatie 77 Opslag 78 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 81 Gebruik Inschakeling en gebruik van de Special Turbo-V 1K-G 84 Afzetten van de Special Turbo-V 1K-G Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 86 Vertaling van de originele instructies 75/258...
Página 76: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 76/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 77: Algemene Informatie
De Special Turbo-V 1K-G is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen. De pomp is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Página 78: Opslag
Soft- Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. 78/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 79: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Special Turbo-V 1K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Página 80: Installatie
“Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend). Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. 80/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 81: Bevestiging Van De Pomp
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De Special Turbo-V 1K-G moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). Bevestiging van de pomp...
Página 82 5 Nm De klasse van de stalen schroeven voor de "F" flenzen moet > 8.8 zijn De Special Turbo-V 1K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. De Special Turbo-V 1K-G kan niet met behulp van zijn eigen basis worden OPMERKING bevestigd.
Página 83: Gebruik
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 83/258...
Página 84: Inschakeling En Gebruik Van De Special Turbo-V 1K-G
De volgende instructies zijn van toepassing op de Special Turbo-V 1K- G gebruikt in combinatie met de Navigator controller. Om de Special Turbo-V 1K-G in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
Página 85: Onderhoud
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om de Special Turbo-V 1K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Onderhoud De Special Turbo-V 1K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Página 86: Afvalverwerking
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Página 87: Istruktionsbog
Special Turbo-V 1K-G User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 93 Anvendelse Start og anvendelse af Special Turbo-V 1K-G 96 Stop af Special Turbo-V 1K-G Nødstop Vedligeholdelse 97 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 87/258...
Página 88: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 88/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 89: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (45.000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Special Turbo-V 1K-G er helt uden skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Hvis Special Turbo-V 1K-G pumpen anvences med Navigator controlleren, er den udstyret med hjælpestik, der gør det muligt at...
Página 90: Opbevaring
Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. 90/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 91: Forberedelse Før Installation
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Special Turbo-V 1K-G ikke tabes eller udsættes for stød eller vibrationer. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Página 92: Installation
+5 °C til + 35 °C (se illustrationen i bilaget “Technical Information”) relativ luftfugtighed: 0 – 95 % (ikke kondenserende) Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. 92/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 93: Fastgørelse Af Pumpe
Montér Special Turbo-V 1K-G i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm omkring dens egen akse.
Página 94 (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Special Turbo-V 1K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå...
Página 95: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 95/258...
Página 96: Start Og Anvendelse Af Special Turbo-V 1K-G
Start og anvendelse af Special Turbo-V 1K-G De nedenstående instruktioner gælder for Special Turbo-V 1K-G brugt sammen med Navigator controller. For at starte Special Turbo-V 1K-G er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Página 97: Vedligeholdelse
Før der foretages vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra. Nødstop Afbrydelse af Special Turbo-V 1K-G i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Vedligeholdelse Special Turbo-V 1K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale.
Página 98: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. 98/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 99: Bruksanvisning
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar100 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 103 Installation Fastsättning av pump 105 Användning Start och användning av Special Turbo-V 1K-G 108 Att stänga av Special Turbo-V 1K-G 108 Nödstopp Underhåll Bortskaff Översättning av originalinstruktionerna 99/258...
Página 100: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 100/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 101: Allmän Information
Systemet Special Turbo-V 1K-G är en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Pumpen kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte pumpen för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Página 102: Förvaring
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. 102/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 103: Förberedelser För Installationen
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer OBSERVER! p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Special Turbo-V 1K-G. Trots OBSERVERA det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Página 104: Installation
+5 °C till +35 °C (se bild i “Technical Information”) relativ luftfuktighet: 0 – 95 % (utan kondens) Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. 104/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 105: Fastsättning Av Pump
Fastsättning av pump Figur 2 I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Special Turbo-V 1K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). Fastsättning av pump VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas...
Página 106 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till Special Turbo-V 1K-G har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Página 107: Användning
(se bilagan “Technical Information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 107/258...
Página 108: Start Och Användning Av Special Turbo-V 1K-G
Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd. Att stänga av Special Turbo-V 1K-G Om du vill stänga av Special Turbo-V 1K-G behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
Página 109: Underhåll
Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av Special Turbo-V 1K-G. Underhåll Special Turbo-V 1K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Página 110: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. 110/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 111: Instruksjon Manual
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 112 Generell informasjon 113 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk 119 Starte og bruke Special Turbo-V 1K-G 120 Stoppe Special Turbo-V 1K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 111/258...
Página 112: Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 112/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 113: Generell Informasjon
Special Turbo-V 1K-G er en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuum. Pumpen kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke egnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Página 114: Lagring
Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering). Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. 114/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 115: Klargjøre Til Installasjon
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Special Turbo-V 1K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Página 116: Installasjon
+5 °C til +35 °C (se diagram i tillegget “Technical Information”) relativ fuktighet: 0 – 95 % (uten kondens) Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. 116/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 117: Festing Av Pumpen
Festing av pumpen Figur 2 Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Special Turbo-V 1K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment.
Página 118 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Special Turbo-V 1K-G har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
Página 119: Bruk
(argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information”). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 119/258...
Página 120: Starte Og Bruke Special Turbo-V 1K-G
“Waiting for interlock” den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand. Stoppe Special Turbo-V 1K-G Special Turbo-V 1K-G stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. 120/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 121: Vedlikehold
Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Special Turbo-V 1K-G i en nødsituasjon. Vedlikehold Special Turbo-V 1K-G er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må...
Página 122: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtaler og betingelser i kjøpekontrakten. 122/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 123: Ohjekäsikirja
Special Turbo-V 1K-G User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124 Yleisiä Tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 129 Käyttö 131 Special Turbo-V 1K-Gin käynnistys ja käyttö Special Turbo-V 1K-Gin pysäyttäminen Hätäpysäytys 133 Huolto 133 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 123/258...
Página 124: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 124/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 125: Yleisiä Tietoja
Special Turbo-V 1K-G -pumpussa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Kun Special Turbo-V 1K-G -pumppua käytetään Navigator controller - ohjaimen kanssa, siihen kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää...
Página 126: Varastointi
-20 °C - 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. 126/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 127: Valmistelut Asennusta Varten127
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Special Turbo-V 1K-G ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). HUOM On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Página 128: Asennus
2 baaria yli atmosfäärisen paineen lämpötila: +5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä) Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. 128/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 129: Pumpun Kiinnitys
Kuva 2 Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Special Turbo-V 1K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Pumpun kiinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia.
Página 130 Special Turbo-V 1K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Special Turbo-V 1K-G ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM Navigator controller -ohjaimella varustettu Special Turbo-V 1K-G kuuluu toiseen HUOMIO! EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset.
Página 131: Käyttö
(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 131/258...
Página 132: Special Turbo-V 1K-Gin Käynnistys Ja Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Special Turbo-V 1K-Gin käynnistys ja käyttö Seuraavat ohjeet koskevat Special Turbo-V 1K-G -pumppua, kun sitä käytetään yhdessä Navigator controller -ohjaimen kanssa. Special Turbo-V 1K-Gin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun.
Página 133: Huolto
Hätäpysäytys Special Turbo-V 1K-G on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli valvojasta. Huolto Special Turbo-V 1K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä...
Página 134: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 134/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 135: Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 136 Általános információk 137 Tárolás Előkészítés telepítésre 139 Telepítés A szivattyú rögzítése 141 Használat A Special Turbo-V 1K-G bekapcsolása és 144 A Special Turbo-V 1K-G kikapcsolása 144 Vészleállítás 145 Karbantartás Megsemmisítés 146 Az eredeti utasítás fordítása 135/258...
Página 136: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
– esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 136/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 137: Általános Információk
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Special Turbo-V 1K-G egy turbo-molekuláris szivattyú nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz. A szivattyú bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására.
Página 138: Tárolás
0 – 95 % (nem kondenzáló) A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. 138/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 139: Előkészítés Telepítésre
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A Special Turbo-V 1K-G kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és ne tegye ki bármilyen hirtelen ütésnek vagy rázkódásnak. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon.
Página 140: Telepítés
+5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet diagramot a „Technical Information” függelékben) relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. 140/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 141: A Szivattyú Rögzítése
és/vagy környezet károsodást okozhat. Rögzítse a Special Turbo-V 1K-Got stabil helyen, a turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 8900 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 141/258...
Página 142 A Special Turbo-V 1K-G bármely helyzetben telepíthető. A Special Turbo-V 1K-G nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A Navigator controlleres Special Turbo-V 1K-G a második telepítési (vagy FIGYELEM! túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Special Turbo-V 1K-Gnak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs...
Página 143: Használat
(lásd „Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 143/258...
Página 144: A Special Turbo-V 1K-G Bekapcsolása És
Az alábbi utasításokat a Navigator controllerrel együtt használt Special Turbo-V 1K-G esetében kell alkalmazni. A Special Turbo-V 1K-G bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Página 145: Karbantartás
Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A Special Turbo-V 1K-G vészhelyzetben való azonnali leállításához ki kell húzni a tápkábelt a hálózati dugaszból. Karbantartás A Special Turbo-V 1K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát arra jogosultsággal rendelkező...
Página 146: Megsemmisítés
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. 146/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 147: Podrecznik Instrukcji
Special Turbo-V 1K-G User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 149 Magazynowanie 150 Przygotowanie do instalacji 151 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie urządzenia Special Turbo-V 1K-G Zatrzymanie systemu Special Turbo-V 1K-G Zatrzymanie Alarmowe 157...
Página 148: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROŻENIE! Aby nie dopuścić do uszkodzenia aparatury i zapobiec obrażeniom cielesnym operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 148/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 149: Ogólne Informacje
Special Turbo-V 1K-G jest pompą turbomolekularną stosowsaną w przypadku wysokiej i ultra- wysokiej próżni. Pompa jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowana do pompowania płynów lub stałych cząstek.
Página 150: Magazynowanie
0 do 95 % ( bez opar) klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft- Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki. 150/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 151: Przygotowanie Do Instalacji
UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Pompa Special Turbo-V 1K-G, nie może być uszkodzona poprzez wystawienie jej PRZYPIS na działanie atmosfery. W związku z tym zaleca się, aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia...
Página 152: Instalacja
+ 5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w dodatku “Technical Information”) względna wilgoć 0 -95 % (bez opar). Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. 152/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 153: Mocowanie Pompy
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” Pompa Special Turbo-V 1K-G musi być podłączona do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”) Mocowanie pompy ZAGROŻENIE!
Página 154 Dla kołnierzy F śruby stalowe muszą posiadać klasę > 8.8 Pompa Special Turbo-V 1K-G może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji. Pompa Special Turbo-V 1K-G nie może być mocowana poprzez własną PRZYPIS podstawę. Pompa Special Turbo-V 1K-G Ze sterownikiem typu Navigator controller należy UWAGA! do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej przez normę...
Página 155: Użytkowanie
(Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek „Technical Information”). ZAGROŻENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 155/258...
Página 156: Włączenie I Użytkowanie Urządzenia Special Turbo-V 1K-G
Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie urządzenia Special Turbo-V 1K-G Niżej podane instrukcje mają zastosowanie w przypadku pompy Special Turbo-V 1K-G stosowanej razem ze sterownikiem typu Navigator controller. Aby włączyć pompę Special Turbo-V 1K-G wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność...
Página 157: Konserwacja
Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym pompę Special Turbo-V 1K-G należy odłączyć kabel zasilania ze sterownika. Konserwacja Pompa Special Turbo-V 1K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel.
Página 158: Przetworstwo Odpadow
Zaleca się użytkownikowi, po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w umowie sprzedaży, nawiązać kontakt z dostawcą lub sprzedawcą, w celu uruchomienia procesu zbiórki i przerobu. 158/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 159: Návod K Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160 Všeobecné Informace 161 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití 167 Zapnutí a používání vývěvy Special Turbo-V 1K-G Zastavení Special Turbo-V 1K-G 168 Nouzové zastavení 169 Údržba 169 Likvidace Překlad originálního návodu 159/258...
Página 160: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 160/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 161: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Special Turbo-V 1K-G je turbomolekulární vývěva, určená pro aplikace s vysokým a velmi vysokým vakuem.Vývěva může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs, ale není vhodná na čerpání...
Página 162: Uskladnění
10 měsíců ode dne doručení. POZOR! Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte 162/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 163: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva Special Turbo-V 1K-G nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Página 164: Instalace
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Special Turbo-V 1K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz schéma v části "Technical Information"). 164/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 165: Montáž Vývěvy
úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Upevněte Special Turbo-V 1K-G do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8900 Nm kolem své osy.
Página 166 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Special Turbo-V 1K-G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. 166/258...
Página 167: Použití
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information"). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 167/258...
Página 168: Zapnutí A Používání Vývěvy Special Turbo-V 1K-G
Následující pokyny se aplikují na Special Turbo-V 1K-G použitou v kombinaci se zařízením Navigator controller. Pro uvedení vývěvy Special Turbo-V 1K-G do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.
Página 169: Údržba
Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení Special Turbo-V 1K-G v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky. Údržba Special Turbo-V 1K-G nevyžaduje žádnou údržbu.
Página 170: Likvidace
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 170/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 171: Návod Na Obsluhu
Special Turbo-V 1K-G User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 173 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 175 Inštalácia Upevnenie vývevy 177 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Special Turbo-V 1K-G Zastavenie Special Turbo-V 1K-G 180 Núdzové zastavenie Údržba 181...
Página 172: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 172/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 173: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. La Special Turbo-V 1K-G je turbomolekulárna výveva, určená pre aplikácie s vysokým a veľmi vysokým vákuom.Výveva dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je však vhodná...
Página 174: Uchovávanie
-20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. 174/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 175: Príprava Na Inštaláciu
Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby Special Turbo-V 1K-G nespadla a nevystavujte ju náhlym nárazom, otrasom alebo vibráciám. Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100 % recyklovateľný...
Página 176: Inštalácia
+5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v dodatku “Technical Information”) relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzácie) Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu POZOR! k systému. 176/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 177: Upevnenie Vývevy
časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. Upevnite Special Turbo-V 1K-G do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8900 Nm okolo vlastnej osi.
Página 178 žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k k Special Turbo-V 1K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. 178/258...
Página 179: Použitie
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 179/258...
Página 180: Zapnutie A Použitie Zariadenia Special Turbo-V 1K-G
(interval asi 200 ms): chybový stav Zastavenie Special Turbo-V 1K-G Ak chcete zastaviť Special Turbo-V 1K-G, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. 180/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 181: Údržba
škody alebo smrť. Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru. Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie Special Turbo-V 1K-G okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. Údržba Special Turbo-V 1K-G nevyžaduje žiadnu údržbu.
Página 182: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 182/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 183: Priročnik Za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184 Splošne Informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Priprava za montažo Uporaba Vklop in uporaba naprave Special Turbo-V 1K-G Izklop naprave Special Turbo-V 1K-G 192 Zaustavitev v sili 193 Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 183/258...
Página 184: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja, morate natančno slediti navodilom za nameščanje, opisanim v tem priročniku! 184/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 185: Splošne Informacije
Special Turbo-V 1K-G je turbomolekularna črpalka za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Črpalka lahko črpa vse tipe plinov ali plinskih zmesi, vendar ni primerna za črpanje tekočin ali trdnih delcev.
Página 186: Shranjevanje
-20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko. Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. 186/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 187: Priprava Za Montažo
Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent. Priprava za montažo Special Turbo-V 1K-G je dobavljen v posebni zaščitni embalaži; če je embalaža poškodovana zaradi transporta, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odstranjevanju embalaže pazite, da vam Special Turbo-V 1K-G ne pade iz rok in da ni izpostavljen tresljajem ali udarcem.
Página 188: Montaža
Temperatura: od +5 °C do +35 °C (glej diagram pritisk- temperatura v prilogi “Technical Information”) Relativna vlažnost: 0 – 95 % (brez kondenza). Snemite lepilni trak in zaščitni pokrov šele takrat, ko povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. 188/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 189: Pritrjevanje Črpalke
Namestite Special Turbo-V 1K-G v stabilen položaj tako, da montirate dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu, da povezava lahko zdrži navor 8900 Nm okoli svoje osi.
Página 190 POZOR! drugo kategorijo za nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priključite na napetost, ki je v skladu z zgornjo kategorijo. Naprava Special Turbo-V 1K-G ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na Special Turbo-V 1K-G, primerna tudi v primeru ene napake, kot je...
Página 191: Uporaba
(glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Ko črpalko uporabljate pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 191/258...
Página 192: Vklop In Uporaba Naprave Special Turbo-V 1K-G
Vklop in uporaba naprave Special Turbo-V 1K-G Sledeča navodila veljajo pri uporabi Special Turbo-V 1K-G v kombinaciji z Navigator controller. Za vklop Special Turbo-V 1K-G je dovolj že dovajanje napajalne napetosti. Vgrajeni controller avtomatsko zazna prisotnosti signalov za spajanje in zagon ter zažene črpalko.
Página 193: Vzdrževanje
Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti, izvlecite napajalni kabel. Zaustavitev v sili Za takojšen izklop naprave Special Turbo-V 1K-G je treba izključiti napetostni kabel iz napetosti. Vzdrževanje Naprave Special Turbo-V 1K-G ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
Página 194: Odlaganje Opadkov
Zato je potrebno, da se uporabnik že pri sklenitvi kupoprodajne pogodbe seznani pri prodajalcu o postopkih posebnega odlaganja oziroma ločevanja. 194/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 195: Instructions For Use
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196 General Information Storage Preparation for Installation 199 Installation Pump Fixing Switching on and Use of Special Turbo-V 1K-G 204 Special Turbo-V 1K-G Switching off 204 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 195/258...
Página 196: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 196/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 197: General Information
The Special Turbo-V 1K-G is turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications. It can pump any type of gas or gas compound.
Página 198: Storage
10 months from the shipping date. 198/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 199: Preparation For Installation
Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for Installation The Special Turbo-V 1K-G is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.
Página 200: Installation
+5 °C to +35 °C (see the diagram pressure- temperature in the appendix “Technical Information”) relative humidity: 0 – 95 % (non-condensing) Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the CAUTION! turbopump to the system. 200/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 201: Pump Fixing
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Special Turbo-V 1K-G must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). Pump Fixing If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be WARNING! subjected to a significant torque.
Página 202 Be sure that the insulation of the device connected to the Special Turbo-V 1K-G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Página 203: Use
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive WARNING! gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 203/258...
Página 204: Switching On And Use Of Special Turbo-V 1K-G
The following instructions apply to the Special Turbo-V 1K-G used togheter with Navigator Controller. To switch on the Special Turbo-V 1K-G it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Página 205: Maintenance
Before servicing the unit, disconnect the input power cable. Emergency Stop To immediately stop the Special Turbo-V 1K-G in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug.
Página 206: Disposal
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. 206/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 207: Technical Information
Special Turbo-V 1K-G User Manual Technical Information Pump Description 209 969-8978M002 Controller Description 210 Technical Specification 211 Special Turbo-V 1K-G outline Interconnections 215 P3 – Vent P4 – External Fan 217 J1 - In-Out Signal Description 218 How to Connect the Output Open Collector of the...
Página 208 Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation 247 Bottom Mounting 248 Fore-Vacuum Pump Connection 249 Electrical Connection Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 208/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 209: Pump Description
The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 NW flange. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 209/258...
Página 210: 969-8978M002 Controller Description
AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). 210/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 211: Technical Specification
Water Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) Temperature: +10 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level <45 dB(A) at 1 meter Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 211/258...
Página 212 ISO 160 flange 26.8 (59.1) Navigator Controller 5.4 (12) When the Special Turbo-V 1K-G has been stored at a temperature less than 5°C, NOTE wait until the system has reached the above mentioned temperature. 212/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 213: Special Turbo-V 1K-G Outline
Technical Information Special Turbo-V 1K-G outline Special Turbo-V 1K-G outline The following figures show the Special Turbo-V 1K-G outlines (dimensions are in inches [mm]). Turbo-V 1K-G Turbo-V 1K-G Figure 3 869-8961 (ISO 160 F inlet flange – KF25 foreline flange)
Página 214 Technical Information Special Turbo-V 1K-G outline Figure 4 Pumping speed diagram for 869-8961 turbopump model, with a 20 m /h foreline pump Figure 5 Graph of compression ratio vs foreline pressure 214/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 215: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the Special Turbo-V 1K-G interconnections with Navigator controller. Technical information described in the following paragraphs refer to the NOTE standard Navigator controller (model 969-8978). Compared to standard model 969-8978, controller model 969-8978M002 has the following special...
Página 216: P3 - Vent
Technical Information P3 – Vent Figure 6 P3 – Vent Figure 7 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 216/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 217: P4 - External Fan
This connector carries all the input and output signals to remote control the Special Turbo-V 1K-G. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 217/258...
Página 218: Signal Description
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-) signal to the GROUND pin. 218/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 219 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 219/258...
Página 220 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency threshold: 500 Hz hysteresis: 1 % actiation type: "high level" 220/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 221 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 221/258...
Página 222: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller
How to Connect the Output Open Collector of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Special Turbo-V 1K-G to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Página 223 Technical Information J1 - In-Out Figure 14 Case 1 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 223/258...
Página 224 Technical Information J1 - In-Out Figure 15 Case 2 with relay utilisation 224/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 225 Technical Information J1 - In-Out Figure 16 Case 2 with transistor utilisation Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 225/258...
Página 226: How To Connect The Outputs Of The Controller
Typical output connection J2 – Serial Figure 18 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Special Turbo-V 1K-G. 226/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 227 RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 227/258...
Página 228: Rs 232/Rs 485 Communication Description
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); 2. the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: 228/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 229 <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 229/258...
Página 230 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for 1 byte (0x35) example you can’t write the Disabled Soft Start when the Pump is running) 230/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 231: Examples
RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 231/258...
Página 232 RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 232/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 233: Window-Meanings
Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Intercooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 233/258...
Página 234 On command = 1 (see note 2.) Vent valve opening 0 to 65535 delay (corresponding to 0 to 13107 (expressed in 0.2 sec) sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA Pump voltage in Vdc 234/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 235 (where “XXXX” are variable) Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 235/258...
Página 236 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 19 Window N. 206 Bit Description 236/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 237: Inlet Screen Installation
The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 21 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 237/258...
Página 238 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 22 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. ISO 160F DIMENSIONS: mm [inches] Figure 23 238/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 239: Water Cooling Kit Installation
Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted. The Special Turbo-V 1K-G must be always water cooled. The two model part numbers are: 969-9825 and 969-9826. Figure 24 Model 969-9825 The customer can alternatively order the 90 °...
Página 240 The items of the kit 969-9826 kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 26 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 27 240/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 241 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 μs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 241/258...
Página 242: Vent Accessories
This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). 242/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 243 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 243/258...
Página 244: Vent Device Model 969-9831
Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o- ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. 244/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 245: Purge Valve Installation
To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 34 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 245/258...
Página 246 Technical Information Purge Valve Installation and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 35 246/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 247: Serial Cable Installation
SERIAL CABLE Figure 36 Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation The controller can be mounted on the pump bottom. To install the controller execute the following procedures. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 247/258...
Página 248: Bottom Mounting
Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 37 248/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 249: Fore-Vacuum Pump Connection
Special Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 25 NW is available to connect the Special Turbo-V 1K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Página 250: Pump Used With Corrosive Gases
Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. 250/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 251: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A) 251/258...
Página 252: Accessories And Spare Parts
Dry pump TriScroll 600, with 1 ph, worldwide motor PTS06001UNIV Dry pump TriScroll 600, with 3 ph, worldwide motor PTS06003UNIV Dry pump TriScroll 600 inverter, with 1 ph, worldwide motor PTS06001INV 252/258 Special Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-006-01 (A)
Página 258 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

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