Página 1 Turbo-V 2K-G Pumping System Models 969-8871 969-8873 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-900-968-01 (G) 04/2011...
Página 2: Trademarks
Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Página 3 Turbo-V 2K-G Turbo-V 2K-G Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G) 3/372...
Página 4 Turbo-V 2K-G 4/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 5: Tabla De Contenido
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione 20 Uso 23 Manutenzione 28 Smaltimento 29 Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung 35 ...
Página 6 Contents Mode d’emploi 49 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 50 Indications generales 51 Stockage 53 Preparation pour l‘installation 54 Installation 56 Utilisation 59 Entretien 64 Mise au rebut 65 Manual de istrucciones 67 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 68 ...
Página 7 Contents Preparação para a instalação 90 Instalação 92 Utilização 95 Manutenção 100 Eliminação 101 Bedrijfshandleiding 103 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie 105 Opslag 107 Uitpakken 108 Installatie 110 Gebruik 113 Onderhoud 118 Afvalverwerking 119 Istruktionsbog 121 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 122 ...
Página 8 Contents Bortskaffelse 137 Bruksanvisning 139 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information 141 Förvaring 143 Förberedelser för installationen 144 Installation 146 Användning 149 Underhåll 154 Bortskaffning 155 Instruksjon Manual 157 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 158 Generell informasjon 159 Lagring 161 Klargjøre til installasjon 162 ...
Página 9 Contents Varastointi 177 Valmistelut asennusta varten178 Asennus 180 Käyttö 183 Huolto 188 Hävittäminen 189 11 Felhasználói Kézikönyv 191 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 192 Általános információk 193 Tárolás 195 Előkészítés telepítésre 196 Telepítés 198 Használat 201 Karbantartás 206 Megsemmisítés 207 12 Podrecznik Instrukcji 209 ...
Página 10 Contents Konserwacja 224 Przetworstwo odpadow 225 13 Návod k Použití 227 Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace 229 Uskladnění 231 Příprava k instalaci 232 Instalace 234 Použití 237 Údržba 242 Likvidace 243 14 Návod na Obsluhu 245 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 246 ...
Página 11 Contents Splošne informacije 265 Shranjevanje 267 Priprava za montažo 268 Montaža 270 Uporaba 273 Vzdrževanje 278 Odlaganje opadkov 279 16 Instructions for Use 281 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information 283 Storage 285 Preparation for Installation 286 Installation 288 Use 291 ...
Página 12 Contents MoniTorr 330 Profibus Option 343 Profibus Message Mapping 349 Inlet Screen Installation 359 Water Cooling Connection 361 Pump Purging and Venting 362 High Vacuum Flange Connection 364 Fore-Vacuum Pump Connection 365 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 365 Orderable Parts 366 ...
Página 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso della Turbo-V 2K-G 24 Come avviare il sistema 24 Come arrestare la Turbo-V 2K-G 27 Arresto di Emergenza 27 Manutenzione Smaltimento...
Página 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Página 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Página 17: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C umidità...
Página 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 2K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Página 19 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 Nell’imballo della Turbo-V 2K-G sono compresi: pompa con controller integrato inlet screen (montato) questo manuale su CD-ROM sacchetto accessori controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL”...
Página 20: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi AVVERTENZA! attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati praticati sul corpo pompa. Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema.
Página 21: Uso
Istruzioni per l’uso Installazione Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice “Technical Information”) umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi.
Página 22 Istruzioni per l’uso Installazione La Turbo-V 2K-G appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Utilizzare i controconnettori in dotazione per garantire l'isolamento IP-54. La Turbo-V 2K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Página 23: Uso
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Página 24: Uso Della Turbo-V 2K-G
Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, Argon e gas più...
Página 25 Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 2K-G si avvia automaticamente. Il controller viene fornito già connesso meccanicamente ed elettricamente alla ATTENZIONE! pompa. La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autorizzato dalla Agilent Vacuum Technologies.
Página 26 Istruzioni per l’uso Figura 3 Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 2K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è...
Página 27: Come Arrestare La Turbo-V 2K-G
Istruzioni per l’uso Come arrestare la Turbo-V 2K-G Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi: togliendo il controconnettore di I/O in dotazione inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information") inviando un segnale di STOP da remoto tramite l'interfaccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485...
Página 28: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il Turbo-V 2K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Página 29: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Página 30 Istruzioni per l’uso Smaltimento 30/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 31: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Benutzung der Turbo-V 2K-G42 Ingangsetzung des Systems 42 Stillsetzung der Turbo-V 2K-G Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/372...
Página 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Página 33: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 34 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Página 35: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu...
Página 36: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell Turbo-V 2K-G wird in einer speziellen Schutzverpa-ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 2K-G ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Página 37 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 Verpackungsinhalt der Turbo-V 2K-G: Pumpe mit integriertem Controller Inlet-Screen (montiert) Betriebsanleitung auf CD-ROM Beutel mit Zubehör Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den seriellen Anschluss Gegenkonnektor mit 9 PINs "Network"...
Página 38: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten Hebe- und WARNUNG! Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindebohrungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind. Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden.
Página 39 Gebrauchsanleitung Installation Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck Temperatur: von +5 °C bis +40 °C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen.
Página 40 Gebrauchsanleitung Installation Der Turbo-V 2K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnektoren zu verwenden. Der Turbo-V 2K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...
Página 41: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten. Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers niemals 120 °C überschreiten.
Página 42: Benutzung Der Turbo-V 2K-G
Gebrauchsanleitung Gebrauch WARNUNG! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert.
Página 43 Gebrauchsanleitung Gebrauch Das Signal START von der Fernsteuerung über die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description" im Anhang "Technical Information"). WARNUNG! Wenn die Spannung zugeschaltet und der Gegenkonnektor mit 15 PINs angeschlossen ist, startet die Turbo-V 2K-G automatisch. Im Lieferumfang ist der mechanisch und elektrisch an die Pumpe VORSICHT! angeschlossene Controller enthalten.
Página 44 Gebrauchsanleitung Gebrauch Um die Schutzart IP-54 aufrechtzuerhalten, sind ausschließlich die mit der HINWEIS Pumpe mitgelieferten Konnektoren zu verwenden. Für das Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957 oder 969-9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe nachstehende Abbildung).
Página 45: Stillsetzung Der Turbo-V 2K-G
Gebrauchsanleitung Gebrauch Stillsetzung der Turbo-V 2K-G Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglichkeiten: Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Information"). Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description"...
Página 46: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 2K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Página 47: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Página 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 49: Mode D'emploi
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales 51 Stockage Preparation pour l‘installation 54 Installation Utilisation Utilisation de la pompe Turbo-V 2K-G60 60 Mise en marche du système 60 Arrêt du système 63 Arrêt d’urgence Entretien Mise au rebut...
Página 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Página 51: Indications Generales
Mode d’emploi Indications generales Indications generales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 52 Mode d’emploi Indications generales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage.
Página 53: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température : de –20 °C à...
Página 54: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Preparation pour l‘installation Le Turbo-V 2K-G est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Página 55 Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Figure 1 La pompe Turbo-V 2K-G comprend : Pompe avec contrôleur intégré. Protection d’entrée (montée). CD-Rom contenant cette notice d’utilisation. Sachet d’accessoires. Connecteur à 15 voies “REMOTE I/O” IP-54 avec toutes les connexions nécessaires à la mise en marche de la pompe. Connecteur à...
Página 56: Installation
Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des équipements de levage et de déplacement appropriés. Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés sur le corps de la pompe. Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système.
Página 57 Mode d’emploi Installation Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...
Página 58 Mode d’emploi Installation La Turbo pompe V 2K-G ne peut être fixée à l’aide de son socle. Le système peut NOTE être fixé uniquement à l’aide de sa bride ISO 250F. La fixation doit être réalisée en conformité à la norme ISO 1609. Il est nécessaire d’utiliser des boulons en acier ayant une classe de résistance minimum de 500 N/mm Le Turbo-V 2K-G appartient à...
Página 59: Utilisation
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Página 60: Utilisation De La Pompe Turbo-V 2K-G
Mode d’emploi Utilisation Ne jamais utiliser la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosives ATTENTION! pouvant endommager les composants internes de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Página 61 Mode d’emploi Utilisation Brancher le connecteur E/S fourni. Donner le signal de START à distance à travers le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information"). Donner le signal de START à distance à travers l’interface sérielle RS 232/485 (Cf.
Página 62 Mode d’emploi Utilisation Pour garantir l’indice de protection IP-54 n’utiliser que les connecteurs fournis NOTE avec la pompe. Pour l’alimentation, utiliser exclusivement un câble type PN: 969-9957 ou 969-9958, et le fixer au contrôleur à l’aide de la bride prévue (voir la figure ci-dessous).
Página 63: Arrêt Du Système
Mode d’emploi Utilisation Arrêt du système Pour arrêter la pompe, opérer dans l’un des modes suivants : Débrancher le connecteur E/S. Envoyer un signal de STOP à distance à travers le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information").
Página 64: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 2K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Página 65: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Página 66 Mode d’emploi Mise au rebut 66/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 67: Manual De Istrucciones
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 68 Información general Almacenamiento 71 Preparación para la instalación 72 Instalación Uso de Turbo-V 2K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema Cómo detener la Turbo-V 2K-G Parada de Emergencia 81 Mantenimiento Eliminación...
Página 68: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Página 69: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Página 70 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al equipo.
Página 71: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Página 72: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 2K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el Turbo-V 2K-G y de no someterlo a golpes o vibraciones.
Página 73 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 El embalaje de la Turbo-V 2K-G contiene: bomba con controlador integrado inlet screen (montado) el presente manual en CD-ROM bolsa con accesorios ensamble de conector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54 que incluye las conexiones necesarias para reactivar la bomba ensamble de conector de 9 vías “SERIAL”...
Página 74: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento. Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el cuerpo de la bomba misma. No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema.
Página 75 Manual de istrucciones Instalación Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica temperatura: de +5ºC a +40ºC (véase gráfico en el anexo “Technical Information”) humedad relativa: 0-95% (no condensadora). Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas.
Página 76 Manual de istrucciones Instalación El Turbo-V 2K-G pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) ¡ATENCIÓN! prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. Para garantizar el aislamiento IP-54 deben utilizarse los ensambles de conectores suministrados adjuntos.
Página 77: Uso
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 °C. Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor no deberá...
Página 78: Uso De Turbo-V 2K-G
Manual de istrucciones Nunca usar la bomba en presencia de gases o vapores corrosivos que puedan ¡ATENCIÓN! dañar los materiales del interior de la bomba. ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
Página 79 Manual de istrucciones dar la señal de START de remoto mediante el conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information"); dar la señal de START de remoto mediante la interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description"...
Página 80 Manual de istrucciones Al activar la Turbo-V 2K-G por primera vez, el controlador activa NOTA automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START). El sistema se activa paso a paso hasta alcanzar la plena velocidad, en un lapso comprendido entre 10 minutos y 1 hora.
Página 81: Parada De Emergencia
Manual de istrucciones Cómo detener la Turbo-V 2K-G La detención de la bomba podrá efectuarse aplicando una de las siguientes modalidades: retirando el ensamble conector de I/O suministrado adjunto; enviando una señal de STOP de remoto mediante el conector I/O (véase el apartado "J1 –...
Página 82: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Página 83: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Página 84 Manual de istrucciones Eliminación 84/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 85: Manual De Istruções
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Uso da Turbo-V 2K-G Como activar o sistema 96 Como parar a Turbo-V 2K-G 99 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...
Página 86: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Página 87: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 88 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à...
Página 89: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C umidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante) ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o...
Página 90: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 2K-G é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
Página 91 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 A embalagem da Turbo-V 2K-G contém: bomba com controller integrado inlet screen (montado) este manual em CD-ROM sacos dos acessórios conector conjugado de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com todas as ligações necessárias para activar a bomba.
Página 92: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! Devido ao seu peso, a bomba deve ser manuseada com a ajuda de equipamentos de levantamento e deslocação específicos. Para tal, utilizar as respectivas cavilhas montadas nos furos roscados existentes no corpo da bomba. Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema.
Página 93 Manual de Istruções Instalação Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica temperatura: de + 5ºC a + 40ºC (consultar a planilha no apêndice “Technical Information”) humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas.
Página 94 Manual de Istruções Instalação O Turbo-V 2K-G pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. Utilizar os conectores conjugados fornecidos de série para garantir o isolamento IP-54. O Turbo-V 2K-G tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão.
Página 95: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
Página 96: Uso Da Turbo-V 2K-G
Manual de Istruções Utilização Jamais usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam CUIDADO! danificar os materiais no interior da bomba. ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos.
Página 97 Manual de Istruções Utilização ligar o conector conjugado I/O fornecido de série. dar o comando remoto de START utilizando o conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”). dar o comando remoto de START utilizando o interface série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description”...
Página 98 Manual de Istruções Utilização Para manter o nível de protecção IP-54 utilizar exclusivamente os conectores NOTA fornecidos com a bomba. Para o cabo de alimentação usar unicamente os PN: 969-9957 ou 969-9958, e fixar o cabo ao controller utilizando a braçadeira específica (ver a figura que se segue).
Página 99: Como Parar A Turbo-V 2K-G
Manual de Istruções Utilização Como parar a Turbo-V 2K-G Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes métodos: retirando o conector conjugado de I/O fornecido de série. dando o comando remoto de STOP através do conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”).
Página 100: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Página 101: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Página 102 Manual de Istruções Eliminação 102/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 103: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie 105 Opslag 107 Uitpakken Installatie Gebruik Gebruik van de Turbo-V 2K-G Hoe wordt het systeem gestart 114 Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt 117 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 119 Vertaling van de originele instructies 103/372...
Página 104: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Página 105: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 106 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding hanteert de volgende symbolen: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan VOORZICHTIG! apparatuur kunnen veroorzaken.
Página 107: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend) de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-...
Página 108: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Turbo-V 2K-G wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Página 109 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 In de verpakking van de Turbo-V 2K-G zijn aanwezig: pomp met geïntegreerde controller inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM zak met accessoires 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL”...
Página 110: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale hef- en transportwerktuigen worden gehanteerd. Gebruik hiervoor de speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het pomplichaam. Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden.
Página 111 Bedrijfshandleiding Installatie Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur: van +5 °C tot +40 °C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden.
Página 112 Bedrijfshandleiding Installatie De Turbo-V 2K-G behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Gebruik de bijgeleverde contraconnectoren om de beveiligingsgraad IP-54 te garanderen. De Turbo-V 2K-G bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is.
Página 113: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen. Tijdens de werking van de pomp, mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden.
Página 114: Gebruik Van De Turbo-V 2K-G
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik de pomp nooit bij corrosieve gassen of dampen die het materiaal aan de VOORZICHTIG! binnenkant van de pomp kunnen beschadigen. WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Página 115 Bedrijfshandleiding Gebruik sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan geeft het START signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information") geef het START signaal op afstand via de seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description"...
Página 116 Bedrijfshandleiding Gebruik Om de beveiligingsgraad IP-54 te behouden, mogen uitsluitend de bij de pomp OPMERKING geleverde connectoren gebruikt worden. Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of 969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur). Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen.
Página 117: Hoe Wordt De Turbo-V 2K-G Gestopt
Bedrijfshandleiding Gebruik Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden worden gebruikt: verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information") verzending van een STOP signaal op afstand via de seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication...
Página 118: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De Turbo-V 2K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Página 119: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Página 120 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 120/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 121: Istruktionsbog
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Brug af Turbo-V 2K-G Start af systemet 132 Afbrydelse af Turbo-V 2K-G 134 Nødstop Vedligeholdelse 136 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 121/372...
Página 122: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Página 123: Generel Information
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Página 124 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standard-rubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Página 125: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
Página 126: Forberedelse Før Installation
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation Turbo-V 2K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Página 127 Istruktionsbog Forberedelse før installation Figur 1 Emballagen med Turbo-V 2K-G indeholder: Pumpe med indbygget styreenhed Indgangsflange (monteret) Cd-rom med denne manual Pose med tilbehør 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af pumpen 9-benet “SERIAL”...
Página 128: Installation
Istruktionsbog Installation Installation På grund af dens vægt skal pumpen håndteres ved hjælp af passende løfte- ADVARSEL! og transportudstyr. Benyt øjeboltene, der er fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset. Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet.
Página 129 Istruktionsbog Installation Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk temperatur: fra +5 °C til + 40 °C (se illustrationen i bilaget “Technical Information”) relativ luftfugtighed: 0 – 95 % (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes.
Página 130 Istruktionsbog Installation Turbo-V 2K-G hører til den anden installationsklasse (eller overspændingsklasse) FORSIGTIG! jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Benyt de medleverede kontakter for at sikre opretholdelse af IP-54 isoleringsbeskyttelsen. Turbo-V 2K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation.
Página 131: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C. Rotorens temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse med brug af pumpen.
Página 132: Brug Af Turbo-V 2K-G
Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for kvælstof, argon og lettere gasarter. Kontakt Agilents tekniske servicecenter vedrørende yderligere oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er tungere end argon.
Página 133 Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Turbo-V 2K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIGITG! Det er kun personale fra Agilent Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset.
Página 134: Afbrydelse Af Turbo-V 2K-G
Istruktionsbog Anvendelse Figur 3 Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et signal for tilstand. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V 2K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation langsomme blink: (periode på...
Página 135 Istruktionsbog Anvendelse Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 2K-G i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Det er vigtigt at notere, at denne operation, ud over at afkoble fuldstændigt pumpens tilførsel, afkobler desuden også alle de andre controller funktioner, som for eksempel drift af Purge og af den Kontrollerede Ventilation og muligheden for at kommunikere med systemet hvortil pumpen er blevet tilsluttet ved brug af I/Os, Seriel eller Profibus forbindelse.
Página 136: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 2K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Página 137: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Página 138 Istruktionsbog Bortskaffelse 138/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 139: Bruksanvisning
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 144 Installation Användning Användning av Turbo-V 2K-G Hur du startar systemet Hur du stoppar Turbo-V 2K-G Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 139/372...
Página 140: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Página 141: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Página 142 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standard-rubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Página 143: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången.
Página 144: Förberedelser För Installationen
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen Turbo-V 2K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på...
Página 145 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Figur 1 Turbo-V 2K-G förpackning innehåller: Pump med inbyggd styrenhet Intagsfläns (monterad) Denna bruksanvisning på CD-ROM Påse med tillbehör 15-polig kontakt IP54 "REMOTE I/O" med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt IP54 "SERIAL" som används för den seriella anslutningen 9-polig kontakt "Network"...
Página 146: Installation
Bruksanvisning Installation Installation På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga lyft- och VARNING! flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna som är fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet.
Página 147 Bruksanvisning Installation maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) temperatur: från +5 °C till +40 °C (se bild i “Technical Information”) relativ luftfuktighet: 0 – 95 % (utan kondens). I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information").
Página 148 Bruksanvisning Installation Turbo-V 2K-G tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) OBSERVER! enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. Använd de medlevererade kontakterna för att uppnå kapslingklass IP54. Turbo-V 2K-G är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så...
Página 149: Användning
Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80 °C. När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig överstiga 120 °C.
Página 150: Användning Av Turbo-V 2K-G
Bruksanvisning Användning VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve, argon och lättare gaser. Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon, kontakta Agilents tekniska service för information.
Página 151 Bruksanvisning Användning VARNING! När strömmen är påslagen och den 15-poliga kontakten (medföljer vid leveransen) är isatt startar Turbo-V 2K-G automatiskt. Styrenheten levereras mekaniskt och elektriskt ansluten till pumpen. OBSERVER! Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast göras av auktoriserad personal från Agilent Vacuum Technologies. När du använder Turbo-V 2K-G för första gången startas systemet automatiskt av OBSERVERA styrenheten med en speciell procedur som skyddar lagren mot eventuella skador...
Página 152 Bruksanvisning Användning Figur 3 Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 2K-G anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt; långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock";...
Página 153: Hur Du Stoppar Turbo-V 2K-G
Bruksanvisning Användning Hur du stoppar Turbo-V 2K-G Systemet kan stoppas på något av följande sätt: Ta bort den medlevererade I/O-kontakten Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O” i bilagan “Technical Information”) Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via det seriella gränssnittet RS232/485 (se avsnitt “RS232/485 Communication Description”...
Página 154: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 2K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Página 155: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Página 156 Bruksanvisning Bortskaffning 156/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 157: Instruksjon Manual
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 167 Bruk av Turbo-V 2K-G 168 Hvordan starte opp systemet Hvordan stoppe Turbo-V 2K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 157/372...
Página 158: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Página 159: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Página 160 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne veiledningen bruker følgende standard-protokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.
Página 161: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering). Kunden må...
Página 162: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 2K-G leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Página 163 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 I esken med Turbo-V 2K-G finnes følgende: Pump med inbyggd styrenhet Intagsfläns (monterad) Denna bruksanvisning på CD-ROM Påse med tillbehör 15-polig kontakt IP54 "REMOTE I/O" med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt IP54 "SERIAL"...
Página 164: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon På grunn av pumpens vekt må den flyttes med egnede løfte- og ADVARSEL ! flytteredskaper. Bruk øyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene på pumpehuset. Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på...
Página 165 Instruksjon Manual Installasjon maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) temperatur: fra +5°C til +40°C (se diagram i tillegget “Technical Information”) relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Turbo-V 2K-G må...
Página 166 Instruksjon Manual Installasjon Turbo-V 2K-G hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i FORSIKTIG! følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. Bruk kontaktene som følger med for å garantere IP54 beskyttelsen. Turbo-V 2K-G er utstyrt med koplingsstykker for inn- /utgangene og seriekommunikasjonen som må...
Página 167: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C. Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri overstige 120 °C.
Página 168: Bruk Av Turbo-V 2K-G
Instruksjon Manual Bruk Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale FORSIKTIG! inne i pumpen. ADVARSEL ! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Página 169 Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL ! Turbo-V 2K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIKTIG! Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres av autorisert personale fra Agilent Vacuum Technologies.
Página 170: Hvordan Stoppe Turbo-V 2K-G
Instruksjon Manual Bruk Figur 3 Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal. Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 2K-G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: den lyser fast: pumpen roterer normalt den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock”...
Página 171: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 2K-G i en nødsituasjon. Det må i alle tilfeller tas med i beregningen at dette inngrepet, foruten å koble ut pumpens mating fullstendig, kobler også ut alle andre funksjoner for kontrolleren, som for eksempel styring av Purge og kontrollert Vent samt evnen til å...
Página 172: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Página 173: Ohjekäsikirja
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 174 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 183 Turbo-V 2K-G -pumpun käyttö Järjestelmän käynnistys Turbo-V 2K-G -pumpun pysäytys 187 Hätäpysäytys 187 Huolto 188 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 173/372...
Página 174: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 174/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 175: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Página 176 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vaurioitumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.. HUOM 176/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 177: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää...
Página 178: Valmistelut Asennusta Varten
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 2K-G toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 2K-G putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Página 179 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 2K-G -pumpun pakkauksessa on: pompa con controller integrato inlet screen (montato) questo manuale su CD-ROM sacchetto accessori controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL”...
Página 180: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla nosto- ja VAROITUS! siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin. Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään.
Página 181 Ohjekäsikirja Asennus Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 bar yli atmosfäärisen paineen lämpötila: + 5 °C - +40 °C (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla.
Página 182 Ohjekäsikirja Asennus Turbo-V 2K-G kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen HUOMIO! asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. Käytä ohessa toimitettuja liittimiä taataksesi IP54-eristyksen. Turbo-V 2K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä...
Página 183: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta. Pumpun toiminnan aikana roottorin lämpötila ei saa koskaan olla yli 120 °C. Käyttäjän tulee varmistaa oikea toimintatapa pumpattavan kaasun mukaan: 1 typelle ja kevyille kaasuille, 0 argonille (oletustapa).
Página 184 Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä, argonia ja kevyitä kaasuja. Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä lisätietoja Agilentin teknisestä...
Página 185 Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS ! Kytkettäessä sähkö päälle 15-nastaisen liittimen ollessa liitettynä Turbo-V 2K-G käynnistyy automaattisesti. Valvoja toimitetaan pumppuun mekaanisesti ja sähköisesti kytkettynä. Valvojan HUOMIO! saa irrottaa pumpun rungosta ainoastaan Agilent Vacuum Technologies - yrityksen valtuuttama henkilö. Kun Turbo-V 2K-G käynnistetään ensimmäisen kerran, valvoja käynnistää HUOM järjestelmän automaattisesti erikoistoimenpiteellä, joka suojaa laakereita vaurioilta (SOFT START).
Página 186 Ohjekäsikirja Käyttö Kuva 3 Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 2K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Página 187: Turbo-V 2K-G -Pumpun Pysäytys
Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 2K-G -pumpun pysäytys Pysäytä pumppu yhdellä seuraavista tavoista: Poista ohessa toimitettu I/O-liitin. Anna STOP-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O"). Anna STOP-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "RS232/485 Communication Description"). Hätäpysäytys Turbo-V 2K-G on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä.
Página 188: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 2K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Página 189: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Página 190 Ohjekäsikirja Hävittäminen 190/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 191: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 192 Általános információk 193 Tárolás Előkészítés telepítésre 196 Telepítés Használat A Turbo-V 2K-G használata 202 A rendszer elindítása A rendszer leállítása Vészleállítás 205 Karbantartás Megsemmisítés 207 Az eredeti utasítás fordítása 191/372...
Página 192: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Página 193: Általános Információk
Felhasználói Kézikönyv Általános információk Általános információk A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 194 Felhasználói Kézikönyv Általános információk Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Página 195: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbó-molekuláris szivattyúk maximális működési és megbízhatósági szintjének biztosításához be kell tartaniaz alábbi előírásokat: A szivattyúk szállítása, áthelyezése és tárolása során az alábbi környezeti feltételeken belül kell maradni: hőmérséklet: -20 °C és +70 °C között relatív nedvességtartalom: 0 –...
Página 196: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Turbo-V 2K-G-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú...
Página 197 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 A Turbo-V 2K-G csomag a következőket tartalmazza: szivattyú beépített vezérlővel bemeneti szűrő (felszerelve) a kézikönyv CD-ROM-on tartozékok zacskó: IP 54 15 tűs csatlakozó "REMOTE I/O" számára a szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel. IP 54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó "SERIAL"...
Página 198: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Súlya miatt a szivattyút alkalmas mozgató és kezelőeszközökkel kell kezelni. VESZÉLY ! Használja az alkalmas kezelőkészletből való, a szivattyú törzsében lévő lyukakba csavart szemcsavarokat. Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt.
Página 199 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett levegő...
Página 200 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 2K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 2K-G-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők.
Página 201: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot. A szivattyú működtetésekor a rotor hőmérséklete soha nem haladhatja meg a 120 °C-t.
Página 202: A Turbo-V 2K-G Használata
Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N , Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Agilent műszaki támogatáshoz.
Página 203 Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY ! Amikor a tápfeszültség rá van kapcsolva, és gyári 15 tűs csatlakozó csatlakoztatva van, a Turbo-V 2K-G automatikusan elindul. A vezérlőt már mechanikusan és elektromosan a szivattyúhoz csatlakoztatva FIGYELEM! szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való leválasztását csak jogosult Agilent vákuumtechnológiai személyzet végezheti.
Página 204 Felhasználói Kézikönyv Használat Ábra 3 A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel. A Turbo-V 2K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog; lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”...
Página 205 Felhasználói Kézikönyv Használat A rendszer leállítása A szivattyú leállításához a következő módszerek egyikét használhatja: a mellékelt B/K csatlakozó kihúzása távoli stop jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Technical Information” függelék „J1 REMOTE I/O” bekezdése) távoli stop jel adása az RS 232/485 soros interfészen keresztül (lásd „Technical Information”...
Página 206: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 2K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Página 207: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Página 208 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 208/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 209: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne 211 Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Użytkowanie Turbo-V 2K-G 220 Jak uruchomić system 220 Jak zatrzymać Turbo-V 2K-G 223 Zatrzymanie Alarmowe 223 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej...
Página 210: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Página 211: Informacje Ogolne
Podrecznik Instrukcji Informacje ogolne Informacje ogolne Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Página 212 Podrecznik Instrukcji Informacje ogolne W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Página 213: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od –20 °C do 70 °C wilgotnosc wzgledna: od 0 do 95 % (bez opar) klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić...
Página 214: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System Turbo-V 2K-G jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Página 215 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Posta 1 W opakowaniu zespołu Turbo-V 2K-G znajdują się: pompa z wbudowanym sterownikiem kontroler inlet screen (zamontowany) instrukcja na CD-ROM woreczek z akcesoriami konektor 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do uruchomienia pompy konektor 9-drogowy “SERIAL”...
Página 216: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Pompa z powodu własnego ciężaru, musi być przemieszczana poprzez ZAGROZENIE ! odpowiedni sprzęt do tego celu. Do tego celu należy zastosować odpowiednie zawiesia wkręcone w gwintowane otwory znajdujące się na korpusie pompy. Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu.
Página 217 Podrecznik Instrukcji Instalacja Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym temperatura powietrza: od +5 °C do +40 °C względna wilgoć 0 – 95 % (bez opar). W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
Página 218 Podrecznik Instrukcji Instalacja Turbo-V 2K-G należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Zastosować konektory na wyposażeniu aby zagwarantować odizolowanie IP-54. Turbo-V 2K-G posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą...
Página 219: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. Podczas działania pompy, temperatura wirnika nie może nigdy przekroczyć...
Página 220 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Absolutnie nie wolno stosować pompy w obecności gazów lub oparów UWAGA! korozyjnych, ponieważ mogą one być przyczyną uszkodzenia wewnętrznych elementów pompy. ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Página 221 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie podać sygnał START zdalnie poprzez konektor I/O (patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w dodatku "Technical Information") podać sygnał START zdalnie poprzez interfejs szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis Komunikacji" w dodatku "Technical Information"). ZAGROZENIE ! Kiedy zostanie dostarczone zasilanie i konektor 15 –...
Página 222 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Aby utrzymać poziom zabezpieczenia IP-54 należy stosować tylko wyłącznie PRZYPIS konektory dostarczone razem z pompą. Dla kabla zasilania należy stosować tylko PN. 969-9957 lub 969-9958, i zamocować kabel do kontrolera odpowiednim wspornikiem (patrz niniejszy rysunek). Kabel ten podłączyć wraz z wtyczką do kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń...
Página 223: Jak Zatrzymać Turbo-V 2K-G
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Jak zatrzymać Turbo-V 2K-G Aby zatrzymać pompę można zastosować jeden z niniejszych sposobów: wyjmując konektor I/O na wyposażeniu przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez konektor I/O (patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w dodatku "Technical Information") przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez interfejs szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis Komunikacji"...
Página 224: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Zespół Turbo-V 2K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.
Página 225: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Página 226 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 226/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 227: Návod K Použití
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace 229 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 237 Používání zařízení Turbo-V 2K-G 238 Jak se zařízení uvádí do provozu 238 Jak se zařízení zastavuje Nouzové...
Página 228: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Página 229: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Página 230 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Página 231: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C Rozpětí...
Página 232: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Zařízení Turbo-V 2K-G se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Página 233 Návod k Použití Příprava k instalaci Postava 1 Balení Turbo-V 2K-G obsahuje: čerpadlo s vestavěným regulátorem vstupní síto (namontováno) tento návod k použití na CD-ROM brašna s příslušenstvím 15-pólový konektor IP 54 pro připojení ke konektor "REMOTE I/O" (dálkové vstupy a výstupy) s veškerým propojením nezbytným pro spuštění...
Página 234: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat odpovídající NEBEZPEČÍ ! nástroje a nářadí. Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů v tělese vývěvy. Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko.
Página 235 Návod k Použití Instalace teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C relativní vlhkost: 0 – 95 % (bez srážení) V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva Turbo-V 2K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information").
Página 236 Návod k Použití Instalace Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 2K-G do druhé elektroinstalační POZOR! (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva Turbo-V 2K-G je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí připojit k externím obvodům tak, aby žádná...
Página 237: Použití
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C. Uživatel musí...
Página 238 Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je určena pro vysoce výkonné odčerpávání N , Ar a lehčího plynu. Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší...
Página 239 Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ ! Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15-kolíkový konektor dodaný výrobcem, vývěva Turbo-V 2K-G se rozběhne automaticky. Regulátor je již mechanicky a elektricky vybaven pro připojení k této vývěvě. POZOR! Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět jenom oprávnění pracovníci firmy Agilent Vacuum Technologies.
Página 240 Návod k Použití Použití Postava 3 Zařízení se dodává se zelenou kontrolkou, která signalizuje provozní stav. Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy Turbo- V 2K-G indikuje provozní stavy systému blikáním: bez blikání: vývěva se otáčí normálně; pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání...
Página 241: Nouzové Zastavení
Návod k Použití Použití Jak se zařízení zastavuje Vývěvu můžete zastavit některým z následujících způsobů: odpojte dodaný odpovídající I/O konektor přiveďte do konektoru I/O zastavovací signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O" v příloze "Technical Information"). přiveďte zastavovací signál ze vzdáleného místa prostřednictvím sériového rozhraní...
Página 242: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 2K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Página 243: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Página 244 Návod k Použití Likvidace 244/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 245: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 247 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 250 Inštalácia Použitie Použitie zariadenia Turbo-V 2K-G 256 Ako zariadenie spustiť 256 Ako zariadenie zastaviť 259 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 245/372...
Página 246: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Página 247: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Página 248 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.
Página 249: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú¬ce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez kondenzácie) zákazník musí...
Página 250: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 2K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Página 251 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Postava 1 Súprava Turbo-V 2K-G zahrňuje: výveva s integrovaným kontrolným modulom vstupná mriežka tento návod na použitie na CD kabela s príslušenstvom 15 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre konektor diaľkového ovládania "REMOTE I/O" , obsahujúci všetky spojenia potrebné pre spustenie vývevy 9 kolíkový...
Página 252: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Kvôli jej váhe, s vývevou manipulujte s pomocou vhodných pomôcok a NEBEZPEČÍE ! nástrojov. Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! Postava 2 Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí...
Página 253 Návod na Obsluhu Inštalácia maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzácie) V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“.
Página 254 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie Turbo-V 2K-G patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa POZOR! smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie Turbo-V 2K-G má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť k vonkajším okruhom tak, aby nebola dostupná...
Página 255: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. Počas prevádzky vývevy teplota rotora nesmie prekročiť 120 °C. Používateľ...
Página 256: Použitie Zariadenia Turbo-V 2K-G
Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých plynov. Ak potrebujete čerpať...
Página 257 Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE ! Ak funguje napájanie a je pripojený príslušný východzí 15 kolíkový konektor, zariadenie Turbo-V 2K-G sa spustí automaticky. Kontrolný modul sa dodáva mechanicky aj elektricky pripojený k výveve. POZOR! Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť autorizovaným servisným technikom firmy Agilent Vacuum Technologies.
Página 258 Návod na Obsluhu Použitie Postava 3 Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou. Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V 2K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje; pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v režime „Čakanie na spojenie“;...
Página 259: Ako Zariadenie Zastaviť
Návod na Obsluhu Použitie Ako zariadenie zastaviť Vývevu môžete zastaviť jedným z nasledujúcich spôsobov: odpojením dodaného I/O konektora opačného pohlavia poslaním vzdialeného signálu stop cez I/O konektor (pozri odstavec "J1-REMOTE I/O" dodatku k "Technical Information") poslaním vzdialeného signálu stop cez rozhranie RS 232/485 (pozri odstavec "Popis komunikácie cez RS232/RS 485"...
Página 260: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 2K-G nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Página 261: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Página 262 Návod na Obsluhu Likvidácia 262/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 263: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Uporaba Turbo-V 2K-G 274 Zagon sistema 274 Zaustavljanje sistema 277 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 263/372...
Página 264: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Página 265: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Página 266 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe POZOR! opreme.
Página 267: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko.
Página 268: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava Turbo-V 2K-G je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na sistem. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Página 269 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 Turbo-V 2K-G paket vsebuje: črpalko z vgrajenim upravljalcem zaslon (vgrajen) navodila za uporabo na CD-ROMu vrečka s pripomočki 15 pinski priključek IP 54 za »REMOTE I/O« priključek z vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL«...
Página 270: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Zaradi teže je treba za rokovanje s črpalko uporabiti primerne naprave za SVARILO ! premikanje. Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem.
Página 271 Priročnik za Navodila Montaža Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura zraka: od +5 °C od +40 °C Relativna vlažnost: 0 – 95 % (brez kondenza). V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information".
Página 272 Priročnik za Navodila Montaža Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 2K-G v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava Turbo-V 2K-G ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv.
Página 273: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. Med delovanjem črpalke rotor ne sme preseči temperature 120 °C. Uporabnik mora nastaviti pravilen način plina v skladu s plinom, ki se črpa: 1 za N in lažje pline, 0 za Argon (privzeto).
Página 274: Uporaba Turbo-V 2K-G
Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je narejena za hitro črpanje N , Ar in lažjih plinov. Če želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate Agilent tehnično podporo za več...
Página 275 Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO ! Ko je dovedena napetost in je vstavljen tovarniško privzeti 15 pin se Turbo-V 2K-G samodejno zažene. Upravljalec je mehansko in elektronsko povezan na črpalko. Odstranjevanje POZOR! upravljalca iz črpalke mora izvesti samo pooblaščeno osebje Agilent Vacuum Technologies.
Página 276 Priročnik za Navodila Uporaba Slika 3 Sistem ima zeleni statusni signal Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 2K-G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«;...
Página 277: Zaustavljanje Sistema
Priročnik za Navodila Uporaba Zaustavljanje sistema Za zaustavljanje sistema lahko uporabite eno od naslednjih metod: priključite priložen I/O priključek oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Technical Information") Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij"...
Página 278: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 2K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Página 279: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Página 280 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 280/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 281: Instructions For Use
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information Storage Preparation for Installation 286 Installation Use of Turbo-V 2K-G How to Start the System Up 292 How to Stop the System Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions...
Página 282: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Página 283: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Página 284 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Página 285: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C relative humidity range: 0 to 95 % (non condensing) the turbomolecular pumps must be always soft-started when...
Página 286: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 2K-G is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Página 287 Instructions for Use Preparation for Installation Figure 1 The Turbo-V 2K-G package includes: pump with integrated controller inlet screen (mounted) this instruction manual on CD-ROM accessories bag: 15 pin mating connector IP 54 for "REMOTE I/O" connector with all the interconnections necessary to start the pump. 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL"...
Página 288: Installation
Instructions for Use Installation Installation Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and WARNING! handling tools. Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of the pump body. Do not remove the bolted cap before connecting the tur-bopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system.
Página 289 Instructions for Use Installation air temperature: from +5 °C to +40 °C relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 2K-G must be connected to a primary pump (see "Technical Information").
Página 290 Instructions for Use Installation The Turbo-V 2K-G belongs to the second installation (or overvoltage) category as CAUTION! per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The Turbo-V 2K-G has Input/Output and serial communica-tion connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible.
Página 291: Use
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C. While operating the pump the rotor temperature must never exceed 120 °C.
Página 292: Use Of Turbo-V 2K-G
Instructions for Use WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas.
Página 293 Instructions for Use WARNING! When power is supplied and factory default 15 pin mating connector is inserted, the Turbo-V 2K-G will start automatically. The controller is furnished already mechanically and electrically connected to the CAUTION! pump. Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Agilent Vacuum Technologies personnel only.
Página 294 Instructions for Use Figure 3 The system is provided with a green status led signal. The green LED located on the Turbo-V 2K-G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: with no flashing: the pump is normally rotating; slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”...
Página 295: How To Stop The System
Instructions for Use How to Stop the System To stop the pump you can use one of the following methods: unplugging the provided mating I/O connector giving a remote stop signal through the I/O connector (see para. "J1-REMOTE I/O" of annex "Technical Information") giving a remote stop signal via the serial RS 232/485 interface (see para.
Página 296: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 2K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Página 297: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Página 298 Instructions for Use Disposal 298/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 299: Technical Information
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 2K-G Outline Interconnections J1 – Remote I/O J2 – Serial Serial Cable Installation 319 RS 232/RS 485 Communication Description Window Meanings 325 MoniTorr Powering on the MoniTorr Operation...
Página 300 Technical Information MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure 332 Interconnections Network Connector (RS 485) 335 Transmission Channel Characteristics 335 Installing the File Download Software 336 Operating Procedure Download Software Functionality Modifying the Parameters Archive Saving Method Procedure Profibus Option General Mechanical Installation Configuration 344 Indicators...
Página 301: Description Of The Turbo-V 2K-G
Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G Description of the Turbo-V 2K-G The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system has an ISO 250 F high vacuum flange and an on board controller supplied at 208-240 Vac. The system is also available , only on request, with an on board controller supplied at 120 Vac.
Página 302: Pump Description
Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Página 303 Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G Figure 5 where: Tb = upper bearing temperature Tbody = measured water cooling related tem-perature Tbody,lim = body temperature corresponding to Twater,max, according to Figure 2 WIN.118 = set the body temperature control Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 303/372...
Página 304 Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G Figure 6 Figure 1 Figure 7 Figure 2 A thermistor sensor is mounted near the upper bearing in order to read the bearing temperature and to prevent the pump from overheating. A thermistor sensor is mounted near the water-cooling channel in order to evaluate the cooling efficiency.
Página 305: Controller Description
Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. Figure 8 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is...
Página 306: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Technical Specification Pumping speed (without inlet screen) 1600 l/s 1400 l/s Compression ratio 3 x 10 6 x 10 Base pressure with recommended forepump 5 x 10 mbar (4 x 10 Torr) (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump...
Página 307 Technical Information Technical Specification Power supply: Input voltage: 208 – 240 Vac Input freq.: 50 – 60 Hz Max input power: 850 VA Stand-by power: 30 to 35 W Max operating power: 400 W for Nitrogen and lighter gases 390 W for Argon Protection fuse 2 x 8 A Compliance with:...
Página 308 Technical Information Technical Specification Figure 9 Throughput and power curves for Argon (power limit 350 W) - Data with 80 m3 /h primary pump. Figure 10 Throughput and power curves for Nitrogen (power limit 400 W) - Data with 80 m /h primary pump.
Página 309: Turbo-V 2K-G Outline
Technical Information Turbo-V 2K-G Outline Turbo-V 2K-G Outline The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 11 Turbo-V 2K-G Navigator outline Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 309/372...
Página 310: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following paragraphs describe the Turbo-V 2K-G interconnections. J1 – Remote I/O Figure 12 This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the Turbo-V 2K-G. It is a 15-pins D type connector; the available sig-nals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
Página 311 Technical Information Interconnections PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT ISOLATION VENT (+) Optocoupled FAULT N.O. Relay ANALOG OUTPUT Optocoupled GROUND Transformer Signal Description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump doesn’t start.
Página 312 Technical Information Interconnections High Speed is the nominal rotational frequency of the pump (555Hz). Low Speed NOTE (475 Hz) corresponds to the rotational frequency for a stand by status, to preserve the bearing life. Users can set rotational frequency between these two values.
Página 313 Technical Information Interconnections The voltage is provided between pins 14 and 15. An high impedance input should be connected to this output (> 100 kΩ). Figure 14 Figure 15 FAULT: this relay output signal is closed when any system fault condition is detected.
Página 314 Technical Information Interconnections For example: reference quantity: frequency (window 101=0) threshold: 500 Hz (window 102=500) hysteresis: 1% (window 103=1) activation type: "active close" (window 104=1) Figure 16 The set point output stays open until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes closed and stays colsed until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Página 315 Technical Information Interconnections The Navigator Software ver. 3.0 (optional) or any user developed serial NOTE communication software (according to RS 232-485 Communication Protocol) allows the operator to set all the programmable fea-ture. When no external input-output device is available the J1 connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input.
Página 316 Technical Information Interconnections Instead of switch is possible to use transistor. Soft Start, Speed Setting, Purge, Vent Figure 19 Figure 20 PURGE/VENT VALVES: the pump integrates the “purge” and “vent” valves. The two valves are Normally Closed so if a power fail occur, the valves will remain closed.
Página 317 Technical Information Interconnections 1=OnCommand 0=Auto (def) 1=Remote-I/O Win.126 set the “Vent Valve Opening Delay”, from 0 to 65535, 1bit=0.2s, def=10s=50bit Pin-10 Low -> Purge Close Win.147 set the “Vent Valve Open Time”, from 0 to 0=Serial (def) Pin-10 High -> Purge Open 65535, 1bit=0.2s, def=0=infinite Pin-12 Low ->Vent Close Pin-12 High ->...
Página 318 Technical Information Interconnections Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME RESERVED TX (RS232) RX (RS232) SPARE A + (RS485) SPARE B – (RS485) RESERVED A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 318/372 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Página 319: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Agilent. RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2.
Página 320 Technical Information Serial Cable Installation where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the correspond-ing ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR>...
Página 321 Technical Information Serial Cable Installation The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Some error settings are foreseen: NOTE Tab.
Página 322 Technical Information Serial Cable Installation Type Length Value Description Data Type 1 byte (0x33) The data type specified in the command Error (Logic, Numeric or Alphanu-meric) is not accorded with the specified Win-dow Out of Range 1 byte 0x34) The value expressed during a write command is out of the range value of the specified window Win Disabled...
Página 323 Technical Information Serial Cable Installation Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 323/372...
Página 324 Technical Information Serial Cable Installation Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL CONFIGURATION Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW...
Página 325: Window Meanings
Technical Information Serial Cable Installation Window Meanings Tab. 8 Read/ Write Data Description Admitted Type Values Start/Stop Start = 1 (in remote mode the window is a Stop = 0 read only) Remote Remote = 1 (default) or Serial configuration Serial = 0 (default = 1) Soft Start...
Página 326 Technical Information Serial Cable Installation Read/ Write Data Description Admitted Type Values Analog output type: output 0 = frequency voltage signal proportional to 1 = power frequency or power (default = 0) Purge gas type 0 = N 1 = Ar Threshold flowmeter sccm Low speed setting (Hz)
Página 327 Technical Information Serial Cable Installation Read/ Write Data Description Admitted Type Values Vent Valve Opening Time 0 to 65535 bit (expressed in 0.2 sec) (0=infinite, 1=0.2sec, max=13107 sec) (default =0) HPS enable 0 = OFF 1 = ON (default = 0) write only in STOP Power limit applied Watt...
Página 328 Technical Information Serial Cable Installation Read/ Write Data Description Admitted Type Values Controller temperature n. 2 °C Flow meter reading sccm Cycle time in minutes (zeroed by 0 to 999999 the reset command) Cycle number (zeroed by the 0 to 9999 reset command) Pump life in hours (zeroed by the 0 to 999999...
Página 329 Technical Information Serial Cable Installation TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 23 Window N. 206 Bit Description Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 329/372...
Página 330: Powering On The Monitorr
Technical Information MoniTorr MoniTorr An integrated MoniTorr card is suitable for the Tur-bo-V 2K-G. This feature allows the pump’s vibration spectra acquisition and download. The necessary hardware is totally integrated into the controller and consists of one PCB card and one accelerometer fixed on the controller’s side.
Página 331: Monitorr Installation On The Network And On The Main Pc
Technical Information MoniTorr Operation At predefined intervals, the Monitorr will also acquire the data related to the vibration spectrums, power and temperature in addition to other data detected by the Turbo controller. All the data must be transferred to a PC (by means of the “File Download” program) where are stored and where can be analyzed by Agilent’s specialised person-nel.
Página 332: Monitorr Connectivity Kit Installation Procedure
Technical Information MoniTorr Figure 25 Network connection The protocol converter is not strictly needed for MoniTorr operation. It is also NOTE possible to use the standard RS232 to RS485 converter and the standard optical to RS232 converter. In order to install and operate the MoniTorr card of the Turbo-V 2K-G it’s necessary to get the Monitor Connectivity Kit (P/N 969-9260).
Página 333 Technical Information MoniTorr Launch the VT Serial Address Configurator program Set the Serial Communication as following: Baudrate 9600 COM Port = Your PC COM Port Number (generally COM1) Numeric: a different address for each pump (0..1..2…..31) Click on “Set the new address” button Figure 27 Close the VT Serial Address Configurator program Repeat all operations from the point 2 choosing a new address...
Página 334 Technical Information MoniTorr 10 Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 (switch between 9 position and F position) Figure 29 11 Connect the power supply to protocol converter 12 Launch the file download software 13 Select menu File/Download Mode and check the following fields: Trigger 1 Mode: Number of file (# file) 14 Select menu File/Archive Time and select the number of days for...
Página 335: Network Connector (Rs 485)
Technical Information MoniTorr Interconnections The following figure shows the Monitorr’s interconnections. Network Connector (RS 485) Figure 30 Network connector (RS-485) In order to have the IP-54 environment protection use the appropriate connector provided. To wire the MoniTorr network please connect all the A+ terminal toghether and the same for B- and Gnd terminals.
Página 336: Installing The File Download Software
Technical Information MoniTorr Installing the File Download Software The MoniTorr connectivity kit comes with the software needed to transfer via RS-485 all the data stored. To install the software simply run the Setup program. The following screen will be displayed on the personal computer: Figure 31 Select Next.
Página 337 Technical Information MoniTorr Click on the figure to continue with the installation. At this point the following screen is displayed on the personal computer monitor. Figure 33 It is suggested that you maintain the proposed directory and path so as to NOTE facilitate the identification of the files generated by the system.
Página 338: Operating Procedure
Technical Information MoniTorr Select Install to go on with the installation. Thefollowing screen is displayed on the personal computer monitor. Figure 35 Select Finish to conclude the installation. If during installation the program finds some system files that are out of date, NOTE you will be prompted to restart the computer.
Página 339: Download Software
Technical Information MoniTorr Download Software The File Download program acquires the file from the MoniTorrs connected in the network and stores them on hard disk. This is automatically performed by the program when it is launched, or at regular intervals depending on the parameters set. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 339/372...
Página 340 Technical Information MoniTorr Functionality As soon as it is activated, file download establishes a connection with the MoniTorrs on the network and updates the data that are present on the panel displayed on the personal computer monitor. As soon as it is activated it starts to scan the network and it continuously downloads the file when it is ready.
Página 341: Modifying The Parameters
Technical Information MoniTorr Modifying the Parameters The operator can change the configuration of the Monitorr parameters. To change the configurations select one of the Monitorrs connected to the network by positioning the cursor in the row of the Monitorr to be modified and clicking the left mouse button.
Página 342: Archive Saving Method Procedure
Technical Information MoniTorr Archive Saving Method Procedure Periodically (every Archive Time days) the file download program creates a file .cab (special compressed Microsoft Windows file) with the name of the registration day. In the file download window the customer can view a new text on green back screen with the date of the registration.
Página 343: Profibus Option
Technical Information Profibus Option Profibus Option General The ProfiBus option allow to communicate with the controller as Profibus DP slave device. The option works as a bi-directional bridge between the ProfiBus network and the Agilent turbo controller internal link. The interface provides input data (measures) and output data (commands) to the controller, and in addiction provides standard and user related diagnostics, in order to allow the user to manage the exceptions.
Página 344: Configuration
Technical Information Profibus Option Installation This option can be factory installed or on the field by Agilent personnel. The profibus connector pin-out is reported in the following figure. Please in order to obtain best performance use profibus certified cables. To maintain the IP-54 protection level, use the appropriate connector provided CAUTION! with the pump.
Página 345 Technical Information Profibus Option Indicators Two LEDs are present on the interface: one green and one red: the red led indicates that the interface is correctly powered; the green led shows the interface status according the following table: Tab. 9 ←---------------------------------------- 550 ms period------------------------------------------→...
Página 346: Software Operation And State Machine
Technical Information Profibus Option Software Operation and State Machine From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for the internal link) linked together. Each device has its own state machine to manage the device operation.
Página 347 Technical Information Profibus Option Figure 42 Tab. 11 Internal Link State Machine INTERNAL LINK STATE MACHINE Status Meaning POWER_ON Interface set-up SRC_ADDR Search for the controller serial address IDENTIFY Identify controller model and protocol DATA_EX Regular data exchange The two machines continuously share I/O data with the relative bus, and interact each other only in following conditions: ProfiBus Data Exchange is suspended (static diagnosis activated) if the internal serial link in not established...
Página 348: Message Mapping
Technical Information Profibus Option Message Mapping The communication is based on the continuous data exchange capability of the ProfiBus standard, where the master sends continuously the entire slave configuration and reads back the entire slave status. For this purpose one Input (from slave to master) and one Output (from master to slave) buffers are provided.
Página 349: Profibus Message Mapping
Technical Information Profibus Message Mapping Profibus Message Mapping Tab. 12 Parameter buffer (17 bytes) Offset Size Unit Res Range Description Byte Byte Serial °C 15-35 Water Cooling Max Temperature Enter here the max temperature you foreseen for your cooling system, this value will set the maximum power provided to the pump (see Input Buffer byte-4) °C Water Cooling Hysteresis...
Página 350 Technical Information Profibus Message Mapping Offset Size Unit Res Range Description Byte Byte Serial Bit Filed B0 - Vent & Purge Auto/Man 0 = Auto (the controller drives purge and vent valves) 1 = Manual (see Par. Buff. byte-15-B2) B1 - Vent & Purge Remote/Profibus 0 = Serial or Profibus (see Out.
Página 351 Technical Information Profibus Message Mapping Tab. 13 Output buffer (5 bytes) Offset Size Unit Range Description Byte Byte Serial B7 – Start/Stop 0 = Stop 1 = Start B6 – Low Speed 0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed”...
Página 352 Technical Information Profibus Message Mapping Offset Size Unit Range Description Byte Byte Serial 475 - High Speed Value Set the high rotational speed, default = 555 475 - Low Speed Value Set the low rotational speed, default = 475 Tab. 14 Input buffer (15 words) Offset Size...
Página 353 Technical Information Profibus Message Mapping °C 0-45 Pump Body Temperature Read the pump body temperature close to the water circuit. If > “Pump Body Temperature Limit” (In Buff byte-25) the controller will reduce the "Max Allowable Power" If > 38°C the controller goes in fail “pump over-temperature” and the pump is stopped °C 0-100...
Página 354 Technical Information Profibus Message Mapping B2 – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Temperature" are over the limit) B1 - Pump Over-temperature (“Pump Bearing Temperature” or “Pump Body Temperature” are over the limit) B0 – Check Connection To Pump (the connection between controller and pump missing) Sccm Flow Meter Reading...
Página 355: Diagnostic Management
Technical Information Profibus Message Mapping In order to don’t overload the controller’s internal serial link, following NOTE precautions are taken: The parameters are written from the gateway to the controller only when their value changes. The parameters are never read back from the controller to the interface. The controller’s response at the write command (ACK, NACK, etc) is used to establish if the writing succeed or not.
Página 356: Diagnostic Buffer
Technical Information Profibus Message Mapping Controller response was “Over range” Controller response was “Bad operation” Controller response was an unknown response Parameter not supported by the controller The ProfiBus external diagnosis services are used to report following unexpected situations: Controller fail: if the controller goes in fail mode, an external diagnostic service is re-quired and one byte in the diagnostic buffer signals the type of failure.
Página 357 Technical Information Profibus Message Mapping Offset Meaning Reserved Standard diagnostic Master Add (master address after parameterisation. FF= without parameter) Ident number high Ident number low External diagnosis “Header” length indication including header Interface Status Controller not responds Controller not identified Input data not fully coherent yet Not used Not used...
Página 358 Technical Information Profibus Message Mapping Offset Meaning Interlock Mode diag status 7 - 4 Set Point Logic diag status 3 - 0 Heater Jacket Mode diag status 7 - 4 Load Gas Type diag status 3 - 0 Purge Gas Type diag status 7 - 4 Start/Stop/Interlock Mode diag status 3 - 0...
Página 359: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 43 The inlet screen mod. 969-9138 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 5.2 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
Página 360 Technical Information Inlet Screen Installation The screen can be removed as shown in the fol-lowing figure. Figure 45 The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile.
Página 361: Water Cooling Connection
Technical Information Water Cooling Connection Water Cooling Connection The pumping system is supplied with a metallic model water cooling kit. Figure 47 Two 9 – 10 mm internal diameter rubber or plastic tubes from the water supply must be fitted to the two dedicated nozzles. These tubes must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Página 362: Pump Purging And Venting
Technical Information Pump Purging and Venting Pump Purging and Venting The Turbo-V 2K-G pump is equipped with an integrated purging and venting valve device. Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 NPT thread or Swagelok connector. Purge and Vent Installation To install the gas purge and vent line it is necessary to unscrew the purge/vent port cover, and then connect the gas line.
Página 363 Technical Information Pump Purging and Venting Close the corrosive gas flow into the system. Leaving the Turbo-V 2K-G pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system. Turn off the Turbopump.
Página 364: High Vacuum Flange Connection
Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 2K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Figure 49 Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures.
Página 365: Fore-Vacuum Pump Connection
Technical Information Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo V2K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Página 366: Orderable Parts
Technical Information Orderable Parts Orderable Parts Tab. 16 Orderable parts Description Part number Turbo-V 2K-G system with Monitorr option 969-8871 Turbo 2K-G with ProfiBus and MoniTorr options 969-8873 Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Serial cable and T-Plus Software 969-9883...
Página 372 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Este manual también es adecuado para:

969-8871 969-8873

Agilent Technologies Turbo-V 2K-G Serie Manual De Instrucciones

1 Istruzioni Per L'uso

2 Gebrauchsanleitung

3 Mode D'emploi

4 Manual de Istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares

5 Manual de Istruções

6 Bedrijfshandleiding

7 Istruktionsbog

8 Bruksanvisning

9 Instruksjon Manual

10 Ohjekäsikirja

11 FelhasználóI Kézikönyv

12 Podrecznik Instrukcji

13 Návod K Použití

14 Návod Na Obsluhu

15 Priročnik Za Navodila

16 Instructions for Use

17 Technical Information

Idiomas disponibles

Enlaces rápidos

Manuales relacionados para Agilent Technologies Turbo-V 2K-G Serie

Resumen de contenidos para Agilent Technologies Turbo-V 2K-G Serie