Página 1 Turbo-V 3K-G Pumping System Models 969-8888 969-8889 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...
Página 2: Trademarks
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (C)
Página 3 Turbo-V 3K-G Turbo-V 3K-G Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 3/374...
Página 4 Turbo-V 3K-G 4/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 5 Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 28 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 36 Installation 38 Gebrauch Wartung Entsorgung 47 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 5/374...
Página 6 Información general 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 72 Instalación 74 Uso 77 Mantenimiento 82 Eliminación 83 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais 87 Armazenagem 89 6/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 108 Installatie Gebruik Onderhoud 118 Afvalverwerking 119 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 123 Opbevaring 125 Forberedelse før installation 126 Installation 128 Anvendelse 131 Vedligeholdelse 136 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 7/374...
Página 8 Användning 149 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 157 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon 162 Installasjon 164 Bruk Vedlikehold 171 Eliminering 172 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 9 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 192 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 207 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 210 Ogólne informacje Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 9/374...
Página 10 Likvidace 14 Návod na Obsluhu 245 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 10/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 11 Storage Preparation for Installation 286 Installation 288 Use 291 Maintenance Disposal 17 Technical Information 299 Description of the Turbo-V 3K-G 302 Technical Specification 307 Turbo-V 3K-G Outline Interconnections Controlled Vent Procedure Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 11/374...
Página 12 Water Cooling Connection Vent Valve Installation 363 Pump Purging and Venting 363 High Vacuum Flange Connection 366 Fore-Vacuum Pump Connection 367 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Orderable Parts 368 12/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 13 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso della Turbo-V 3K-G 24 Come avviare il sistema 24 Come arrestare la Turbo-V 3K-G 27...
Página 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 15: Informazioni Generali
La Turbo-V 3K-G è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi di gas o di composto gassoso, ma non è...
Página 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 17 10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 17/374...
Página 18: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 3K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è...
Página 19 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per la connessione seriale controconnettore a 9 pin IP-54 per il "Network" MoniTorr staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (montata). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 19/374...
Página 20 Figura 2 Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. 20/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 21 ISO 250 F Bullone con filettatura M10 30 Nm AVVERTENZA! La Turbo-V 3K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 21/374...
Página 22 Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Turbo-V 3K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Página 23 è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 23/374...
Página 24 0,1 mbar fornire alla Turbo-V 3K-G il segnale di START in uno dei seguenti modi: collegare il controconnettore I/O in dotazione dare il segnale di START da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –...
Página 25 La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autorizzato dalla Agilent Vacuum Technologies. Quando si avvia la Turbo-V 3K-G per la prima volta, il controller NOTA automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START).
Página 26 Istruzioni per l’uso Figura 3 Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 3K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è...
Página 27: Come Arrestare La Turbo-V 3K-G
è stata integrata via I/Os, Seriale o Profibus. Inoltre, questa operazione non può garantire l'arresto immediato del rotore la cui velocità di rotazione diminuirà in funzione del grado di vuoto presente nel sistema. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 27/374...
Página 28 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il Turbo-V 3K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Página 29: Smaltimento
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 29/374...
Página 30 Istruzioni per l’uso Smaltimento 30/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 31 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Benutzung der Turbo-V 3K-G42 Ingangsetzung des Systems 42 Stillsetzung der Turbo-V 3K-G Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/374...
Página 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 32/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 33: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell Turbo-V 3K-G ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmigen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder...
Página 34 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 34/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 35 Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 35/374...
Página 36: Vor Der Installation
VORSICHT! Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die Turbo-V 3K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmosphärischen HINWEIS Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten.
Página 37 Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den seriellen Anschluss Gegenkonnektor mit 9 PINs IP-54 "Network" MoniTorr Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 37/374...
Página 38 Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden. Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Turbopumpe am System VORSICHT! befestigt ist. Abbildung 2 38/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 39 Schema in "Technical Information"). Modell Turbo-V 3K-G kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 3K-G ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 33000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Página 40 Gebrauchsanleitung Installation WARNUNG! Die Turbo-V 3K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO 250F verwendet werden. WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Anleitung, sollte sich ein Schaden am Rotor ergeben, kann zur Loslösung der Pumpe vom System führen mit Schäden an Dingen oder schweren Verletzungen oder zum Tod von Personen führen.
Página 41 Gasen mit Partikeln oder aggressiven Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 41/374...
Página 42 E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden) Gerät an das Netz anschließen Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 3K-G gibt es die folgenden Möglichkeiten: Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen. 42/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 43 Controller enthalten. Die Trennung des Controllers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt werden, die von Agilent Vacuum Technologies autorisiert sind. Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 3K-G startet der Controller das System mit HINWEIS einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START).
Página 44 Abbildung 3 Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem Statussignal angesteuert wird. Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 3K-G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Página 45: Stillsetzung Der Turbo-V 3K-G
Kommunikationsfähigkeit mit dem System deaktiviert, in dem die Pumpe über I/O´s, serielle Anschlüsse oder Profibus integriert ist. Außerdem kann dieser Vorgang nicht den sofortigen Stopp des Rotors garantieren, dessen Drehgeschwindigkeit aufgrund der Vakuumgröße im System verringert wird. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 45/374...
Página 46 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 3K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Página 47 Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 47/374...
Página 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 49 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales 51 Stockage Preparation pour l‘installation 54 Installation Utilization Utilisation de la pompe Turbo-V 3K-G60 60 Mise en marche du système 60 Arrêt du système 63 Arrêt d’urgence...
Página 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 50/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 51: Indications Generales
Le Turbo-V 3K-G est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de composés gazeux, mais il...
Página 52 Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 52/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 53 à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 53/374...
Página 54: Preparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 3K-G et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe au système.
Página 55 à la mise en marche de la pompe Connecteur à 9 voies “SERIAL” IP-54 à utiliser pour la connexion sérielle Connecteur à 9 voies IP-54 pour le "Network" MoniTorr Bride de retenue du câble d’alimentation (montée). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 55/374...
Página 56 Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe ATTENTION! au système. Figure 2 56/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 57 En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 3K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 3K-G peut être installée dans n'importe quelle position.
Página 58 être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au Turbo-V 3K-G a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Página 59 à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 59/374...
Página 60 Retirer (si monté) le connecteur E/S. Connecter au réseau. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1 mbar. Donner à la pompe Turbo-V 3K-G le signal de START de l’une des façons suivantes : Brancher le connecteur E/S fourni.
Página 61 La séparation du contrôleur du corps de la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel autorisé par la société Agilent Vacuum Technologies. Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 3K-G le contrôleur NOTE lance automatiquement le système en exécu-tant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout risque d’endommagement (SOFT START).
Página 62 CE. Figure 3 Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état. La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V 3K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...
Página 63: Arrêt Du Système
"RS 232/485 Communication Description" dans l’appendice "Technical Information"). Arrêt d’urgence Pour arrêter le Turbo-V 3K-G en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Il faut cependant rappeler que cette opération déshabilite non seulement l'alimentation de la pompe mais aussi toutes les autres fonctions du contrôleur comme, par exemple, la gestion de la Purge et du Vent contrôlé, ainsi...
Página 64 Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 3K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Página 65: Mise Au Rebut
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 65/374...
Página 66 Mode d’emploi Mise au rebut 66/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 67: Manual De Istrucciones
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 68 Información general Almacenamiento 71 Preparación para la instalación 72 Instalación Uso de Turbo-V 3K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema Cómo detener la Turbo-V 3K-G...
Página 68: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 68/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 69: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (31800 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 3K-G no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
Página 70 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 70/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 71: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 71/374...
Página 72: Preparación Para La Instalación
Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. La Turbo-V 3K-G no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la acción de NOTA la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación...
Página 73 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar para efectuar la conexión serie ensamble de conector de 9 vías IP-54 "Network" MoniTorr abrazadera para retener el cable de alimentación (montada). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 73/374...
Página 74: Instalación
No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema. Quitar la protección de los conectores solamente después de haber fijado al ¡ATENCIÓN! sistema la turbobomba. Figura 2 74/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 75 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 3K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 3K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 3K-G en posición estable conectando la brida de entrada de...
Página 76 Manual de istrucciones Instalación ¡ADVERTENCIA! La Turbo-V 3K-G no puede ser fijada por medio de su ba-se. El sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F El incumplimiento de estas instrucciones de instalación, en el caso de que se ¡ADVERTENCIA!
Página 77 (Nitrógeno o Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 77/374...
Página 78 0,1 mbar la presión en el interior de la cámara de vacío dar la señal de START a la Turbo-V 3K-G mediante una de las siguientes formas: conectar el ensamble conector I/O suministrado adjunto;...
Página 79 La separación del controlador respecto del cuerpo de la bomba puede ser efectuada únicamente por personal autorizado por Agilent Vacuum Technologies. Al activar la Turbo-V 3K-G por primera vez, el controlador activa NOTA automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START).
Página 80 (periodo de 400 ms aproximadamente): el  sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente):  condición de error. 80/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 81: Parada De Emergencia
(periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el Turbo-V 3K-G es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. De todas maneras, se debe tener en cuenta que esta operación además de inhabilitar completamente la alimentación de la bomba, inhabilita...
Página 82: Mantenimiento
Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. 82/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 83: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 83/374...
Página 84 Manual de istrucciones Eliminación 84/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 85: Manual De Istruções
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Uso da Turbo-V 3K-G Como activar o sistema 96 Como parar a Turbo-V 3K-G 99 Paragem de Emergência...
Página 86: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 86/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 87: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. O Turbo-V 3K-G é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
Página 88 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 88/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 89 Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 89/374...
Página 90: Preparação Para A Instalação
à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. A normal exposição ao ar não pode danificar a Turbo-V 3K-G. Aconselha-se, no NOTA entanto, mantê-la selada e bem fechada dentro da caixa até ao momento da instalação no sistema, para evitar que se suje com poeiras.
Página 91 9 vias “SERIAL” IP-54 a utilizar para a ligação série conector conjugado de 9 vias IP-54 "Network" MoniTorr braçadeira de fixação do cabo de alimentação (montada). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 91/374...
Página 92: Instalação
Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema. CUIDADO! Retirar a protecção dos conectores somente depois que a turbobomba estiver CUIDADO! fixada ao sistema. Figura 2 92/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 93 Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O Turbo-V 3K-G deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 3K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 3K-G em posição estável ligando o flange de entrada da...
Página 94 Manual de Istruções Instalação ATENÇAO! A Turbo-V 3K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. ATENÇAO! O desrespeito a estas instruções de instalação, no caso em que se verifique um defeito no rotor, pode implicar no desengate da bomba do sistema com danos às coisas ou sérios danos ou a morte das pessoas.
Página 95 é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 95/374...
Página 96 à rede de alimentação eléctrica. deixar aumentar a pressão dentro da câmara de vácuo até atingir 0,1 mbars. fornecer à Turbo-V 3K-G o sinal de START num dos seguintes modos: 96/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 97 Quando o aparelho está ligado à rede de alimentação eléctrica e o conector ATENÇAO! conjugado de 15 pinos, fornecido de série, está introduzido, a Turbo-V 3K-G activa-se automaticamente. O controller é fornecido com todas as ligações mecânicas e as conexões CUIDADO! eléctricas com a bomba já...
Página 98 (período de aprox. 400 ms): o sistema está em  estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de  erro. 98/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 99: Como Parar A Turbo-V 3K-G
(consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description” no apêndice “Technical Information”). Paragem de Emergência Para parar o Turbo-V 3K-G em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. É preciso ter em conta que esta operação além de desabilitar completamente a alimentação da bomba desabilita também todas as outras funções do controller,...
Página 100: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 3K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Página 101 Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 101/374...
Página 102 Manual de Istruções Eliminação 102/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 103 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie 105 Opslag 107 Uitpakken Installatie Gebruik Gebruik van de Turbo-V 3K-G Hoe wordt het systeem gestart 114 Hoe wordt de Turbo-V 3K-G gestopt 117 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 119 Vertaling van de originele instructies 103/374...
Página 104: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 104/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 105: Algemene Informatie
De Turbo-V 3K-G is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat.
Página 106 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 106/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 107 Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 107/374...
Página 108 Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 3K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd.
Página 109 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 In de verpakking van de Turbo-V 3K-G zijn aanwezig: pomp met geïntegreerde controller inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM zak met accessoires 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL”...
Página 110: Installatie
Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp VOORZICHTIG! aan het systeem is bevestigd. Figuur 2 110/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 111 "Technical Information"). De Turbo-V 3K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 3K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 33000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Página 112 Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 3K-G goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Página 113 (stikstof of helium) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 113/374...
Página 114 I/O contraconnector (indien aanwezig) sluit het voedingsnet aan breng de de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar geef aan de Turbo-V 3K-G het START signaal op een van de volgende manieren: 114/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 115 De controller kan slechts van het pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd personeel van Agilent Vacuum Technologies. Wanneer de Turbo-V 3K-G voor de eerste keer wordt gestart, start de controller OPMERKING automatisch het systeem met een speciale procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt (SOFT START).
Página 116 Het systeem is voorzien van een groene LED die door een statussignaal wordt aangestuurd. De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo-V 3K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;...
Página 117: Hoe Wordt De Turbo-V 3K-G Gestopt
(zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information"). Noodstop Om de Turbo-V 3K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Men moet er echter rekening mee houden dat hiermee niet alleen de...
Página 118 Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 118/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 119: Afvalverwerking
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 119/374...
Página 120 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 120/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 121 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Brug af Turbo-V 3K-G Start af systemet 132 Afbrydelse af Turbo-V 3K-G 135 Nødstop Vedligeholdelse 136 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 121/374...
Página 122: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er ADVARSEL! det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 122/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 123: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (31800 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 3K-G er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Endvidere er systemet udstyret med kontakter, som gør det muligt at fjernstyre systemet ved hjælp af en host computer, der er tilsluttet med...
Página 124 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 124/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 125  forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 125/374...
Página 126: Forberedelse Før Installation
Turbo-V 3K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 3K-G ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet.
Página 127 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af pumpen 9-benet “SERIAL” kontakt (IP-54) til seriel tilslutning af pumpe 9-benet "Network" MoniTorr kontakt (IP-54) Konsol til blokering af strømkabel (monteret). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 127/374...
Página 128 Benyt øjeboltene, der er fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset. Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet FORSIGTIG! fastgjort til systemet. Figur 2 128/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 129 Turbo-V 3K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 3K-G kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 3K-G i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 33000 Nm omkring akselen.
Página 130 Istruktionsbog Installation ADVARSEL! Turbo-V 3K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. ADVARSEL! Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne, hvis der opstår en fejl på rotoren, kan forårsage frakobling af pumpen fra systemet, og medføre beskadigelser til udstyr og alvorlige kvæstelser eller dødsfald.
Página 131 ædelgasser (kvælstof eller helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan FORSIGTIG! beskadige pumpens indvendige dele. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 131/374...
Página 132 Fjern I/O kontakten (hvis den er monteret) Tilslut strømmen Indstil trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Overfør startsignalet til Turbo-V 3K-G på en af følgende måder: Tilslut den medleverede I/O kontakt Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af I/O kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information")
Página 133 Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Turbo-V 3K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIGITG! Det er kun personale fra Agilent Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset.
Página 134 Figur 3 Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et signal for tilstand. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V 3K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation ...
Página 135: Afbrydelse Af Turbo-V 3K-G
(se afsnit "RS232/485 Communication Description" i bilaget "Technical Information"). Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 3K-G i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Det er vigtigt at notere, at denne operation, ud over at afkoble fuldstændigt pumpens tilførsel, afkobler desuden også alle de andre controller funktioner, som for eksempel...
Página 136 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 3K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Página 137: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 137/374...
Página 138 Istruktionsbog Bortskaffelse 138/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 139 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 144 Installation Användning Användning av Turbo-V 3K-G Hur du startar systemet Hur du stoppar Turbo-V 3K-G Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna...
Página 140: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 140/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 141: Allmän Information
Systemet Turbo-V 3K-G bestär av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet. Systemet kan pumpa många typer av gaser eller gasblandningar. Det kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta partiklar.
Página 142 I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 142/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 143 De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 143/374...
Página 144: Förberedelser För Installationen
Turbo-V 3K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 3K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på...
Página 145 15-polig kontakt "REMOTE I/O" IP-54 med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt "SERIAL" IP-54 som används för den seriella anslutningen 9-polig kontakt IP-54 "Network" MoniTorr Kabelklammer för att hålla fast strömkabeln. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 145/374...
Página 146 Använd lyftöglorna som är fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet. Figur 2 146/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 147 TYP AV KLAMMER ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT ISO 250 F M10 bult 30 Nm Turbo-V 3K-G kan inte fästas med hjälp av sitt fundament. Systemet kan VARNING! endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 147/374...
Página 148 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo-V 3K-G har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Página 149 ädelgas (Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”). Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor som kan skada OBSERVER! pumpens invändiga material. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 149/374...
Página 150 Ta bort I/O-kontakten (om sådan finns) Anslut pumpen till elnätet Pumpa ned trycket i vakuumkammaren till 0,1 mbar Skicka startsignal till Turbo-V 3K-G på något av följande sätt: Anslut den medlevererade I/O-kontakten Skicka en fjärrstyrd startsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O”...
Página 151 OBSERVER! Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast göras av auktoriserad personal från Agilent Vacuum Technologies. När du använder Turbo-V 3K-G för första gången startas systemet automatiskt OBSERVERA av styrenheten med en speciell procedur som skyddar lagren mot eventuella skador (SOFT START). Systemet startas stegvis för att till slut uppnå max.
Página 152 Bruksanvisning Användning Figur 3 Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 3K-G anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt;  långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för ...
Página 153: Hur Du Stoppar Turbo-V 3K-G
Information”). Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av Turbo-V 3K-G. Utöver att denna operation totalt kopplar från pumpens försörjning, avaktiveras även alla andra funktioner på styrenheten, som till exempel hanteringen av rensningen och den styrda ventilatorn. Även kapaciteten att kommunicera med systemet i vilket pumpen integrerats via I/Os, Seriell eller Profibus avaktiveras.
Página 154 Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 3K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Página 155 återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 155/374...
Página 156 Bruksanvisning Bortskaffning 156/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 157: Instruksjon Manual
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 167 Bruk av Turbo-V 3K-G 168 Hvordan starte opp systemet Hvordan stoppe Turbo-V 3K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen...
Página 158: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 158/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 159: Generell Informasjon
Turbo-V 3K-G systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe mange typer gass eller gassblandinger, men er ikke egnet for pumping av væsker eller faste partikler.
Página 160 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 160/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 161 Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres FORSIKTIG! til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 161/374...
Página 162: Klargjøre Til Installasjon
Når Turbo-V 3K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til systemet.
Página 163 15-veis “REMOTE I/O” IP-54 kontakt med de koplingene som er nødvendige for å starte opp pumpen 9-veis “SERIAL” IP-54 kontakt til bruk for serietilkoplingen 9-veis IP-54 "Network" MoniTorr kontakt Feste for strömkabelen (montert). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 163/374...
Página 164 Bruk øyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene på pumpehuset. Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 164/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 165 ISO 250 F Bolt med M10 gjenge 30 Nm ADVARSEL! Turbo-V 3K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan kun festes ved hjelp av sin egen ISO 250F flens. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 165/374...
Página 166 /utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo-V 3K-G har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
Página 167 å bruke for å mate pumpen med en strømning av uvirksom gass (nitrogen eller helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget "Technical Information"). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 167/374...
Página 168 Fjern I/O kontakten (hvis finnes) Kople til strømmen Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Gi et startsignal til Turbo-V 3K-G på en av følgende måter: Kople til I/O kontakten som følger med Gi et fjernstyrt startsignal med I/O kontakten (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O"...
Página 169 Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL ! Turbo-V 3K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIKTIG! Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres av autorisert personale fra Agilent Vacuum Technologies.
Página 170: Hvordan Stoppe Turbo-V 3K-G
Instruksjon Manual Bruk Figur 3 Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal. Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 3K-G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: den lyser fast: pumpen roterer normalt  den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for ...
Página 171 Instruksjon Manual Vedlikehold Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 3K-G i en nødsituasjon. Det må i alle tilfeller tas med i beregningen at dette inngrepet, foruten å koble ut pumpens mating fullstendig, kobler også ut alle andre funksjoner for kontrolleren, som for eksempel styring av Purge og kontrollert Vent samt evnen til å...
Página 172 å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. 172/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 173 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 174 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 183 Turbo-V 3K-G -pumpun käyttö Järjestelmän käynnistys Turbo-V 3K-G -pumpun pysäytys 187 Hätäpysäytys 187 Huolto 188 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 173/374...
Página 174: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 174/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 175: Yleisiä Tietoja
Lisäksi pumpussa on apuliittimet, jotka mahdollistavat sen kauko- ohjauksen isäntätietokoneella, joka on kytketty siihen sarjakaapelilla (RS232 tai RS485). Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 175/374...
Página 176 Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin toimintotapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia henkilövaurioita. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 176/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 177 Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 177/374...
Página 178: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 3K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin suositeltavaa HUOM säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän likaantuminen.
Página 179 (asennettu) tämä ohjekirja CD-ROM:lla varustepussi 15-tieliitin “REMOTE I/O” IP-54 jossa on pumpun käynnistykseen tarvittavat sisäänrakennetut liitännät 9-tieliitin “SERIAL” IP-54 jota käytetään sarjaliitäntään 9-tieliitin IP-54 "Network" MoniTorr sähkökaapelin kannatin (asennettu). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 179/374...
Página 180 Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin. Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 180/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 181 12.9 (σr = 1200 ). Seuraavassa taulukossa on esitetty tarvittavien teräspulttien N/mm lukumäärä ja momentti, jolla Agilent suosittelee pultit kiristettäviksi. Tab. 1 LAIPPA KIINNIKE MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI ISO 250 F Pultti M10-kierteillä 30 Nm Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 181/374...
Página 182 IP54-eristyksen. Turbo-V 3K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että Turbo-V 3K-G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Página 183 (Typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen läheisyydessä: ne HUOMIO! saattavat vahingoittaa pumpun sisämateriaaleja. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 183/374...
Página 184 Käynnistä järjestelmä seuraavasti: Poista (jos asennettu) I/O-liitin Kytke sähkö päälle Vie tyhjökammion paine arvoon 0,1 mbar Anna Turbo-V 3K-G -pumpulle START-signaali yhdellä seuraavista tavoista: Liitä ohessa toimitettu I/O-liitin Anna START-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O") Anna START-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta (ks.
Página 185 Valvoja toimitetaan pumppuun mekaanisesti ja sähköisesti kytkettynä. Valvojan HUOMIO! saa irrottaa pumpun rungosta ainoastaan Agilent Vacuum Technologies - yrityksen valtuuttama henkilö. Kun Turbo-V 3K-G käynnistetään ensimmäisen kerran, valvoja käynnistää HUOM järjestelmän automaattisesti erikoistoimenpiteellä, joka suojaa laakereita vaurioilta (SOFT START). Järjestelmä käynnistetään peräkkäisillä askelilla täyteen nopeuteen asti 10 minuutista 1 tuntiin vaihtelevana aikana.
Página 186 Ohjekäsikirja Käyttö Kuva 3 Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 3K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, ...
Página 187: Turbo-V 3K-G -Pumpun Pysäytys
Purge- ja Vent-toimintojen hallinnan ja kommunikointimahdollisuuden sen järjestelmän kanssa, johon pumppu on kytketty I/O-, sarja- tai Profibus-portin välityksellä. Lisäksi toimenpide ei takaa roottorin välitöntä pysähtymistä, koska pyörintänopeus laskee suhteessa järjestelmän alipaineen määrään. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 187/374...
Página 188 Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 3K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Página 189 Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 189/374...
Página 190 Ohjekäsikirja Hävittäminen 190/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 191: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 193 Tárolás Előkészítés telepítésre 196 Telepítés Használat A Turbo-V 3K-G használata 202 A rendszer elindítása A rendszer leállítása Vészleállítás 205 Karbantartás Megsemmisítés 207 Az eredeti utasítás fordítása...
Página 192: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 192/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 193: Általános Információk
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 3K-G egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer sokfajta típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
Página 194 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 194/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 195 10 hónap. Ha bármely okból kifolyólag a tárolási idő ezt meghaladja, vissza kell küldeni a FIGYELEM! szivattyút a gyárba. Valamennyi információ elérése érdekében kéretik kapcsolatba lépni, a Agilent helyi képviselőjével. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 195/374...
Página 196: Előkészítés Telepítésre
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta kezeket vákuumnak FIGYELEM! kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a Turbo-V 3K-G. Mégis MEGJEGYZÉS ajánlatos azt zárva és tömítve tartani, amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a rendszer szennyeződését.
Página 197 IP-54 15 tűs csatlakozó "REMOTE I/O" számára a szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel. IP-54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó "SERIAL" csatlakozóhoz IP-54 9 tűs csatlakozó „Network” MoniTorr-hoz Tartóbilincs a tápkábel (szerelt) megtartásához. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 197/374...
Página 198 Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú már FIGYELEM! rögzítve van a rendszerhez. Ábra 2 198/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 199 Agilent által ajánlott rögzítési nyomatékot, amellyel meg kell húzni azokat. Tab. 1 KARIMA RÖGZÍTŐ ESZKÖZ RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 250 F M10 csavarok 30 Nm VESZÉLY! A Turbo-V 3K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F karimával rögzíthető. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 199/374...
Página 200 Ezen installációs utasítások figyelmen kívül hagyása, a rotor meghibásodása esetén, a rendszerből a szivattyú leválását eredményezheti, ami dologi kárt vagy komoly személyi sérülést vagy halált okozhat. A Turbo-V 3K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő...
Página 201 érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében FIGYELEM! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 201/374...
Página 202 (ha jelen van) a rendszer B/K csatlakozóját dugja be a tápkábelt szivattyúzza le a vákuumkamrát 0.1 mbarra adjon a Turbo-V 3K-G-nek start jelet a következő módszerek valamelyikével: a mellékelt B/K csatlakozó csatlakoztatása távoli start jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Technical Information”...
Página 203 FIGYELEM! szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való leválasztását csak jogosult Agilent vákuumtechnológiai személyzet végezheti. Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 3K-G, a vezérlő egység automatikusan MEGJEGYZÉS elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT START). A rendszer lépésről lépésre, fokozatosan indul teljes sebességig 10 perctől 1 órán belülig.
Página 204 Felhasználói Kézikönyv Használat Ábra 3 A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel. A Turbo-V 3K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;  lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, ...
Página 205 RS 232/485 soros interfészen keresztül (lásd „Technical Information” függelék „RS 232/485 kommunikáció leírása”). Vészleállítás A Turbo-V 3K-G vészhelyzetben való azonnali leállításához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. Mindig figyelni kell arra, hogy ez a művelet, azonfelül, hogy teljesen kikapcsolja a szivattyú táplálását, kikapcsolja a controller minden egyéb funkcióját is, mint például a...
Página 206: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 3K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Página 207 A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 207/374...
Página 208 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 208/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 209: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 211 Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Użytkowanie Turbo-V 3K-G 220 Jak uruchomić system 220 Jak zatrzymać Turbo-V 3K-G 223 Zatrzymanie Alarmowe 223...
Página 210: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 210/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 211: Ogólne Informacje
System Turbo-V 3K-G jest zintegrowanym systeme składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować...
Página 212 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 212/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 213  miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 213/374...
Página 214: Przygotowanie Do Instalacji
UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Turbo-V 3K-G nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie PRZYPIS atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu.
Página 215 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do uruchomienia pompy konektor 9-drogowy “SERIAL” IP-54 do zastosowania dla połączenia szeregowego konektror z 9 łączami IP-54 dla „Network” MoniTorr wspornik do podtrzymania kabla zasilania (zamontowany). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 215/374...
Página 216 Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu. Zdjąć obudowę konektorów tylko wtedy, gdy turbopompa została przymocowana UWAGA! do systemu. ć 2 Posta 216/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 217 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. Turbo-V 3K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w “Technical Information”). Turbo-V 3K-G może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji . Zamocować Turbo-V 3K-G w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na...
Página 218 Podrecznik Instrukcji Instalacja ZAGROZENIE! Turbo-V 3K-G nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250F. ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie podanych instrukcji dotyczących instalacji, w przypadku wystąpienia usterki wirnika, może spowodować odłączenie pompy od układu, co z kolei może być...
Página 219 A csapágyakra szennyező vagy részecskéket tartalmazó gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy olyan különleges porttal, amelyen keresztül a csapágyak védelme érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 219/374...
Página 220 Aby uruchomić system należy wykonać następujące czynności: zdjąć (jeśli jest obecny) konektor I/O podłączyć zasilanie sieci doprowadzić ciśnienie wewnątrz komory próżniowej na wartość 0,1 mbar dostraczyć do Turbo-V 3K-G sygnał STARTU w jeden z następujących sposobów: 220/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 221 Odseparowanie kontrolera od korpusu pompy może być tylko wykonane przez personel upoważniony przez firmę Agilent Vacuum Technologies. Kiedy uruchamia się Turbo-V 3K-G po raz pierwszy, kontroler automatycznie PRZYPIS uruchamia system ze specjalną procedurą która chroni łożyska przed możliwym ich uszkodzeniem (SOFT START).
Página 222 ć 3 Posta System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez sygnał stanu. Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo-V 3K-G wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych ...
Página 223: Jak Zatrzymać Turbo-V 3K-G
I/Os, linii szeregowej lub Profibus. Ponadto ta operacja nie może zagwarantować natychmiastowego zatrzymania wirnika, którego prędkość będzie się zmniejszała w zależności od stopnia próżni w układzie. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 223/374...
Página 224 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Zespół Turbo-V 3K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.
Página 225: Przetworstwo Odpadow
. Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 225/374...
Página 226 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 226/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 227 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace 229 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 237 Používání zařízení Turbo-V 3K-G 238 Jak se zařízení uvádí do provozu 238 Jak se zařízení zastavuje Nouzové...
Página 228: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 228/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 229: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva Turbo-V 3K-G je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs.
Página 230 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky, vyjmuté z textu obsahují velmi důležité informace. POZNÁMKA 230/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 231 10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 231/374...
Página 232: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 3K-G nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí znečištění tohoto zařízení.
Página 233 čerpadla 9-kolíkový konektor pro připojení ke konektoru IP-54 "SERIAL", který se použije k sériovému připojení 9-kolíkový konektor IP-54 pro připojení zařízení "Network" Moni Torr Příchytka pro uchycení napájecího kabelu (namontována). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 233/374...
Página 234 Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů v tělese vývěvy. Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Odejměte zakrytí konektorů až poté, co bude turbovývěva připevněná k systému. POZOR! Postava 2 234/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 235 PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ POČET UTAHOVACÍ MOMENT ISO 250 F šrouby M10 30 Nm NEBEZPEČÍ! Vývěvu Turbo-V 3K-G nelze připevnit pomocí její podstavy. Toto zařízení lze připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 235/374...
Página 236 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající dodané konektory. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo-V 3K-G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Página 237 (dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz Technical Information"). Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by POZOR! mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 237/374...
Página 238 I/O konektor (je-li) zapojte do síťové zásuvky vyčerpejte podtlakovou komoru na 0,1 mbar jedním z následujících způsobů přiveďte do vývěvy Turbo-V 3K-G spouštěcí signál: připojte dodaný odpovídající I/O konektor přiveďte do konektoru I/O spouštěcí signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O"...
Página 239 POZOR! Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět jenom oprávnění pracovníci firmy Agilent Vacuum Technologies. Když spouštíte vývěvu Turbo-V 3K-G úplně poprvé, ovládací jednotka spustí toto POZNÁMKA zařízení automaticky speciálním postupem, který chrání ložiska vývěry před případným poškozením (POZVOLNÝ ROZBĚH). Zařízení se pak postupně rozbíhá...
Página 240 (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá  nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”; rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.  240/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 241: Nouzové Zastavení
RS 232/485 (viz odstavec "Popis komunikace RS232/RS 485" v příloze "Technical Information"). Nouzové zastavení Chcete-li vývěvu Turbo-V 3K-G v nouzové situaci okamžitě zastavit, je třeba přerušit síťové napájení. Je však třeba mít na paměti, že tato operace nejen kompletně vypne napájení čerpadla, ale zruší i všechny ostatní...
Página 242 Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 3K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Página 243 Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 243/374...
Página 244 Návod k Použití Likvidace 244/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 245 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 247 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 250 Inštalácia Použitie Použitie zariadenia Turbo-V 3K-G 256 Ako zariadenie spustiť 256 Ako zariadenie zastaviť 259 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia...
Página 246: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 246/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 247: Všeobecné Informácie
(RS232 alebo RS485). Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 247/374...
Página 248 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 248/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 249  dňa dodania. Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 249/374...
Página 250: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 3K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Página 251 "REMOTE I/O", obsahujúci všetky spojenia potrebné pre spustenie vývevy. 9 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre sériový konektor používaný pre sériové spojenie 9 kolíkový konektor IP-54, protikus pre "Network" MoniTorr Úchytná svorka a pre napájací kábel (namontovaná). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 251/374...
Página 252 Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! Postava 2 252/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 253 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie Turbo-V 3K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Zariadenie Turbo-V 3K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite Turbo-V 3K-G do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby...
Página 254 žiadna elektrická súčasť. Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy konektorov. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 3K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Página 255 (dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). Nikdy nepoužívajte vývevu v pre korozívne plyne alebo výpary, ktoré by mohli POZOR! poškodiť materiály, použité vo vnútri vývevy. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 255/374...
Página 256 (ak je pripojený) I/O konektor zasuňte napájaciu šnúru vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 3K-G jedným z nasledovných spôsobov. pripojením dodaného protikusu I/O konektora poslaním vzdialeného signálu spustenia cez I/O konektor (pozri odstavec "J1-REMOTE I/O" dodatku k "Technical Information").
Página 257 POZOR! Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť autorizovaným servisným technikom firmy Agilent Vacuum Technologies. Pri prvom spustení vývevy Turbo-V 3K-G kontrolný modul automaticky naštartuje POZNÁMKA systém zvláštnym postupom, ktorý chráni ložiská systému pred poškodením (SOFT START). Systém sa dosiahne plnú rýchlosť postupne v časovom intervale od 10 minút do jednej hodiny.
Página 258 Návod na Obsluhu Použitie Postava 3 Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou. Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V 3K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;  pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z ...
Página 259: Ako Zariadenie Zastaviť
"Popis komunikácie cez RS232/RS 485" dodatku k "Technical Information"). Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie Turbo-V 3K-G okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. Je však potrebné mať na pamäti, že táto operácia, okrom toho, že úplne vypne napájanie vyradeného čerpadla i všetky ostatné...
Página 260 Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. 260/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 261: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 261/374...
Página 262 Návod na Obsluhu Likvidácia 262/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 263: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Uporaba Turbo-V 3K-G 274 Zagon sistema 274 Zaustavljanje sistema 277 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku...
Página 264: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 264/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 265: Splošne Informacije
Turbo-V 3K-G je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Página 266 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 266/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 267 Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 267/374...
Página 268: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava Turbo-V 3K-G je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na sistem.
Página 269 15 pinski priključek IP-54 za »REMOTE I/O« priključek z vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke. 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL« priključek, ki se uporablja za serijsko povezavo 9 pinski priključek IP-54 za »Network« MoniTorr Nosilec za napetostni kabel (vgrajen). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 269/374...
Página 270 Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na POZOR! sistem. Slika 2 270/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 271 Tab. 1 PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE NAVOR ISO 250 F M10 vijaki 30 Nm SVARILO! Naprave Turbo-V 3K-G ni moč pritrditi s svojo osnovo. Sistem lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 271/374...
Página 272 Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 3K-G v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Página 273 (Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). Črpalke nikoli ne uporabljajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov, ki bi lahko POZOR! poškodovali inertne materiale črpalke. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 273/374...
Página 274 Oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Technical Information"). Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Technical Information"). 274/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 275 POZOR! upravljalca iz črpalke mora izvesti samo pooblaščeno osebje Agilent Vacuum Technologies. Ko prvič zaženete Turbo-V 3K-G, kontrolna enota samodejno zažene sistem s OPOMBA posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti poškodbam (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže polno hitrost se mehki zagon onemogoči in naslednji zagoni so normalni.
Página 276 Priročnik za Navodila Uporaba Slika 3 Sistem ima zeleni statusni signal Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 3K-G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;  Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ...
Página 277: Zaustavljanje Sistema
"RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Technical Information"). Zaustavitev v sili Za zaustavitev naprave Turbo-V 3K-G v sili morate odstraniti napetost. Treba je vsekakor upoštevati dejstvo, da ta operacija ne le popolnoma onemogoči napajanje črpalke, temveč onemogoči tudi vse druge funkcije krmilnika, kot so na primer upravljanje nadzorovanega Čiščenja in Izpusta in sposobnost sporočanja s...
Página 278 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 3K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Página 279: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 279/374...
Página 280 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 280/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 281 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information Storage Preparation for Installation 286 Installation Use of Turbo-V 3K-G How to Start the System up 292 How to Stop the System Emergency Stop...
Página 282: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 282/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 283: General Information
The Turbo-V 3K-G is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applica-tions with its relevant controller. The system can pump many types of gases or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Página 284 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 284/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 285 If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 285/374...
Página 286: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 3K-G is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Página 287 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL" connector to be used for serial connection 9 pin mating connector IP-54 for "Network" MoniTorr Retaining bracket to retain the power cable (mounted). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 287/374...
Página 288 Do not remove the bolted cap before connecting the tur-bopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system. CAUTION! Figure 2 288/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 289 FIXING TORQUE ISO 250 F M10 bolts 30 Nm WARNING! The Turbo-V 3K-G cannot be fixed by means of its base. The system can only be fixed through its ISO 250F flange. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 289/374...
Página 290 Use the provided mating connectors in order to maintain the IP-54 protection level. Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo-V 3K-G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Página 291 , He) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal CAUTION! materials of the pump. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 291/374...
Página 292 0.1 mbar give the Turbo-V 3K-G a start signal by one of the following methods: connecting the provided mating I/O connector giving a remote start signal through the I/O connector (see para.
Página 293 Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Agilent Vacuum Technologies personnel only. When you run the Turbo-V 3K-G for the very first time, the control unit NOTE automatically starts the system with a special procedure which protects the bearings from possible damages (SOFT START).
Página 294 Figure 3 The system is provided with a green status led signal. The green LED located on the Turbo-V 3K-G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: with no flashing: the pump is normally rotating;...
Página 295: How To Stop The System
"RS232/RS 485 Communication Description" of annex "Technical Information"). Emergency Stop To immediately stop the Turbo-V 3K-G in an emergency condition it is necessary to remove the mains. It must be however noted that this operation, in addition to cutting off the pump power, also cuts off all...
Página 296 Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 3K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Página 297 Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 297/374...
Página 298 Instructions for Use Disposal 298/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 299: Technical Information
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 3K-G Outline Interconnections J1 – Remote I/O Signal description Controlled Vent Procedure Stop Speed Reading 322 Active Stop Electrical Connections Examples: 322 J2 –...
Página 300 Profibus Option General Mechanical Installation Configuration 346 Indicators Software Operation and State Machine Message Mapping Profibus Message Mapping Diagnostic Management 357 Diagnostic Buffer Inlet Screen Installation Water Cooling Connection Vent Valve Installation 300/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 301 Technical Information Disposal Pump Purging and Venting Purge and Vent Installation Reason to Purge the Turbo-V 3K-G Pump during Operation 363 How to Purge the Turbo-V 3K-G Pump 364 How to Vent the Turbo-V 3K-G Pump High Vacuum Flange Connection...
Página 302: Description Of The Turbo-V 3K-G
969-8889 with ISO 250 F flange, controller with MoniTorr and  ProfiBus options, with integrated purge/vent valves The following figures shows the Turbo-V 3K-G with ISO 250 F with MoniTorr and Profibus option. Figure 4 Model 969-8888...
Página 303: Pump Description
The static blades of the stator are made of aluminium alloy. These are supported and accurately positioned by spacer rings. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 303/374...
Página 304  WARNING! The user must set the gas load (win.157) before starting the pump. For details see the following figure. The applied power limit is readable by serial line (window 155). 304/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 305 The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 305/374...
Página 306: Controller Description
At every power-up the controller is in “Remote Mode” of operation and accepts only commands from J1 remote I/O connector. To put it in “Serial Mode” of operation please refer to the serial com-mand table. 306/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 307: Technical Specification
Cooling requirements Water Coolant water Recommended flow: 200 l/h Temperature: +15 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level <60 dB(A) at 1 meter Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 307/374...
Página 308 Environment protection IP54 Weight (ISO 250) kg (lbs) 52 (114.4) When the Turbo-V 3K-G has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump. 308/374...
Página 309 Typical Pumping Speed curves 1,E+09 1,E+08 1,E+07 1,E+06 1,E+05 1,E+04 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 1,00E+01 Foreline Pressure [mbar] Nitrogen Helium Argon Figure 10 Compression Ratio Vs. Foreline Pressure Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 309/374...
Página 310: Turbo-V 3K-G Outline
Technical Information Turbo-V 3K-G Outline Turbo-V 3K-G Outline The following figure shows the Turbo-V 3K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). BOTTOM VIEW FORELINE KF 40 PURGE/VENT VALVES PORT WATER COOLING FOR RUBBER VENT HOLE ON TUBE Ø 9.0 ENVELOPE...
Página 311 PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT ISOLATION START/STOP (+) Optocoupled START/STOP (-) Optocoupled INTERLOCK (+) Optocoupled INTERLOCK (-) Optocoupled SPEED SETTING (+) Optocoupled FAULT COMMOMN Relay SOFT START (+) Optocoupled SET POINT Relay Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 311/374...
Página 312 12 to 24 V  duty cycle range: from 25 % to 75 % corresponding to a pump  speed from 500 Hz to 530 Hz linearly (see the following diagram). 312/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 313 Both low speed value (win.117) and high-speed value (win.120) are limited between 500 Hz (can’t be set by the user) and “Maximum excitation frequency” (win.121, 530 Hz default). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 313/374...
Página 314 (window 111). The default setting is the frequency (see the following example diagram). The voltage is provided between pins 14 and 15. An high impedance input should be connected to this output (> 100 kΩ). Figure 14 314/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 315 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency (window 101=0)  threshold: 500 Hz (window 102=500)  hysteresis: 1% (window 103=1)  activation type: "active close" (window 104=1)  Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 315/374...
Página 316 (start/stop, soft start…) and drive the valves by remote I/O connector, or vice versa. The valve operating mode can be set by serial line with win.125 and 146, see following diagram for details. 316/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 317 100 Hz Open Purge Close Open Vent Controlled Fail -> Vent and Purge = Win 126 Win 147 Venting Close Closet Power Fail -> Purge and Vent = Closed Figure 17 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 317/374...
Página 318: Controlled Vent Procedure
This function allows the user to brake the pump without venting. This function must be used carefully and with the help of Agilent personnel. The function can be activated by serial line (window 107). 318/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 319 Technical Information Active Stop Electrical Connections Examples: Start-Stop or Interlock  Figure 18 Figure 19 Instead of switch is possible to use transistor. Soft Start, Speed Setting, Purge, Vent  Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 319/374...
Página 320 Technical Information Active Stop Figure 20 Figure 21 320/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 321 Technical Information Active Stop J2 – Serial Figure 22 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 3K-G. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME RESERVED TX (RS232)
Página 322: Serial Cable Installation
(MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: 322/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 323 <ETX> (End of transmission) = 0x03  <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and  including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 323/374...
Página 324 The command execution has been successfully completed NACK 1 byte (0x15) The command execution has been failed Unknown 1 byte (0x32) The specified window in the command is not Window a valid window 324/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 325 The RS-485 is a 2-wire (gnd optional) half-duplex communication link. NOTE Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 325/374...
Página 326 Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 326/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 327 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL CONFIGURATION Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 327/374...
Página 328: Window Meanings
1 = active open (N.C.) (default = 0) Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Active stop 0 = NO 1 = YES (default = 0) 328/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 329 Procedure (default) 1 = on command (see win.146) Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) (default = 1) Reserved to Agilent service Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 329/374...
Página 330 Driving frequency in Hz Pump temperature °C Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 330/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 331 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 23 Window N. 206 Bit Description Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 331/374...
Página 332: Powering On The Monitorr
Technical Information MoniTorr MoniTorr An integrated MoniTorr card is suitable for the Turbo-V 3K-G. This feature allows the pump’s vibration spectra acquisition and download. The necessary hardware is totally integrated into the controller and consists of one PCB card and one accelerometer fixed on the controller’s side.
Página 333: Monitorr Installation On The Network And On The Main Pc
Every controller has “0” default serial address. So the user must set the controller’s address. The following figure shows the connection of the MoniTorr to the RS485 network. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 333/374...
Página 334: Monitorr Connectivity Kit Installation Procedure
RS232 to RS485 converter and the standard optical to RS232 converter. In order to install and operate the MoniTorr card of the Turbo-V 3K-G it’s necessary to get the Monitor Connectivity Kit (P/N 969-9260). The user should install it on any windows based PC with at least one RS232 port.
Página 335 Installing the File Download Software paragraph Connect the RS232 cable from PC to Protocol Converter Connect the RS485 cable between the protocol converter and the network connector of each pump Figure 28 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 335/374...
Página 336 The computer can be always connected to the MoniTorr or only sometimes to NOTE download the vibration files. In order to permit a correct analysis a periodically (an archive file every 1 or 2 weeks) downloading is recommended. 336/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 337: Network Connector (Rs 485)
RS485 cable two terminator resistors (120 Ohm ½ watt) and to use only shielded cable. In any case if you prefer Agilent provides the right cable adapted for your system: please contact our customer service. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 337/374...
Página 338: Transmission Channel Characteristics
RS-485 all the data stored. To install the software simply run the Setup program. The following screen will be displayed on the personal computer: Figure 31 Select Next. The following screen will now be displayed on the personal computer monitor: 338/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 339 Figure 33 It is suggested that you maintain the proposed directory and path so as to NOTE facilitate the identification of the files generated by the system. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 339/374...
Página 340 Figure 34 Select Install to go on with the installation. Thefollowing screen is displayed on the personal computer monitor. Figure 35 Select Finish to conclude the installation. 340/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 341: Operating Procedure
The program is configured to work with the COM 1 serial port. If a change is required, click the right mouse button with the cursor on the Agilent logo on the right-hand side of the windows bar. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 341/374...
Página 342: Modifying The Parameters
MoniTorr to be modified and clicking the left mouse button. Then click the right mouse button, select Remote Device and then Set Counters. You are now prompted to enter a password; the password to be entered is: AGILENT. 342/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 343: Archive Saving Method Procedure
(*.mon) and a compressed archive file named according to the registration day (date.CAB). The customer should send by e-mail the compressed (.CAB) file every archive time period to Agilent Technical support at the following address: vpt-customercare@agilent.com Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 343/374...
Página 344 Technical Information MoniTorr Figure 38 *Only for information: all files are automatically stored in the directory C:\Agilent\ 344/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 345: Profibus Option
Mechanical This option is mounted in the “Option-1” space Figure 39 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 345/374...
Página 346: Configuration
00 to 7D are permitted; this setting is read by the interface during the power-on phase, so any change of the switch position after the power-on is ignored. 346/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 347 Regular data exchange). This failure has priority (in the indication) over the previous. Blink fast Gateway fail (internal check) or wrong address set (address > 0x7D or address not stable during power-on). Blink slow Gateway operating properly. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 347/374...
Página 348: Software Operation And State Machine
Figure 41 Tab. 10 Profibus State Machine Status Meaning POWER_ON Interface set-up WAIT_PRM Wait for parameterisation from the master WAIT_CFG Wait for configuration from the master DATA_EX Regular data exchange 348/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 349 ProfiBus State machine is not in Data Exchange mode As a general rule, unrecoverable communication errors make each machine to jump to the state immediately following the power-on state (WAIT_PRM or SRC_ADDR) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 349/374...
Página 350: Message Mapping
As a consequence of this, the scale and the meaning of some parameters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface. 350/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 351: Profibus Message Mapping
Set how long the vent will remain open, then both purge and vent will be closed. Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0); 0 = infinite (the valve remain open till a start command) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 351/374...
Página 352 1 = current 2 = time 3 = status (normal operation) B6. B7 - Analog Output Type Set the analog output on remote I/O connector proportional to: 0 = frequency 1 = power 352/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 353 0 = no (after a stop command the user can't know the real pump speed) 1 = yes (after a stop command the user can know the real rotor speed; see in Buff Byte Offset 6) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 353/374...
Página 354 If > 60 °C the controller goes in fail and the pump is stopped °C 0-45 Pump Body Temperature Read the pump body temperature close to the water circuit. If > 42 °C the controller goes in fail and the pump is stopped 354/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 355 “Pump Body Temperature” are over the limit) B0 – Check Connection To Pump (the connection between controller and pump missing) Sccm Flow Meter Reading (Specific option, not available on standard models) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 355/374...
Página 356 The parameters are never read back from the controller to the interface. The controller’s response at the write command (ACK, NACK, etc) is used to establish if the writing succeed or not. 356/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 357: Diagnostic Management
Controller response was “Unknown window” Controller response was “Bad Data Type” Controller response was “Over range” Controller response was “Bad operation” Controller response was an unknown response Parameter not supported by the controller Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 357/374...
Página 358: Diagnostic Buffer
(slave is parameterised by another master) Reserved Master Add (master address after parameterisation. FF= without parameter) Ident number high Ident number low External diagnosis “Header” length indication including header 358/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 359 7 - 4 Start/Stop/Interlock Mode diag status 3 - 0 Set Point Type diag status 7 - 4 Analog Out Type 3 - 0 Reserved 7 - 4 Reserved 3 - 0 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 359/374...
Página 360: Inlet Screen Installation
Figure 44 The system is shipped with the inlet screen mounted. Before using the system NOTE please check that the inlet screen in the correct position. 360/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 361 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 80 °C. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 361/374...
Página 362: Water Cooling Connection
(969-9338). The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 362/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Página 363: Vent Valve Installation
To install the gas purge and vent line it is necessary to unscrew the purge/vent port cover, and then connect the gas line. Reason to Purge the Turbo-V 3K-G Pump during Operation Keep the gas purge on at all times during pump operation, during stops, and even if there is no flow of aggressive gases.
Página 364: How To Purge The Turbo-V 3K-G Pump
100 Hz. When the Turbo-V 3K-G pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures.
Página 365 Use the Agilent “Controlled Vent Procedure” or contact Agilent. VACUUM TECHNOLOGIES Purge gas line Pressure regulator Purge and vent port Forevacuum pump Turbopump Water line Figure 47 Purge and vent layout Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 365/374...
Página 366: High Vacuum Flange Connection
Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 3K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Figure 48 Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures (12 x M10 steel bolts for ISO F flange).
Página 367: Fore-Vacuum Pump Connection
Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo-V 3K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Página 368: Orderable Parts
Description Part number Turbo-V 3K-G ISO 250 F system with MoniTorr with integrated 969-8888 purge/vent valves Turbo-V 3K-G T ISO 250 F with ProfiBus and MoniTorr with 969-8889 integrated purge/vent valves Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long...
Página 374 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

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