Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 25 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 34 Gebrauch Wartung Entsorgung 40...
Página 6
Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l‘installation Installation 48 Utilisation 51 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 55 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación 62 Uso 65 Mantenimiento 67...
Página 7
Contents Preparação para a instalação 74 Instalação 76 Utilização Manutenção Eliminação 82 Bedrijfshandleiding 83 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie Opslag Uitpakken 88 Installatie Gebruik Onderhoud 95 Afvalverwerking 96 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 99 Opbevaring 101 Forberedelse før installation 102 Installation 104 Anvendelse 107...
Página 8
Contents Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän Information 113 Förvaring Förberedelser för installationen 116 Installation 118 Användning 121 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 125 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon 130 Installasjon 132 Bruk Vedlikehold 137 Eliminering 138 10 Ohjekäsikirja...
Página 9
Contents Varastointi 143 Valmistelut asennusta varten144 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 153 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 154 Általános Információ 155 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 167 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 170 Ogólne informacje Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174...
Página 10
Contents Konserwacja Przetworstwo odpadow 182 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace Uskladnění 187 Příprava k instalaci 188 Instalace Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 197 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie...
Página 11
Contents Splošne informacije 213 Shranjevanje Priprava za montažo 216 Montaža Uporaba Vzdrževanje 223 Odlaganje opadkov 224 16 Instructions for Use 225 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information 227 Storage Preparation for Installation 230 Installation 232 Use 235 Maintenance Disposal 17 Technical Information 239 Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr 240...
Página 12
Contents Pump Purging and Venting 249 High Vacuum Flange Connection 252 Fore-Vacuum Pump Connection 253 Connection C-Electrical 253 Pump used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 256 12/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 16
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 2300 TwisTorr viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2300 TwisTorr e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Página 19
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Nell’imballo della Turbo-V 2300 TwisTorr sono compresi: pompa inlet screen (montato) questo manuale su CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 19/262...
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi AVVERTENZA! attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati praticati sul corpo pompa. AVVERTENZA! Il cavo di alimentazione del controller svolge anche la funzione di disconnessione dall’alimentazione elettrica del controller e della pompa in caso di emergenza.
Página 21
Istruzioni per l’uso Installazione Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica ...
Página 22
Istruzioni per l’uso Installazione La turbopompa con flangia di ingresso ISO F deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di bulloni con una classe di fissaggio di 12,9 (σr = 1200 N/mm ). La seguente tabella descrive il numero di bulloni d’acciaio necessari e con quale coppia di serraggio consigliata da Agilent stringerli.
Istruzioni per l’uso Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell’unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell’utilizzo. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Página 24
Istruzioni per l’uso AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, Argon e gas più...
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La Turbo-V 2300 TwisTorr non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 30
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell Turbo-V 2300 TwisTorr wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 2300 TwisTorr ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Página 33
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Verpackungsinhalt der Turbo-V 2300 TwisTorr: Pumpe Inlet-Screen (montiert) Betriebsanleitung auf CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 33/262...
Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten Hebe- und WARNUNG! Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindebohrungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind. WARNUNG! Das Versorgungskabel des Controllers dient auch dazu, Controller und Pumpe im Notfall von der Stromversorgung abzuschneiden.
Página 35
Gebrauchsanleitung Installation Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ...
Página 36
Gebrauchsanleitung Installation Die Turbopumpe mit Eingangsflansch ISO F muss mit der Vakuumkammer mithilfe von Bolzen Befestigungsklasse 12,9 (σr = 1200 N/mm ) befestigt werden. Die folgende Tabelle beschriebt die Anzahl der notwendigen Stahlbolzen und den von Agilent empfohlenen Anzugsmoment. Tab. 1 FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ.
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch Alle Anleitungen für einen korrekten Betrieb der Turbopumpe sind in dem Handbuch der Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch vor der Anwendung aufmerksam durchlesen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten. Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers niemals 120 °C überschreiten.
Página 38
Gebrauchsanleitung Gebrauch WARNUNG! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert.
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 2300 TwisTorr erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Préparation pour l‘installation 46 Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 41/262...
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 44
Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température : de –20 °C à...
Mode d’emploi Préparation pour l‘installation Préparation pour l‘installation Le Turbo-V 2300 TwisTorr est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Página 47
Mode d’emploi Préparation pour l‘installation La pompe Turbo-V 2300 TwisTorr comprend : Pompe Protection d’entrée (montée) CD-Rom contenant cette notice d’utilisation Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 47/262...
Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des équipements de levage et de déplacement appropriés. Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés sur le corps de la pompe. AVERTISSEMENT! Le câble d’alimentation du contrôleur a également pour fonction de couper l’alimentation électrique du contrôleur et de la pompe en cas d’urgence.
Página 49
Mode d’emploi Installation Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...
Página 50
Mode d’emploi Installation La turbopompe à bride d’entrée ISO F doit être fixée à la chambre à vide par des boulons d’une classe de fixation de 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Le tableau ci-dessous indique le nombre de boulons en acier nécessaires et le couple de serrage préconisé...
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Toutes les instructions nécessaires pour un fonctionnement correct de la pompe sont fournies dans le manuel de l’unité de commande. Veuillez lire attentivement ce manuel avant d’utiliser la pompe. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Página 52
Mode d’emploi Utilisation Ne jamais utiliser la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosives ATTENTION! pouvant endommager les composants internes de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 2300 TwisTorr n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Información general Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 55/262...
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Página 58
Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 2300 TwisTorr se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Página 61
Manual de istrucciones Preparación para la instalación El embalaje de la Turbo-V 2300 TwisTorr contiene: bomba inlet screen (montado) el presente manual en CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 61/262...
Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento. Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el cuerpo de la bomba misma. ¡ADVERTENCIA! El cable de alimentación del controlador también lleva a cabo la función de desconexión de la alimentación eléctrica del controlador y de la bomba en...
Página 63
Manual de istrucciones Instalación No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica ...
Página 64
Manual de istrucciones Instalación La turbo-bomba con brida de entrada ISO F debe fijarse a la cámara de vacío con bulones de fijación de 12,9 (σr = 1200 N/mm ). La siguiente tabla, describe el número de bulones de acero necesarios y el par de apriete aconsejado por Agilent.
Manual de istrucciones El manual de la unidad de control contiene todas las indicaciones para el correcto funcionamiento de la turbobomba. Leer atentamente dicho manual antes del uso. Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor no deberá superar nunca los 120 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Página 66
Manual de istrucciones ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia de nitrógeno, argón y gases más ligeros. En caso de que deban bombearse gases más pesados que el argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de Agilent a fin de recibir mayores informaciones.
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El Turbo-V 2300 TwisTorr no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/262...
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 72
Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à...
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 2300 TwisTorr é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Página 75
Manual de Istruções Preparação para a instalação A embalagem da Turbo-V 2300 TwisTorr contém: bomba inlet screen (montado) este manual em CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 75/262...
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! Devido ao seu peso, a bomba deve ser manuseada com a ajuda de equipamentos de levantamento e deslocação específicos. Para tal, utilizar as respectivas cavilhas montadas nos furos roscados existentes no corpo da bomba. ATENÇAO! O cabo de alimentação do controloador também realiza a função de desconexão da alimentação eléctrica do controlador e da bomba em caso...
Página 77
Manual de Istruções Instalação Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica ...
Página 78
Manual de Istruções Instalação A turbobomba com flange de entrada ISO F deve ser fixada na câmara de vácuo por meio de parafusos com um tipo de fixação de 12,9 (σr = 1200 N/mm ). A tabela seguinte descreve o número de parafusos de aço necessários e o torque de aperto a aplicar recomendado por Agilent.
Manual de Istruções Utilização Utilização Todas as instruções para o funcionamento correcto da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 °C. Durante o funcionamento da bomba a temperatura do rotor deve ser sempre inferior a 120 °C.
Página 80
Manual de Istruções Utilização ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de Azoto, Argon e gases mais leves. Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para obter maiores informações.
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 2300 TwisTorr não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 86
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Turbo-V 2300 TwisTorr wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2300 TwisTorr niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Página 89
Bedrijfshandleiding Uitpakken In de verpakking van de Turbo-V 2300 TwisTorr zijn aanwezig: pomp inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 89/262...
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale hef- en transportwerktuigen worden gehanteerd. Gebruik hiervoor de speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het pomplichaam. WAARSCHUWING! De voedingskabel van de controller dient ook om de elektrische voedin van de controller en de pomp los te koppelen in een noodsituatie.
Página 91
Bedrijfshandleiding Installatie De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn.
Página 92
Bedrijfshandleiding Installatie De turbopomp met ISO F inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden bevestigd met behulp van bouten met een klasse van 12,9 (σr = 1200 N/mm ). De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde stalen bouten en het door Agilent aanbevolen aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden.
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp vindt u in de handleiding van de regelunit. Lees deze handleiding aandachtig voor gebruik. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen. Tijdens de werking van de pomp, mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden.
Página 94
Bedrijfshandleiding Gebruik WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. De pomp is voor een hoge doorvoercapaciteit van stikstof, Argon en lichtere gassen ontworpen.
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De Turbo-V 2300 TwisTorr is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Página 100
Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, ...
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation Turbo-V 2300 TwisTorr leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 2300 TwisTorr ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Página 103
Istruktionsbog Forberedelse før installation Emballagen med Turbo-V 2300 TwisTorr indeholder: Pumpe Indgangsflange (monteret) Cd-rom med denne manual Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 103/262...
Istruktionsbog Installation Installation På grund af dens vægt skal pumpen håndteres ved hjælp af passende løfte- ADVARSEL! og transportudstyr. Benyt øjeboltene, der er fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset. ADVARSEL! Styreenhedens netledning fungerer også som afbryder af strømforsyningen for styreenheden og pumpen i tilfælde af en nødsituation. Sørg for, at enhedens netledning nemt kan nås, således at den kan afbrydes.
Página 105
Istruktionsbog Installation Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk ...
Página 106
Istruktionsbog Installation Turbopumpen med OSO D indgangsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med bolte, der er spændt med et drejningsmoment svarende til 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Følgende tabel angiver det nødvendige antal metalbolte og drejningsmomentet, som Agilent anbefaler. Tab. 1 LANGE KLEMMETYPE ANT.
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Alle instruktionerne for pumpens korrekte betjening er indeholdt i kontrolenhedens brugervejledning. Læs denne vejledning omhyggeligt før brug. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C. Rotorens temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse med brug af pumpen.
Página 108
Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for kvælstof, argon og lettere gasarter. Kontakt Agilents tekniske servicecenter vedrørende yderligere oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er tungere end argon.
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 2300 TwisTorr behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Página 114
Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen Turbo-V 2300 TwisTorr levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 2300 TwisTorr inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på...
Página 117
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Turbo-V 2300 TwisTorr förpackning innehåller: Pump Intagsfläns (monterad) Denna bruksanvisning på CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 117/262...
Bruksanvisning Installation Installation På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga lyft- och VARNING! flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna som är fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. VARNING! Styrenhetens elkabeln kopplar även ur elförsörjningen till styrenheten ooch pumpen vid nödläge. Se till att apparatens elkabel lätt kan nås för att kopplas ur.
Página 119
Bruksanvisning Installation Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) ...
Página 120
Bruksanvisning Installation Turbopumpen med inloppsfläns ISO F ska fästas till vakuumkammaren med hjälp av bultar med låsklass 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Den följande tabellen anger antalet nödvändiga stålbultar och med vilket vridmoment som Agilent rekommenderar att de dras åt. Tab.
Bruksanvisning Användning Användning Alla instruktioner för en rätt funktion av turbopumpen finns i kontrollenhetens handbok. Läs noggrant igenom handboken innan den används. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80 °C. När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig överstiga 120 °C.
Página 122
Bruksanvisning Användning VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve, argon och lättare gaser. Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon, kontakta Agilents tekniska service för information.
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 2300 TwisTorr är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 125/262...
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Página 128
Instruksjon Manual Generell informasjon Denne håndboken bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 2300 TwisTorr leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 2300 TwisTorr pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Página 131
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon I esken med Turbo-V 2300 TwisTorr finnes følgende: Pumpe Inngangsflens (montert) Denne veiledningen på CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 131/262...
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon På grunn av pumpens vekt må den flyttes med egnede løfte- og ADVARSEL ! flytteredskaper. Bruk øyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene på pumpehuset. ADVARSEL ! Kontrollerens strømkabel har også som oppgave å koble fra den elektriske forsyningen til kontrolleren og pumpen i nødstilfeller.
Página 133
Instruksjon Manual Installasjon Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) ...
Página 134
Instruksjon Manual Installasjon Turbopumpen med inngangsflense ISO F skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av muttere med festeklasse på 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Tabellen som følger beskriver antallet stålmuttere som behøves samt dreiningsmomentet som anbefales av Agilent for å stramme dem.
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle anvisningene for korrekt drift av turbopumpen finnes i kontrollenhetens håndbok. Les denne håndboken nøye før bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C. Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri overstige 120 °C.
Página 136
Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL ! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen, argon og lettere gasser. Hvis det er nødvendig å pumpe gasser som er tyngre enn argon, vennligst kontakt Agilent’s tekniske service for informasjon.
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 2300 TwisTorr er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/262...
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 140/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Página 142
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 142/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C – 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 2300 TwisTorr toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 2300 TwisTorr putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Página 145
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 2300 TwisTorr -pumpun pakkauksessa on: pumppu sisääntulon laippa (asennettu) tämä ohjekirja CD-ROM:lla Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 145/262...
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla nosto- ja VAROITUS! siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin. VAROITUS! Valvontayksikön virtajohtoa käytetään myös valvontayksikön ja pumpun sähkövirran kytkemiseksi irti hätätilan syntyessä. Varmista, että laitteen virtajohtoon päästään helposti sen kytkemiseksi irti. Varmista, että...
Página 147
Ohjekäsikirja Asennus Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen ...
Página 148
Ohjekäsikirja Asennus ISO F sisääntulolaipalla varustettu turbopumppu on kiinnitettävä tyhjiökammioon pulteilla, joiden kiinnitysluokitus on 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Seuraavassa taulukossa on esitetty tarvittavien teräspulttien lukumäärä ja momentti, jolla Agilent suosittelee pultit kiristettäviksi. Tab. 1 LAIPPA KIINNIKE MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI ISO 250 F Pultti M10-kierteillä...
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Kaikki turbopumpun oikeaan käyttöön liittyvät ohjeet löytyvät ohjausyksikön käyttöohjeesta. Lue käyttöohje huolellisesti ennen käyttöä. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta. Pumpun toiminnan aikana roottorin lämpötila ei saa koskaan olla yli 120 °C. Älkää...
Página 150
Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä, argonia ja kevyitä kaasuja. Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä lisätietoja Agilentin teknisestä...
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 2300 TwisTorr ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Felhasználói Kézikönyv Általános Információ Általános Információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 156
Felhasználói Kézikönyv Általános Információ Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: A figyelem üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C – 70 °C relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Turbo-V 2300 TwisTorr-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú...
Página 159
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A Turbo-V 2300 TwisTorr csomag a következőket tartalmazza: szivattyú bemeneti szűrő (felszerelve) a kézikönyv CD-ROM-on Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 159/262...
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Súlya miatt a szivattyút alkalmas mozgató és kezelőeszközökkel kell kezelni. VESZÉLY ! Használja az alkalmas kezelőkészletből való, a szivattyú törzsében lévő lyukakba csavart szemcsavarokat. VESZÉLY ! A controller tápkábele veszély esetén a szivattyú és a controller elektromos táplálásának szétkapcsolására is szolgál.
Página 161
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett ...
Página 162
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Az ISO F bemenetes peremes turbószivattyút a vákuumkamrához csavarokkal kell rögzíteni 12,9 (σr = 1200 N/mm ) rögzítési osztállyal. Az alábbi táblázat megmutatja a szükséges acélcsavar számokat és a Agilent által ajánlott rögzítési nyomatékot, amellyel meg kell húzni azokat.
Página 163
Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 2300 TwisTorr a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához FIGYELEM! tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 2300 TwisTorr-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat A turbószivattyú helyes működtetésére vonatkozó összes utasítás az ellenőrző egység használati utasításában szerepel. Használat előtt olvassa el figyelmesen ezt a használati utasítást. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot. A szivattyú...
Página 165
Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N , Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Agilent műszaki támogatáshoz.
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 2300 TwisTorr nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá...
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Página 172
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozenie przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od –20 °C do 70 °C ...
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System Turbo-V 2300 TwisTorr jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Página 175
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji ć W opakowaniu zespołu Turbo-V 2300 TwisTorr znajdują się: pompa inlet screen (zamontowany) instrukcja na CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 175/262...
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Pompa z powodu własnego ciężaru, musi być przemieszczana poprzez ZAGROZENIE ! odpowiedni sprzęt do tego celu. Do tego celu należy zastosować odpowiednie zawiesia wkręcone w gwintowane otwory znajdujące się na korpusie pompy. ZAGROZENIE ! Kabel zasilający sterownika pełni również funkcję odłączania od zasilania elektrycznego sterownika i pompy w przypadku wystąpienia sytuacji awaryjnej.
Página 177
Podrecznik Instrukcji Instalacja ć Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym ...
Página 178
Podrecznik Instrukcji Instalacja Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO F musi być przymocowana do komory próżniowej za pomocą śrub – klasa mocowania 12,9 (σr = 1200 N/mm ). W poniższej tabeli podano ilość śrub stalowych koniecznych do zamocowania oraz zalecany przez Agilent moment, z jakim należy je dokręcić.
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie Wszystkie instrukcje dotyczące prowidłowego działania turbopompy zamieszczono w instrukcji jednostki sterującej. Przed rozpoczęciem pracy z pompą należy uważnie przeczytać tę instrukcję. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. Podczas działania pompy, temperatura wirnika nie może nigdy przekroczyć...
Página 180
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Pompa jest zaprojektowana aby posiadała wysoki przepływ Azotu, Argonu i innych lżejszych gazów. W przypadku kiedy zaistnieje potrzeba pompowania cięższych gazów od Argonu, w celu informacji, należy skontaktować...
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Zespół Turbo-V 2300 TwisTorr nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 193 Údržba Likvidace 196 Překlad originálního návodu 183/262...
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Página 186
Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C ...
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Zařízení Turbo-V 2300 TwisTorr se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Página 189
Návod k Použití Příprava k instalaci Balení Turbo-V 2300 TwisTorr obsahuje: vývěvu vstupní síto (namontováno) tento návod k použití na CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 189/262...
Návod k Použití Instalace Instalace Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat odpovídající NEBEZPEČÍ ! nástroje a nářadí. Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů v tělese vývěvy. NEBEZPEČÍ ! Napájecí kabel řídící jednotky slouží také k odpojení elektrického napájení samotné...
Página 191
Návod k Použití Instalace Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem ...
Página 192
Návod k Použití Instalace Turbočerpadlo se vstupní přírubou ISO F musí být připevněno k vakuové komoře prostřednictvím šroubů s třídou upevnění 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Následující tabulka popisuje počet potřebných ocelových šroubů a hodnotu utahovacího momentu, kterou doporučuje Agilent pro jejich dotažení. Tab.
Návod k Použití Použití Použití Veškeré pokyny pro správnou činnost turbovývěvy jsou uvedeny v návodu řídicí jednotky. Před použitím si pozorně přečtěte tento návod. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C. Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní...
Página 194
Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je určena pro vysoce výkonné odčerpávání N , Ar a lehčího plynu. Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší...
Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 2300 TwisTorr nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 199 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 202 Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 197/262...
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Página 200
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú¬ce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 2300 TwisTorr je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Página 203
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Súprava Turbo-V 2300 TwisTorr zahrňuje: vývevu vstupná mriežka tento návod na použitie na CD Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 203/262...
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Kvôli jej váhe, s vývevou manipulujte s pomocou vhodných pomôcok a NEBEZPEČÍE ! nástrojov. Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. NEBEZPEČÍE ! Napájací kábel riadiacej jednotky slúži aj na odpojenie elektrického napájania samotnej riadiacej jednotky i vývevy v núdzovom stave. Uistite sa, že kábel elektrického napájania je ľahko prístupný, kvôli jeho odpojeniu.
Página 205
Návod na Obsluhu Inštalácia Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku ...
Página 206
Návod na Obsluhu Inštalácia Turbočerpadlo so vstupnou prírubou ISO F musí byť pripevnené k vákuovej komore prostredníctvom skrutiek s triedou upevnenia 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Nasledujúca tabuľka popisuje počet potrebných oceľových skrutiek a hodnotu uťahovacieho momentu, ktorú odporúča Agilent pre ich dotiahnutie. Tab.
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Všetky pokyny pre správnu činnosť turbovývevy sú uvedené v návode riadiacej jednotky. Pred použitím si pozorne prečítajte tento návod. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. Počas prevádzky vývevy teplota rotora nesmie prekročiť 120 °C. NEBEZPEČÍE! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná...
Página 208
Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých plynov. Ak potrebujete čerpať...
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 2300 TwisTorr nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 211/262...
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Página 214
Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava Turbo-V 2300 TwisTorr je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Página 217
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Turbo-V 2300 TwisTorr paket vsebuje: črpalka zaslon (vgrajen) navodila za uporabo na CD-ROMu Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 217/262...
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Zaradi teže je treba za rokovanje s črpalko uporabiti primerne naprave za SVARILO ! premikanje. Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. SVARILO ! Električni napajalni kabel krmilnika služi tudi za izklop električnega napajanja krmilnika in črpalke v primeru sile.
Página 219
Priročnik za Navodila Montaža Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere ...
Página 220
Priročnik za Navodila Montaža Turbo črpalka z vhodno prirobnico ISO F mora biti pritrjena na vakuumsko komoro s pomočjo sornikov trdnostnega razreda 12,9 (σr = 1200 N/mm ). Naslednja tabela opisuje število potrebnih jeklenih sornikov in zatezni moment za zategnitev slednjih, ki ga priporoča Agilent.
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Vsa navodila za pravilno delovanje turbo črpalke so na voljo v priročniku kontrolne enote. Pred uporabo črpalke pozorno preberite ta priročnik. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. Med delovanjem črpalke rotor ne sme preseči temperature 120 °C. Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na SVARILO! vakuumsko ležišče.
Página 222
Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je narejena za hitro črpanje N , Ar in lažjih plinov. Če želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate Agilent tehnično podporo za več...
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 2300 TwisTorr ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information Storage Preparation for Installation 230 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 225/262...
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Página 228
Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 2300 TwisTorr is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Página 231
Instructions for Use Preparation for Installation The Turbo-V 2300 TwisTorr package includes: pump Purge/Vent Device (integrated) Water cooling hose tail connector (mounted) This instruction manual on CD-Rom Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C) 231/262...
Instructions for Use Installation Installation Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and WARNING! handling tools. Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of the pump body. WARNING! The power cord of the controller is defined as disconnecting device in order to remove the power from the pump and the controller in case of an emergency.
Página 233
Instructions for Use Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure ...
Página 234
Instructions for Use Installation The turbopump with ISO F inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of bolts with a strength class of 12,9 (σr = 1200 N/mm ). The following table shows the necessary number of steel bolts and the relevant fixing torque as recommended by Agilent.
Instructions for Use All instructions for correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read this manual carefully before using the device for the first time. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C.
Página 236
Instructions for Use WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas.
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 2300 TwisTorr does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump Description Technical Specification Turbo-V 2300 TwisTorr Outline 244 Inlet Screen Installation Water Cooling Connection Pump Purging and Venting Pump used with Corrosive Gases 249 How to Purge the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump 249 How to Vent the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump 250 High Vacuum Flange Connection Fore-Vacuum Pump Connection...
Technical Information Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr The Turbo-V 2300 TwisTorr pump is available in two versions. They are: Model 9696000 with ISO 250 F high vacuum flange Model 9696001 with ConFlat 12” external diameter high vacuum ...
Technical Information Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with bladed stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump.
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Technical Specification Pumping speed (without inlet screen) 2050 l/s 1800 l/s 1500 l/s Compression ratio > 8 10 8 x 10 4 x 10 Base pressure with recommended mbar (7.5 x 10 Torr) forepump (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that...
Página 243
Technical Information Technical Specification Noise level <60 dB(A) at 1 meter Storage temperature -20 °C to +70 °C Environment protection IP54 Weight kg (lbs) ISO 250: 54.2 (119.5) CF 12”: 55.3 (121.9) When the Turbo-V 2300 TwisTorr has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump.
Página 244
Technical Information Technical Specification 244/262 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 (C)
Technical Information Turbo-V 2300 TwisTorr Outline Turbo-V 2300 TwisTorr Outline The following figure shows the Turbo-V 2300 TwisTorr outlines (dimensions are in mm [inches]). Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 245/262...
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation The inlet screen prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 5.2 mm diameter. The inlet screen does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Página 247
Technical Information Inlet Screen Installation The system is shipped with the inlet screen mounted. Before using the system NOTE please check that the inlet screen in the correct position. The center ring can be installed as shown in the following figure. If the chamber of the system is "baked"...
Technical Information Water Cooling Connection Water Cooling Connection The pumping system is supplied with a metallic model water cooling kit. Two 9 – 10 mm internal diameter rubber or plastic tubes from the water supply must be fitted to the two dedicated nozzles. These tubes must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Technical Information Pump Purging and Venting Pump Purging and Venting The Turbo-V 2300 TwisTorr is equipped with an integrated purging and venting valve device. Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 NPT thread or Swagelok connector. Pump used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line.
Technical Information Pump Purging and Venting How to Vent the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump The recommended procedure to vent the system is described in the following points: Close the process gases flowing into the system. Leaving the Turbo-V 2300 TwisTorr pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the process gases from the system (e.g.
Página 251
Technical Information Pump Purging and Venting VACUUM TECHNOLOGIES Purge gas line Pressure regulator Purge and vent port Forevacuum pump Turbopump Water line Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 251/262...
Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 2300 TwisTorr pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures (12 x M10 steel bolts for ISO F flange).
Technical Information Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo-V 2300 TwisTorr pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Página 254
Technical Information Connection C-Electrical The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector and a 6 pin connector. 8-pin connector Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pin E is connected to the pump ground, pin G and H are not connected, pins A and F reserved for Agilent.
Technical Information Pump used in Presence of Magnetic Fields Pump used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 3 Accessories and Spare Parts Description Part number Turbo-V 2300 TwisTorr ISO 250 F 9696000 Turbo-V 2300 TwisTorr ConFlat 12” 9696001 Inlet screen DIN ISO 250 9699350 Centering ISO 250 9699144 Water cooling kit for 6x8 (IDxOD) flexible tube (plastic model) 9699348...
Página 262
Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA...