Použití - Agilent Technologies TV 1001 SEM Manual De Instrucciones

13 Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby
nesmí překročit 120 °C.
NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během
zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte.
Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
POZOR!
by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než
2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto
vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
Information").
Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by
POZOR!
mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy.
NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních
plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
192/296
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical
2
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)