Brooks Instrument SFP33 Manual De Instalación Y Funcionamiento página 31

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  • ESPAÑOL, página 49
Instruction and Operation Manual
X-PR-SFP-eng
Part Number: 541B070AAG
September, 2016
Bulgarian
Brooks Instrument
,
.
,
-
.
:
:
.
.
: (1)
.
,
:
"
Brooks Instrument
-
25 mm
25 mm
(
Brooks Insturment
„D"
.
CE
.
:
:
.
:
1.
.
2.
3.
:
,
,
.
,
,
,
,
,
,
.
.
Brooks Instrument
,
,
,
,
0,5 bar (g)
(PED).
1" (inch)
1" (inch),
-
,
/
)
Brooks Instrument
(
EMC 2014/30/EU).
,
,
,
"
.
.
.
,
.
.
.
,
,
.
Section B Essential Instructions
!
,
,
,
,
.
,
/
Brooks Instrument
.
,
,
,
.
-
25 mm
PED
2014/34/EU.
1.
I, II
III
PED.
,
:
CE
,
100%-
.
.
(ESD)
,
,
.
.
(ESD)
-
(NMOS, SMOS
.
Brooks
,
Brooks Instrument.
,
.
.
.
.
.
.
/
.
. (2)
,
.
.
.
,
.
.
(PED)
1" (inch),
.
(SEP).
(EMC)
,
.
.
.
360°.
100%-
,
.
. .).
®
SFP
.
,
,
,
B-1

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