Contents Contents Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch Wartung...
Página 6
Contents Entsorgung 42 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation 49 Fixation de la pompe 50 Utilisation 52 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 59 Almacenamiento Preparación para la instalación 62...
Página 7
Contents Manual de Istruções 71 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72 Informações gerais 73 Armazenagem 75 Preparação para a instalação 76 Instalação 77 Fixação da bomba Utilização Manutenção Eliminação 84 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 Algemene informatie Opslag Uitpakken 90 Installatie Bevestiging van de pomp...
Página 8
Contents Generel information 101 Opbevaring 103 Forberedelser før installation 104 Installation 105 Fastgørelse af pumpe Anvendelse 108 Nødstop Vedligeholdelse 111 Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information 115 Förvaring Förberedelser för installation 118 Installation 119 Fastsättning av pump Användning 122 Underhåll Bortskaffning...
Página 9
Contents Lagring Klargjøre til installasjon 132 Installasjon 133 Festing av pumpen 134 Bruk Vedlikehold 139 Eliminering 140 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 145 Valmistelut asennusta varten146 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 155 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 156 Általános informáicó...
Página 10
Contents Telepítés A szivattyú rögzítése 162 Használat Karbantartás Megsemmisítés 168 12 Podrecznik Instrukcji 169 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 171 Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Mocowanie pompy 176 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 182 13 Návod k Použití Bezpečnostní...
Página 11
Contents Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila 211 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 Splošne informacije 213 Shranjevanje Priprava za montažo 216 Montaža Pritrjevanje črpalke 218...
Página 12
Contents Odlaganje opadkov 224 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information 227 Storage Preparation for installation 230 Installation 231 Pump fixing 232 Maintenance Disposal 17 Technical Information 239 Pump Description Technical Specification 243 Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Interconnections –...
Página 13
Contents Serial Cable Installation (for 9698978M004 Navigator Controller only) Turbo-V 1K-G Retrofit Navigator Controller Installation 281 Connection C - Electrical 284 Pump Used with Corrosive Gases 285 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 288 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 13/294...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 22 Accensione ed Uso della Turbo-V 1K-G Retrofit Arresto della Turbo-V 1K-G Retrofit 26 Arresto di Emergenza 26 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Página 18
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 1K-G Retrofit viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 1K-G Retrofit e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica ...
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa.
Página 23
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa La Turbo-V 1K-G Retrofit con Navigator controller 9698978M004 appartiene alla ATTENZIONE! seconda categoria di installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. La Turbo-V 1K-G Retrofit ha dei connettori per gli ingres- si/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso della Turbo-V 1K-G Retrofit Le istruzioni seguenti si applicano alla Turbo-V 1K-G Retrofit usata in combinazione con il Navigator controller (modello 9698978M004). Riferirsi al manuale dell’unità per l’uso con gli altri modelli di controller (9699454M001 e 9699554M003). Per accendere la Turbo-V 1K-G Retrofit è...
Istruzioni per l’uso Arresto della Turbo-V 1K-G Retrofit Per arrestare la Turbo-V 1K-G Retrofit è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La Turbo-V 1K-G Retrofit non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der Turbo-V 1K-G Retrofit 39 Stoppen der Turbo-V 1K-G Retrofit Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/294...
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Página 32
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Die Turbo-V 1K-G Retrofit wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die Turbo-V 1K-G Retrofit ist vorsichtig auszupacken, wobei sie vor dem Herunterfallen zu schützen ist und nicht Stößen und Vibrationen ausgesetzt werden darf.
Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ...
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe WARNUNG! Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengehäuse löst.
Página 37
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Die Turbo-V 1K-G Retrofit mit Navigator Controller 9698978M004 gehört zur VORSICHT! zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Die Turbo-V 1K-G Retrofit hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80°C nicht überschreiten. WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist.
Gebrauchsanleitung Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der Turbo-V 1K-G Retrofit Die nachfolgenden Anleitungen werden bei der Turbo-V 1K-G Retrofit kombiniert mit dem Navigator Controller (Modell 9698978M004) angewandt. Sich auf das Handbuch der Einheit für den Gebrauch mit anderen Controller-Modellen (9699454M001 und 9699554M003) beziehen.
Gebrauchsanleitung Gebrauch Stoppen der Turbo-V 1K-G Retrofit Zum Stoppen der Turbo-V 1K-G Retrofit ist die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp. WARNUNG! Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet ist.
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Turbo-V 1K-G Retrofit erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation Mise en marche et utilisation de la Turbo-V 1K-G Retrofit 53 Arrêt de la Turbo-V 1K-G Retrofit 54 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 56...
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Página 46
Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –20 °C à...
Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation La Turbo-V 1K-G Retrofit est livrée dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Mode d’emploi Installation Installation Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...
Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe.
Página 51
Mode d’emploi Fixation de la pompe La Turbo-V 1K-G Retrofit à Navigator controller 9698978M004 appartient à la ATTENTION! deuxième catégorie d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie.
Mode d’emploi Utilisation Utilisation Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Mode d’emploi Utilisation Mise en marche et utilisation de la Turbo-V 1K-G Retrofit Les instructions qui suivent concernent la Turbo-V 1K-G Retrofit utilisée en association avec le Navigator controller (modèle 9698978M004). Consulter le manuel de l’appareil pour l’utilisation avec d’autres modèles de contrôleur (9699454M001 et 9699554M003). Pour allumer la Turbo-V 1K-G Retrofit il suffit de fournir la tension d'alimentation.
Mode d’emploi Utilisation Arrêt de la Turbo-V 1K-G Retrofit Pour arrêter la Turbo-V 1K-G Retrofit, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Mode d’emploi Entretien Entretien La Turbo-V 1K-G Retrofit n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación Fijación de la bomba Encendido y Uso de Turbo-V 1K-G Retrofit 67 Parada de Turbo-V 1K-G Retrofit 68 Parada de Emergencia 68 Mantenimiento Eliminación...
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al aparato.
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación Turbo-V 1K-G Retrofit se suministra en un embalaje espe-cial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Manual de istrucciones Instalación Instalación No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica ...
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba.
Página 65
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Turbo-V 1K-G Retrofit con Navigator controller 9698978M004 pertenece a la ¡ATENCIÓN! segunda categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 °C. ¡ADVERTENCIA! No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está...
Manual de istrucciones Encendido y Uso de Turbo-V 1K-G Retrofit Las siguientes instrucciones se aplican a Turbo-V 1K-G Retrofit utilizada conjuntamente con el Navigator controller (modelo 9698978M004). Consultar el manual de la unidad para el uso con otros modelos de controller (9699454M001 y 9699554M003). Para encender Turbo-V 1K-G Retrofit basta con suministrar la tensión de alimentación.
Manual de istrucciones Parada de Turbo-V 1K-G Retrofit Para parar Turbo-V 1K-G Retrofit basta con desenchufarla de la corriente. El controller incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Turbo-V 1K-G Retrofit no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 78 Utilização Acendimento e Utilização da Turbo-V 1K-G Retrofit 81 Paragem da Turbo-V 1K-G Retrofit Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Página 74
Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à...
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação A Turbo-V 1K-G Retrofit é fornecida numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Manual de Istruções Instalação Instalação Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica ...
Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba.
Página 79
Manual de Istruções Fixação da bomba A Turbo-V 1K-G Retrofit com Navigator controller 9698978M004 pertence à CUIDADO! segunda categoria de instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. A Turbo-V 1K-G Retrofit tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão.
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização da Turbo-V 1K-G Retrofit As seguintes instruções se aplicam à Turbo-V 1K-G Retrofit usada em combinação com o Navigator controller (modelo 9698978M004). Refere-se ao manual da unidade para o uso com os demais modelos de controller (9699454M001 e 9699554M003).
Manual de Istruções Utilização Paragem da Turbo-V 1K-G Retrofit Para deter a Turbo-V 1K-G Retrofit é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível internacional).
Manual de Istruções Manutenção Manutenção A Turbo-V 1K-G Retrofit não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van de Turbo-V 1K-G Retrofit 95 Afzetten van de Turbo-V 1K-G Retrofit Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 98 Vertaling van de originele instructies 85/294...
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Página 88
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Turbo-V 1K-G Retrofit wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 1K-G Retrofit niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max.
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken.
Página 93
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De Turbo-V 1K-G Retrofit met Navigator controller 9698978M004 behoort tot de VOORZICHTIG! tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De Turbo-V 1K-G Retrofit bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is.
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen. WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Bedrijfshandleiding Gebruik Inschakeling en gebruik van de Turbo-V 1K-G Retrofit De volgende instructies zijn van toepassing op de Turbo-V 1K-G Retrofit gebruikt in combinatie met de Navigator controller (model 9698978M004). Raadpleeg de handleiding van de unit voor het gebruik met de andere controllermodellen (9699454M001 en 9699554M003).
Bedrijfshandleiding Gebruik Afzetten van de Turbo-V 1K-G Retrofit Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp. WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met internationale goedkeuring).
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De Turbo-V 1K-G Retrofit is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgørelse af pumpe 106 Anvendelse Start og anvendelse af Turbo-V 1K-G Retrofit 109 Stop af Turbo-V 1K-G Retrofit Nødstop 110 Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 99/294...
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Página 102
Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C ...
Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation Turbo-V 1K-G Retrofit leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 1K-G Retrofit ikke tabes eller udsættes for stød eller vibrationer.
Istruktionsbog Installation Installation Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk ...
Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Fastgørelse af pumpe ADVARSEL! Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller systemet, hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller dødsfald og/eller materiel beskadigelse af apparaterne i nærheden.
Página 107
Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Turbo-V 1K-G Retrofit med Navigator controller 9698978M004 hører til den VOORZICHTIG! anden installationsklasse (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Turbo-V 1K-G Retrofit er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation.
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C. ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af Turbo-V 1K-G Retrofit De nedenstående instruktioner gælder for Turbo-V 1K-G Retrofit brugt sammen med Navigator controller (model 9698978M004). Der henvises til enhedens brugervejledning angående brug med andre controller modeller (9699454M001 og 9699554M003). For at starte Turbo-V 1K-G Retrofit er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik.
Istruktionsbog Anvendelse Stop af Turbo-V 1K-G Retrofit For at afbryde Turbo-V 1K-G Retrofit er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 1K-G Retrofit behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pump 120 Användning Start och användning av Turbo-V 1K-G Retrofit 123 Att stänga av Turbo-V 1K-G Retrofit Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 113/294...
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Página 116
Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå...
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Turbo-V 1K-G Retrofit levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 1K-G Retrofit inte tappas eller utsätts för stötar eller vibrationer vid uppackningen.
Bruksanvisning Installation Installation Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) ...
Bruksanvisning Fastsättning av pump Fastsättning av pump VARNING! I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från pumpens hölje. I så fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på...
Página 121
Bruksanvisning Fastsättning av pump Turbo-V 1K-G Retrofit med Navigator controller 9698978M004 tillhör den andra OBSERVER! installationsklassen (eller överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. Turbo-V 1K-G Retrofit är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så...
Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80 °C. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på...
Bruksanvisning Användning Start och användning av Turbo-V 1K-G Retrofit Instruktionerna nedan gäller Turbo-V 1K-G Retrofit som används i kombination med Navigator controller (modell 9698978M004). Se handboken för ytterligare information om hur den används med andra controller-modeller (9699454M001 och 9699554M003). För att starta Turbo-V 1K-G Retrofit behöver du bara ansluta till ett eluttag.
Bruksanvisning Användning Att stänga av Turbo-V 1K-G Retrofit Om du vill stänga av Turbo-V 1K-G Retrofit behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar) tillsammans med kontakt (godkänd på...
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 1K-G Retrofit är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 128 Lagring Klargjøre til installasjon 132 Installasjon Festing av pumpen Bruk Starte og bruke Turbo-V 1K-G Retrofit 137 Stoppe Turbo-V 1K-G Retrofit Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 127/294...
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Página 130
Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 1K-G Retrofit leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 1K-G Retrofit pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) ...
Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster.
Página 135
Instruksjon Manual Festing av pumpen Turbo-V 1K-G Retrofit med Navigator controller 9698978M004 hører til FORSIKTIG! installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. Turbo-V 1K-G Retrofit er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og seriekommunikasjonen som må...
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80°C. ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke Turbo-V 1K-G Retrofit Instruksjonene nedenfor gjelder Turbo-V 1K-G Retrofit brukt sammen med Navigator controller (modell 9698978M004). Se styreenhetens bruksanvisning for bruk med andre controller-modeller (9699454M001 og 9699554M003). Turbo-V 1K-G Retrofit startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten.
Instruksjon Manual Bruk Stoppe Turbo-V 1K-G Retrofit Turbo-V 1K-G Retrofit stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 1K-G Retrofit er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 148 Käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin käynnistys ja käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin pysäyttäminen Hätäpysäytys 152 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 141/294...
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 142/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Página 144
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 144/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C - 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 1K-G Retrofit toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 1K-G Retrofitin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen ...
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä olevien laitteiden vaurioita.
Página 149
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Navigator controller 9698978M004 -ohjaimella varustettu Turbo-V 1K-G Retrofit HUOMIO! kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. Turbo-V 1K-G Retrofit laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä...
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana.
Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin käynnistys ja käyttö Seuraavat ohjeet koskevat Turbo-V 1K-G Retrofit -pumppua, kun sitä käytetään yhdessä Navigator controller -ohjaimen (malli 9698978M004) kanssa. Ohjeita käytöstä muiden ohjainmallien (9699454M001 ja 9699554M003) kanssa on käyttöoppaassa. Turbo-V 1K-G Retrofitin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon.
Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin pysäyttäminen Turbo-V 1K-G Retrofitin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 1K-G Retrofit ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 160 Telepítés A szivattyú rögzítése Használat A Turbo-V 1K-G Retrofit bekapcsolása és használata 165 A Turbo-V 1K-G Retrofit kikapcsolása 166 Vészleállítás 166 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 155/294...
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 158
Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja: VESZÉLY! A veszély üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) ...
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Turbo-V 1K-G Retrofitot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A Turbo-V 1K-G Retrofit kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és ne tegye ki bármilyen hirtelen ütésnek vagy rázkódásnak. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett ...
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyúnak a rendszerhez való csatlakozása jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem elegendő a nyomaték elviselésére, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motorház leválhat a szivattyú burkolatáról. Ebben az esetben fémrészecskék állhatnak ki a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly sérülést vagy halált és/vagy környezet károsodást okozhat.
Página 163
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A 9698978M004 Navigator controlleres Turbo-V 1K-G Retrofit a második FIGYELEM! telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 1K-G Retrofitnak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlakozásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot. VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
Felhasználói Kézikönyv Használat A Turbo-V 1K-G Retrofit bekapcsolása és használata Az alábbi utasításokat a Navigator controller (9698978M004 modell) együtt használt Turbo-V 1K-G Retrofit esetében kell alkalmazni. Vegye figyelembe a többi controllermodellek való együttes használatra vonatkozó utasításokban írottakat (9699454M001 és 9699554M003). A Turbo-V 1K-G Retrofit bekapcsolásához rá...
Felhasználói Kézikönyv Használat A Turbo-V 1K-G Retrofit kikapcsolása A Turbo-V 1K-G Retrofit kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 1K-G Retrofit nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Página 172
Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od –20 °C do 70 °C względna wilgoć·...
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku pompy Turbo-V 1K-G Retrofit ani nie poddawać...
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym ...
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! W przypadku uszkodzenia na wirniku, połączenie między pompą a systemem może być poddane odpowiednio wysokiemu momentowi. Jeżeli połączenie jest niewystarczające aby wytrzymać dany moment, pompa może się odczepić od systemu lub silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty metalu mogą...
Página 177
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit Ze sterownikiem typu Navigator controller UWAGA! 9698978M004 należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą...
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. ZAGROZENIE! Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie pompy Turbo-V 1K-G Retrofit Niżej podane instrukcje mają zastosowanie w przypadku pompy Turbo-V 1K-G Retrofit stosowanej razem ze sterownikiem typu Navigator controller (model 9698978M004). Należy zapoznać się z instrukcjami jednostek stosowsanych z innymi modelami sterownikówr (9699454M001 i 9699554M003).
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití Zapnutí a používání vývěvy Turbo-V 1K-G Retrofit 193 Zastavení Turbo-V 1K-G Retrofit 194 Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu...
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Página 186
Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -20 °C až 70 °C ...
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Turbo-V 1K-G Retrofit je dodávánave speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby Turbo-V 1K-G Retrofit nespadla, a nevystavujte ji nenadálým nárazům, otřesům ani vibracím.
Návod k Použití Instalace Instalace Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem ...
Návod k Použití Montáž vývěvy Montáž vývěvy NEBEZPEČÍ! Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště...
Página 191
Návod k Použití Montáž vývěvy Podle směrnice EN 61010-1 patří Turbo-V 1K-G Retrofit se zařízením Navigator POZOR! controller 9698978M004 do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva Turbo-V 1K-G Retrofit je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které...
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená...
Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy Turbo-V 1K-G Retrofit Následující pokyny se aplikují na Turbo-V 1K-G Retrofit použitou v kombinaci se zařízením Navigator controller (model 9698978M004). Při použití s jinými modely zařízení controller (9699454M001 a 9699554M003) vycházejte z návodu k použití jednotky. Pro uvedení...
Návod k Použití Použití Zastavení Turbo-V 1K-G Retrofit Pro zastavení Turbo-V 1K-G Retrofit je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Návod k Použití Údržba Údržba Turbo-V 1K-G Retrofit nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 198 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Turbo-V 1K-G Retrofit 207 Zastavenie Turbo-V 1K-G Retrofit 208 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 197/294...
Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Página 200
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) ...
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 1K-G Retrofit je dodávaná v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby Turbo-V 1K-G Retrofit nespadla a nevystavujte ju náhlym nárazom, otrasom alebo vibráciám.
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku ...
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt motora od plášťa vývevy.
Página 205
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Podľa smernice EN 61010-1 patrí Turbo-V 1K-G Retrofit so zariadením Navigator POZOR! controller 9698978M004 do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Vývěva Turbo-V 1K-G Retrofit má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré...
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. NEBEZPEČÍ! Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná.
Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Turbo-V 1K-G Retrofit Nasledujúce pokyny sa aplikujú na Turbo-V 1K-G Retrofit použitú v kombinácii so zariadením Navigator controller (model 9698978M004). Pri použití s inými modelmi zariadenia controller (9699454M001 a 9699554M003) vychádzajte z návodu na použitie jednotky.
Návod na Obsluhu Použitie Zastavenie Turbo-V 1K-G Retrofit Ak chcete zastaviť Turbo-V 1K-G Retrofit, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemne-nou zásuvkou, aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené...
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 1K-G Retrofit nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave Turbo-V 1K-G Retrofit Izklop naprave Turbo-V 1K-G Retrofit Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 211/294...
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik natančno prebrati navodila in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe s strani nepooblaščenega osebja in nedovoljenega poseganja v opremo ali kakršnekoli uporabe, ki ni v skladu s standardi.
Página 214
Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da usmerijo pozornost uporabnika na določene postopke, pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 1K-G Retrofit je dobavljen v posebni zaščitni embalaži; če je embalaža poškodovana zaradi transporta, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odstranjevanju embalaže pazite, da vam Turbo- V 1K-G Retrofit ne pade iz rok in da ni izpostavljen tresljajem ali udarcem.
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere ...
Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Pritrjevanje črpalke SVARILO! Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo črpalke s sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega navora se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz nostilca črpalke.
Página 219
Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 1K-G Retrofit z Navigator controller POZOR! 9698978M004 v drugo kategorijo za nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priključite na napetost, ki je v skladu z zgornjo kategorijo. Naprava Turbo-V 1K-G Retrofit ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv.
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče.
Priročnik za Navodila Uporaba Vklop in uporaba naprave Turbo-V 1K-G Retrofit Sledeča navodila veljajo pri uporabi Turbo-V 1K-G Retrofit v kombinaciji z Navigator controller (model 9698978M004). Glejte navodila za uporabo enote pri uporabi drugih modelov controller (modela 9699454M001 in 9699554M003). Prvi zagon črpalke je v načinu »mehkega zaganjanja«...
Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave Turbo-V 1K-G Retrofit Za izklop naprave Turbo-V 1K-G Retrofit morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajeni kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).Uporabljajte ta kabel in vtikač...
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave Turbo-V 1K-G Retrofit ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti pooblaščeno osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 230 Installation Pump fixing Switching on and Use of Turbo-V 1K-G Retrofit 235 Turbo-V 1K-G Retrofit Switching off 236 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions...
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Página 228
Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The Turbo-V 1K-G Retrofit is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Instructions for Use Installation Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure ...
Instructions for Use Pump fixing Pump fixing If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be WARNING! subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope.
Página 233
Instructions for Use Pump fixing The Turbo-V 1K-G Retrofit with Navigator controller 9698978M004 belongs to the CAUTION! second installation (or overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The Turbo-V 1K-G Retrofit has Input/Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible.
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C. WARNING! Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber.
Instructions for Use Switching on and Use of Turbo-V 1K-G Retrofit The following instructions apply to the Turbo-V 1K-G Retrofit used togheter with Navigator controller (model 9698978M004). Please refer to the relative control unit manual for use with other controller models (9699454M001 and 9699554M003).
Instructions for Use Turbo-V 1K-G Retrofit Switching off To switch off the Turbo-V 1K-G Retrofit it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see WARNING! orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 1K-G Retrofit does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, WARNING! vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls...
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Technical Information Pump Description 9698978 Controller Description Technical Specification Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Interconnections – Controller Model 9698978M004 P3 - Vent P4 – External Fan J1 – In-Out Signal Description HOW to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller 257 P2 –...
Technical Information Pump Description Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block.
Technical Information Pump Description A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange.
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Technical Specification Pumping speed (without inlet ISO 160: ISO 200: screen) 750 l/s 1040 l/s 810 l/s 1080 l/s 950 l/s 1150 l/s 680 l/s 730 l/s Compression ratio >5 x 10 >1 x 10 1 x 10 2 x 10...
Página 244
Technical Information Technical Specification Noise level <45 dB(A) at 1 meter Power supply: Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input power: 600 VA Stand-by power: 30 to 35 W Max operating power: 450 W with water Temp.<22 °C (WATER cooling setting) 330 W with water Temp.
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Turbo-V 1K-G Retrofit Outline The following figures show the Turbo-V 1K-G Ret-rofit outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 3 8698961R001 (ISO 160 F inlet flange – KF25 foreline flange) Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 245/294...
Página 246
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Figure 4 8698962 (ISO 200 F inlet flange – KF40 foreline flange) 246/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Página 247
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Figure 5 Pumping speed diagram for 8698962 (ISO 200F flange) turbopump model, with a 36 m /h foreline pump Figure 6 Graph of compression ratio vs foreline pressure Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 247/294...
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 Interconnections – Controller Model 9698978M004 The following figure shows the Turbo-V 1K-G Retrofit interconnections with Navigator controller (9698978M004). For Rack Controller models see the specific controller manuals. Figure 7 P3 - Vent Figure 8 P3-Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve.
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 P4 – External Fan Figure 9 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. J1 – In-Out Figure 10 This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the Turbo-V 1K-G Retrofit.
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 Tab. 3 Signal characteristics and use PIN N. SIGNAL NAME IN-/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT SPARE...
Página 251
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 amplitude: 24 V max duty cycle range: from 25% to 75% corresponding to an output frequency from 500 Hz to 761 Hz (see the following diagram). Figure 11 The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM signal NOTE Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power)
Página 252
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 Fault: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. Programmable set point: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold.
Página 253
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency threshold: 643 Hz hysteresis: 2 % activation type: high level delay time: 0 second The Navigator Software (optional) allows the oper-ator to set all the NOTE programmable feature.
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Turbo-V 1K-G Retrofit to an external system. Two cases are considered: 1.
Página 255
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 16 Case 2 with relay utilisation Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 255/294...
Página 256
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 17 Case 2 with transistor utilisation 256/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller.
Página 258
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Tab. 4 Signal characteristics and use PIN N. SIGNAL NAME SPARE TX (RS232) RX (RS232) SPARE A + (RS485) SPARE B – (RS485) RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. NOTE A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional).
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software.
Página 260
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the corresponding ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02 <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) ...
Página 261
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Tab. 5 DATA TYPE FIELD LENGTH VALID CHARACTERS Logic (L) ‘0’ = off ‘1’ = on Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ Alphanumeric (A) from blank to ‘_’ (ASCII) <ETX>...
Página 262
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Tab. 6 Response types Type Length Value Description Logic 1 byte After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of an alphanumeric window 1 byte...
Página 263
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 263/294...
Página 264
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 264/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Página 267
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/Write Datatype Description Admitted Values Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 70 Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4...
Página 268
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is opened NOTE with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the vent valve is immediately closed. 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n.
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation Figure 21 Figure 22 The inlet screens mod. 9699304 and 9699316 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
Página 270
Technical Information Inlet Screen Installation Figure 23 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 24 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. 270/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Página 271
Technical Information Inlet Screen Installation ISO 160F DIMENSIONS: mm [inches] Figure 25 ISO 200F DIMENSIONS: mm [inches] Figure 26 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 271/294...
Technical Information Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted. The Turbo-V 1K-G Retrofit must be always water cooled. The two model part numbers are: 9699825 and 9699826. Figure 27 Model 9699825 Figure 28 Model 9699826...
Página 273
Technical Information Water Cooling Kit Installation The items of the kit 9699826 kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure. Figure 29 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 30 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 273/294...
Página 274
Technical Information Water Cooling Kit Installation Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. Navigator Controller Compatible Vent Valve model 9699834 Figure 31 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
Página 276
Technical Information Vent Accessories Figure 32 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 33 276/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Technical Information Vent Accessories Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). Standard Rack Controller Compatible Vent Valve mod.
Technical Information Vent Accessories Vent Device mod. 9699831 Figure 35 The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). This value can be used only with rack controller. To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below).
Página 279
Technical Information Vent Accessories Screw the flange mod. 9699108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Figure 37 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 279/294...
Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure.
Technical Information Serial Cable Installation (for 9698978M004 Navigator Controller only) Serial Cable Installation (for 9698978M004 Navigator Controller only) The supplied serial cable must be installed when the Turbo-V 1K-G Retrofit or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer.
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Navigator Controller Installation Bottom Mounting See the following figure: Turn the pump upside-down; Place the three washers on the pump bottom in correspondence of three hole at 120 °; Place the controller on the washers, with the pump cable toward the pump body;...
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Navigator Controller Installation Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW (ISO 200 F inlet flange) and KF 25 NW (ISO 160 F inlet flange) are available to connect the Turbo-V 1K-G Retrofit pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used.
Technical Information Connection C - Electrical Connection C - Electrical Figure 42 The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pin E is connected to the pump ground, pins G and H are not connected, pins A and F reserved for Agilent.
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Página 286
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 43 Purge layout 286/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 8 Accessories and Spare Parts DESCRIPTION PART NUMBER Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long 9699957 Serial cable and Navigator Software 9699883 Inlet screen ISO 160 9699304 Inlet screen ISO 200 9699316...
Página 294
Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...