3.
フロースルーヘッドにプロセスバイアルを取り付けます。バイアルの交換
入り手順を参照してください。
4. リントフリーの布でプロセスバイアルの外装を清掃し、ガラスから汚れ、指紋、または微粒子を
取り除きます。
バイアルをオプションのワイパーで清掃します。
水が溢れないように、プロセスバイアルにバイアルワイパーを慎重に差し込みます。
以下の図解入り手順に示すように、 オプションのバイアルワイパーと脱イオン水を使ってプロセスワ
イパーを洗浄します。
リントフリーの布でプロセスバイアルの外装を清掃し、ガラスから汚れ、指紋、または微粒子を取り
除きます。
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告 知
ページの 81 の図解