Použití - Agilent Technologies TPS-mini Serie Manual De Instrucciones

Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C v případě příruby ConFlat a 80 °C v případě příruby
ISO.
NEBEZPEČÍ! Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená
k vakuové komoře.
NEBEZPEČÍ! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká
teplota může způsobit popáleniny.
NEBEZPEČÍ! Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího
chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám
na věcech.
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
13
Návod k Použití
Použití
213/318