Bruk - Agilent Technologies TPS-mini Serie Manual De Instrucciones

Bruk

Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120 °C med ConFlat inngangsflens
eller 80 °C med ISO inngangsflens.
ADVARSEL! Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen.
ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
ADVARSEL! Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i bruk. Lagrene
kan kunne skades og det kan kunne oppstå skade på personer eller
gjenstander.
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Instruksjon Manual

Bruk

149/318
9