14
Návod na Obsluhu
Inštalácia
Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu používať len
s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musia byť
zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále "Technical
Information").
K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia:
Zariadenie Turbo-V 81-M môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe.. Upevnite Turbo-V 81-M do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby
vydržala namáhanie krútiacim momentom 250 Nm okolo svojej osi.
Napríklad príruba typu ISO 63 môže byť pripevnená oceľovými
svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Agilent IC 63250 DCMZ).
Nasledujúca tabuľka ukazuje potrebný počet svoriek a príslušný
upevňovací krútiaci moment.
Tab. 1
PRÍRUBA
ISO 63
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k
vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku "Technical
Information".
170/237
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
UPEVŇOVACÍ MECHANIZMUS
svorky M10
POČET
4
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
UŤAHOVACÍ KRÚTIACI
MOMENT
22 Nm