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Gebrauchsanleitung
Installation
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo V 81-M dürfen nur mit
einem der entsprechenden Controller Agilent verwendet werden und
müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema
in der „Technical Information").
Die verfügbaren Controller sind folgende:
Modell Turbo-V 81-M kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell Turbo-V 81-M ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch
angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 250 Nm um
seine eigene Achse belastbar ist. Der ISO 63-Flansch kann z.B. mit
hochfesten Stahlklammern befestigt werden (wie das Agilent-Modell
IC 63250 DCMZ).
Die folgende Tabelle zeigt die erforderliche Anzahl von Klemmen und
das jeweilige Anzugsmoment.
Tab. 1
FLANSCH
ISO 63
Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen
Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen.
Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical
Information".
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Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
KLEMMSCHELLE
Doppelschelle mit NM10 Gewinde
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
ANZ.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm