Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze
el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer
használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 80 °C-ot.
A szivattyú működtetésekor a rotor hőmérséklete soha nem
haladhatja meg a 120 °C-t. A felhasználónak ügyelnie kell, hogy a
szivattyúzott gáz szerint beállítsa a helyes gázmódot. 1 az N
könnyebb gázokhoz, 0 az argonhoz (alapértelmezés). Részletekért lásd
„Technical Information".
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. Ne érintse meg a
turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas
hőmérséklet égést okozhat.
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
FIGYELEM!
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 1 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). A
csapágyakra szennyező vagy részecskéket tartalmazó gázok szivattyúzásához
ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy olyan különleges porttal, amelyen
keresztül a csapágyak védelme érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt
(Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information" függelék).
A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében
FIGYELEM!
használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat.
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (G)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
és
2
201/372
11