Instrucciones de uso
Cámara de vacío
Medidor de termopar
Válvula
Bomba turbomolecular
Bomba primaria (scroll)
Cable de alto voltaje
Cable de alto voltaje
Bomba VacIon
Controlador bomba de iones
Figura 16 Instalación típica
Preparación
Aflojar los tornillos de la brida principal y levante la brida ciega. Retire la placa de la junta
de cobre, que no debe reutilizarse, sin dañar la brida.
Figura 17
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Agilent VacIon Plus 800 User Manual