离子泵的安全使用指南 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

使用说明
小心
锋利边缘导致受伤的风险
• 维护泵或者对系统执行泵安装/拆卸操作前，等待泵完全停止。
• 不要直接在高真空法兰内操作。
• 如果需要，穿戴符合 EN 420 的防护手套。
离子泵的安全使用指南
由于其清洁、泵送不同气体的能力以及维护和无振动的操作，通常用于制造超高真
空环境。
根据尺寸，泵可能很重，必须通过合适的移动和搬运工具进行处理。原则上，只要
遵守泵手册中的准则并正确支持泵，在任何位置安装都是可能的。
由于离子泵配备永磁体，建议不要在这些泵附近安装任何电子设备，以避免因磁干
扰而导致设备故障。
离子泵可以通过高电压进行作业。为避免受伤，在将高压连接到泵之前，切勿将其
连接到泵，并且所有入口法兰均已正确连接或堵死。在对泵进行任何操作之前，请
将其与高压电源断开。
离子泵可以配备加热器。安装加热元件时，请勿在加热和冷却阶段接触泵，因为高
温可能会造成严重损坏。
为避免损坏设备和操作人员受伤，应严格遵守本手册的安装说明！
警告
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 133