インレットフランジ接続 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

取扱説明書
インレットフランジ接続
ポンプは、高電圧コネクターの取り付けと取り外しに障害物のない十分なスペー
スを確保して取り付ける必要があります。
ポンプは、真空システムに接続する準備ができるまで、pinch-off チューブで密封
しておく必要があります。 これにより、チリほこりやその他の不要物質の蓄積が
回避できます。 pinch-off の封を外す前に、点検の手順を確認してください（前の
段落を参照）。
スモッグ、チリほこり、花粉などのない清潔な場所で pinch-off チューブを開いて
イオンポンプを通します。乾燥窒素ガスで通気することが強く推奨されます。こ
れは、清潔なポリエチレン袋をイオンポンプフランジの上に置くことにより行う
ことができます。 小さなポンプの場合は袋の中に完全に入れることもできます。
プライヤーも袋の中に入れ、清潔で乾燥した窒素で袋を数分間パージします。 次
に、pinch-off を外すために、袋の外側からプライヤーを扱います。
のこぎりやグラインダーでピンチオフ封を開けないでください。 これらの方法
注意
では、ポンプが開いているときに、流入する空気によって金属粒子がポンプに
引き込まれます。
ピンチオフ封は非常に鋭利です。 開くときはご注意ください。指に気をつ
警告
けてください。
適切な手順を使用して、ポンプと真空システムが清潔な状態を維持します。
メインフランジボルトを緩め、ブランクフランジを持ち上げます。 再利用しては
いけない銅製ガスケットプレートを取り外します。 酸化銅の一部の粒子がフラン
ジガスケットの外縁に付着する場合があります。 それらやその他の異物がポンプ
内に落ちないように注意してください。
170 Agilent VacIon Plus 800 User Manual