Inbetriebnahme Und Betrieb Der Vacion Plus 800; Vorläufige Maßnahmen Vor Dem Einschalten Der Pumpe - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Betriebsanleitung

Inbetriebnahme und Betrieb der VacIon Plus 800

Alle Anweisungen für den richtigen Gebrauch der VacIon Plus 800 Pumpen sind in
diesem Handbuch und im Handbuch der entsprechenden Pumpensteuereinheit
enthalten. Lesen Sie diese Handbücher vor der Verwendung der Pumpe
aufmerksam durch.
Vorläufige Maßnahmen vor dem Einschalten der Pumpe
Ein grobes Abpumpen bis zu einem Druck gleich oder niedriger als 1E-5 Torr (mbar)
für die Diodenversion - 1E-4 Torr für die StarCell-Version - wird für den schnellsten
Start und zur Erhaltung der Lebensdauer der Pumpe empfohlen. Typischerweise
kann dieser Druckpegel leicht mit Hilfe einer Turbomolekularpumpe erreicht
werden, unterstützt durch eine Primärpumpe, vorzugsweise ölfrei.
Die Ionenpumpe kann prinzipiell auch bei einem höheren Druck als dem von uns
empfohlenen gestartet werden, aber das verringert über längeren Zeitraum die
Lebensdauer der Pumpe. In der Vergangenheit war es notwendig, die Ionenpumpe
bei hohem Druck zu starten, da sie direkt an die Primärpumpe angeschlossen war -
dank der Erfindung der Turbomolekularpumpe ist das nicht mehr nötig.
Hygroskopische Ablagerungen - die eine natürliche Folge der Luft- und
Wasserstoffaufnahme in die Titankathoden sind - ein Phänomen, das mit dem
physikalischen Funktionsprinzip der Ionenpumpe zusammenhängt - können dazu
führen, dass die Startzeiten mit dem Alter der Pumpe zunehmen. Tatsächlich
bewirkt die Erwärmung der Pumpe beim Start die Freisetzung von Wasserdampf
und eines Teils des zuvor gepumpten Wasserstoffs. Dadurch kann sich die Startzeit
verlängern.
62 Agilent VacIon Plus 800 User Manual