Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario página 171

取扱説明書
銅ガスケットを取り外す際は、フランジのナイフエッジを傷つけないように注
注意
意してください。 操作中にナイフの端をぶつける危険があるので、ガスケット
を持ち上げる際にドライバーまたは同様の工具を使用しないでください。
ポンプにインレットスクリーンが装備されている場合は、ポンプネックの内側
注意
に取り付けます。インレットスクリーンはネックに固定されていませんが、そ
の寸法はネックとスクリーンの間に最低限のクリアランスを確保するように設
計されているため、このスクリーンの安定性と正しい位置が保証されます。
可能な限りのポンプ速度を維持するために、イオンポンプを短い長さと大きい直
径のパイプで真空チャンバーに接続します。 次のように進めます:
1
イオンポンプを持ち上げて適切に支えます。 取付け手順で説明されているよ
うに、常に4つの支えまたはアイボルトを同時に使用してください。
2
合いフランジが清潔で、ナイフエッジに傷がないかどうかを点検します。
3
ポンプフランジと真空チャンバーフランジの間に新しい銅ガスケットを配置
します。
4
新しいネジで、ポンプの合いフランジをチャンバーにボルトで固定します。
NW 35（2.75 " o.d.）を超えるフランジの場合は、ナットとネジ頭の下にも座
金を取り付けます。
5
銀メッキのネジを使用するか、ネジ山に高温用潤滑剤を塗布します。 潤滑剤
により、密封と分解が簡単になります。推奨される潤滑剤はFel-ProC-100で
す。 ポンプの内面やバキュームシステムを潤滑剤で汚染しないように注意し
てください。
ネジが銀メッキされていない場合は、ベイクアウト後のナットとネジのかじり
注記
を防ぐために潤滑剤が不可欠です。 真空にさらされた表面を潤滑剤で汚染しな
いように注意してください。
6 ナットを取り付け、それぞれを6〜11 Nm（4.5〜8 ft.-lbs）のトルクで締めま
す。ナットを締めた後は、必ず反対側のナットをフランジの中心に対して締
めます。 これにより、フランジ面間の隙間が部分的に閉じられます。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 171