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取扱説明書
VacIon Plus ポンプコントローラー
以下のコントローラーシリーズは、VacIon Plus800ポンプへ供給するために使用
できます：
4UHV コントローラー
IPC-Mini
各々のポンプの適切なコントローラー（極性と出力）を選択するには、Agilentの
真空カタログを参照してください。
コントロールユニット接続
コントロールユニットをイオンポンプに接続する高電圧ケーブルの高電圧
警告
は、重大な損傷または死亡の原因となる可能性があります。ケーブルの高
電圧コネクタをポンプの高電圧フィードスルーに接続する前、または取り
外す前に、主電源がコントロールユニットから取り外されていることを確
認してください。
怪我を防ぐために、ポンプをシステムに取り付け、すべてのインレットフ
警告
ランジを適切に接続される、またはブランクオフする前に、ポンプに高電
圧を接続しないでください。 ポンプが接地された真空システムにしっかり
と接続されていることを確認してください。
ケーブルの高電圧コネクターをコントロールユニットから取り外す前に、
警告
主電源がコントロールユニットから取り外されていることを確認してくだ
さい。コンデンサが完全に放電させるため、コントロールユニットから主
電源を抜いてから少なくとも 10 秒以上待ってください。
同軸高電圧ケーブルをコントローラーから外すには、安全ロックスリーブをコントロールユニッ
トからスライドさせ（スリーブの移動は微少です）、同時にケーブルコネクタのオス側を引っ張
って、コントロールユニットのソケットから取り外します。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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