Betrieb - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Betriebsanleitung

Betrieb

1 Überprüfen Sie, ob die HV-Polarität des Reglers für die Pumpe richtig ist:
positive Polarität für Diodenpumpen und negative Polarität für StarCell-
Pumpen. Schlagen Sie im Handbuch der entsprechenden Pumpensteuereinheit
nach und befolgen Sie beim Betrieb der Pumpe das folgende Verfahren: Stellen
Sie mit Hilfe einer Vorvakuum-Turbomolekularpumpe (unterstützt durch eine
Primärpumpe) einen Mindeststartdruck im Vakuumsystem. Wir empfehlen den
Einbau eines Ganzmetallventils zwischen Ionenpumpe und
Turbomolekularpumpe, um diese später isolieren zu können.
2 Schließen Sie die Steuereinheit an eine geeignete Stromquelle an und schalten
Sie den Strom ein. Befolgen Sie die Anweisungen im Handbuch des
Steuergeräts, um die Ionenpumpe zu speisen.
3 Überprüfen Sie die Spannung, den Strom und den Druck auf dem Display des
Steuergeräts. Wenn die Ionenpumpe bei zu hohem Druck gestartet wurde, liegt
die Spannung typischerweise bei einigen hundert Volt. Wenn die Spannung bei
diesen Werten konstant bleibt, empfehlen wir, die Pumpe auszuschalten und
bei einem niedrigeren Druck wieder zu starten, um eine Überhitzung zu
vermeiden (siehe Abschnitt „Verwendung"). Ein Stromwert in der Nähe des
Kurzschlussstroms der Steuereinheit könnte darauf hinweisen, dass eine
Glimmentladung vorliegt, die über die Pumpe und das System hinausreicht. Ein
vorübergehender Anstieg des Schruppdruckes tritt normalerweise bei jedem
Startvorgang auf. Wenn die Ionenpumpe bei dem empfohlenen Druck gestartet
wurde, erreicht die Spannung schnell den voreingestellten Wert (3, 5 oder 7 kV).
Sobald die Betriebsspannung erreicht ist, beginnt der Strom abzunehmen. Wir
empfehlen an dieser Stelle, das Schruppventil zu schließen, um die Ionenpumpe
und das System von der Turbomolekularpumpe zu isolieren. Wenn die
Ionenpumpenspannung nach dem Schließen des Schruppventils abfällt, öffnen
Sie das Ventil für ein weiteres Schrupppumpen erneut.
Wenn der Druck abfällt, steigt die Spannung wieder an, und das Schruppventil
kann geschlossen werden.
4 Wenn die Spannung den voreingestellten Betriebswert erreicht hat, setzen Sie
die Steuereinheit in den SCHUTZ-Zustand, wenn die Steuereinheit diesen
Zustand vorsieht. Das System ist jetzt automatisch gegen Druckanstiege über
den voreingestellten Grenzwert hinaus geschützt. Sollte ein solcher Anstieg
auftreten, wird die Steuereinheit automatisch abgeschaltet.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 63