Procedimiento De Funcionamiento - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Instrucciones de uso

Procedimiento de funcionamiento

1 Compruebe que la polaridad HV del controlador sea la correcta para la bomba:
polaridad positiva para bombas de diodo y negativa para bombas StarCell.
Consulte el manual de instrucciones de la unidad de control de la bomba
correspondiente y siga el procedimiento a continuación cuando opere la bomba:
establezca una presión de arranque mínima en el sistema de vacío, por medio de
una bomba turbomolecular de pre-vacío (soportada por una bomba primaria).
Recomendamos instalar una válvula totalmente metálica entre la bomba de iones
y la bomba turbomolecular, para poder aislarla en una etapa posterior.
2 Conecte la unidad de control a una fuente de alimentación adecuada y
encienda la alimentación. Siga las instrucciones del manual de la unidad de
control para alimentar la bomba de iones.
3 Observe el voltaje, la corriente y la presión en la pantalla de la unidad de control.
Si la bomba de iones se ha iniciado a una presión demasiado alta,
normalmente el voltaje será de algunos cientos de voltios. Si la tensión
permanece constante en estos valores, para evitar el sobrecalentamiento de la
bomba sugerimos apagarla y volver a ponerla en marcha a menor presión
(véase párrafo "Uso"). Un valor de corriente cercano a la corriente de
cortocircuito de la unidad de control podría indicar que existe una descarga
luminiscente no confinada en la bomba y el sistema. Normalmente, durante
cualquier procedimiento de puesta en marcha, notará un aumento temporal en
la presión de desbaste. Si la bomba de iones se ha puesto en marcha a la
presión recomendada, el voltaje alcanzará rápidamente el valor preestablecido
(3, 5 o 7 kV). Una vez que se alcanza el voltaje de funcionamiento, la corriente
comenzará a disminuir. Se recomienda en este punto cerrar la válvula de
desbaste para aislar la bomba de iones y el sistema de la bomba
turbomolecular. Si el voltaje de la bomba de iones cae después de cerrar la
válvula de vacío preliminar, vuelva a abrir la válvula para un bombeo adicional.
A medida que disminuye la presión, el voltaje aumentará nuevamente y la
válvula de desbaste puede cerrarse.
4 Cuando la tensión haya alcanzado el valor de funcionamiento preestablecido,
ponga la unidad de control en la condición PROTECT, si la unidad de control
tiene esta predisposición. El sistema ahora está protegido automáticamente
contra aumentos de presión por encima del límite preestablecido. Si se
produce un aumento de este tipo, la unidad de control se apagará
automáticamente.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 119