Configurazione - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Istruzioni per l'uso
Figura 1

Configurazione

Svitare i bulloni della flangia principale e sollevare la flangia cieca. Rimuovere la guarnizione
di tenuta in rame, che non deve essere riutilizzata, senza danneggiare la flangia.
Figura 2
28
Vacuometro da alto vuoto
Pompa VacIon
Installazione tipica
Camera da vuoto
Valvola
Cavo alta tensione
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
Vacuometro da termocoppia
Pompa turbomolecolare
Pompa (di supporto)
principale
Unità di controllo pompa ionica