Prüfung Auf Vakuumintegrität - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

Betriebsanleitung
Prüfung auf Vakuumintegrität
Die Ionenpumpe wird in einem evakuierten Zustand geliefert. Bevor Sie den
Transportflansch zur Installation an einem Vakuumsystem entfernen, wird
empfohlen, die Pumpe kurz in Betrieb zu nehmen, um die Vakuumintegrität und den
ordnungsgemäßen Betrieb zu überprüfen.
Zur Kontrolle der Vakuumintegrität der neuen Pumpe vor dem Entlüften gehen Sie
wie folgt vor:
1 Schließen Sie die Ionenpumpe an die Steuereinheit an, wie in der
Bedienungsanleitung der Steuereinheit beschrieben.
Die Hochspannung, die von der Steuereinheit auf die Ionenpumpe
WARNUNG
übertragen wird, kann zu schweren Verletzungen oder zum Tode führen.
Vergewissern Sie sich, dass das Hochspannungskabel ordnungsgemäß an
die Ionenpumpe und ihre Leistungseinheit angeschlossen ist. Stellen Sie
sicher, dass die Pumpe gut geerdet ist.
2 Schließen Sie das Steuergerät bei ausgeschaltetem Hauptschalter an eine
geeignete Stromquelle an.
3 Schalten Sie den Strom EIN.
4 Schalten Sie die Ionenpumpe ein und befolgen Sie dabei die Anweisungen im
Handbuch der Steuereinheit. Kontrollieren Sie den Messwert auf dem Display
des Geräts, und prüfen Sie, ob eine der folgenden Bedingungen vorliegt:
a
b
5 Wenn die Vakuumintegrität nicht gegeben ist, sollte die Pumpe vor dem Einbau
in das System mit einem Massenspektrometer-Lecksucher auf durchlässige
Stellen überprüft werden.
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Wenn die Pumpe kein Leck und einen niedrigen Druck aufweist, muss die
Druckanzeige schnell auf oder unter den Bereich von 1E-8 mbar fallen,
wenn das Gasvolumen gepumpt wird.
Wenn der Druck innerhalb der Pumpe auf oder nahe dem atmosphärischen
Niveau liegt, kann innerhalb der Hochspannungsstromdurchführung ein
Lichtbogen entstehen, der ein knallendes Geräusch erzeugt. Dann
schwankt der Pumpenstrom. Schalten Sie in diesem Fall den Strom sofort
aus.
Agilent VacIon Plus 800 User Manual